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【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及氮化鋁加熱器,特別涉及一種軸結構及氮化鋁加熱器。
技術介紹
1、氮化鋁加熱器由陶瓷盤和陶瓷軸組成,二者材質均為氮化鋁材質。氮化鋁加熱器應用于高溫條件,且要求在使用時陶瓷盤具備較高的溫度均勻性,但由于氮化鋁軸散熱的原因,導致加熱器在使用過程中軸的位置陶瓷盤溫度相較其他位置存在偏差。
技術實現思路
1、本專利技術要解決的技術問題是提供一種軸結構及氮化鋁加熱器,以解決
技術介紹
中提出的問題,優化陶瓷軸結構,提升氮化鋁加熱器使用的溫度均勻性。
2、為了解決上述技術問題,本專利技術的技術方案為:
3、本專利技術一方面公開了一種軸結構,所述軸結構包括氮化鋁陶瓷段、氮化鋁和氧化鋁過渡段、氧化鋁陶瓷段,所述氮化鋁陶瓷段、所述氮化鋁和氧化鋁過渡段、所述氧化鋁陶瓷段由上往下依次連接設置。
4、優選的,所述氮化鋁陶瓷段的長度與所述氮化鋁和氧化鋁過渡段相等,所述氮化鋁和氧化鋁過渡段的長度小于所述氧化鋁陶瓷段的長度。
5、優選的,所述氮化鋁陶瓷段的長度為所述軸結構總長度的3/10,所述氮化鋁和氧化鋁過渡段的長度為所述軸結構總長度的3/10,所述氧化鋁陶瓷段的長度為所述軸結構總長度的4/10。
6、優選的,所述氮化鋁陶瓷段包括第一氮化鋁段、第二氮化鋁段和第三氮化鋁段,所述第一氮化鋁段、所述第二氮化鋁段、所述第三氮化鋁段依次連接,所述第一氮化鋁段、所述第二氮化鋁段、所述第三氮化鋁段的長度均為所述軸結構總長度的1/10,所述第一氮化鋁段按質量
7、優選的,所述氮化鋁和氧化鋁過渡段包括第一過渡段、第二過渡段、第三過渡段,所述第一過渡段、所述第二過渡段、所述第三過渡段依次連接,所述第一過渡段、所述第二過渡段、所述第三過渡段的長度均為所述軸結構總長度的1/10,所述第一過渡段按質量百分比包括:60~70%氮化鋁和30~40%氧化鋁,所述第二過渡段按質量百分比包括:50~60%氮化鋁和40~50%氧化鋁,所述第三過渡段按質量百分比包括:40~50%氮化鋁和50~60%氧化鋁。
8、優選的,所述氧化鋁陶瓷段包括第一氧化鋁段、第二氧化鋁段、第三氧化鋁段和第四氧化鋁段,所述第一氧化鋁段、所述第二氧化鋁段、所述第三氧化鋁段、所述第四氧化鋁段依次連接,所述第一氧化鋁段、所述第二氧化鋁段、所述第三氧化鋁段、所述第四氧化鋁段的長度均為所述軸結構總長度的1/10,所述第一氧化鋁段按質量百分比包括:30~40%氮化鋁和60~70%氧化鋁,所述第二氧化鋁段按質量百分比包括:20~30%氮化鋁和70~80%氧化鋁,所述第三氧化鋁段按質量百分比包括:10~20%氮化鋁和80~90%氧化鋁,所述第四氧化鋁段按質量百分比包括:0~10%氮化鋁合90~100%氧化鋁。
9、優選的,所述第三氮化鋁段與所述第一過渡段連接,所述第三過渡段與所述第一氧化鋁段連接。
10、優選的,所述軸結構通過陶瓷造粒粉經等靜壓后燒結加工制備。
11、本專利技術另一方面公開了一種包括所述軸結構的氮化鋁加熱器,所述氮化鋁加熱器包括氮化鋁加熱盤,所述氮化鋁加熱盤與所述氮化鋁陶瓷段連接。
12、采用上述技術方案,具有以下有益效果:
13、本申請的技術方案中,由于氮化鋁陶瓷段與氮化鋁加熱盤連接,可以保證軸結構和氮化鋁加熱盤在結合處為的材料相同或者相近,使其熱膨脹系數基本一致,再經氮化鋁和氧化鋁過渡段過渡至氧化鋁,利用氧化鋁較氮化鋁有著較低的導熱系數,從而降低氮化鋁加熱盤上的熱量經軸結構散失。
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1.一種軸結構,其特征在于,所述軸結構包括氮化鋁陶瓷段、氮化鋁和氧化鋁過渡段、氧化鋁陶瓷段,所述氮化鋁陶瓷段、所述氮化鋁和氧化鋁過渡段、所述氧化鋁陶瓷段由上往下依次連接設置。
2.根據權利要求1所述的一種軸結構,其特征在于,所述氮化鋁陶瓷段的長度與所述氮化鋁和氧化鋁過渡段相等,所述氮化鋁和氧化鋁過渡段的長度小于所述氧化鋁陶瓷段的長度。
3.根據權利要求2所述的一種軸結構,其特征在于,所述氮化鋁陶瓷段的長度為所述軸結構總長度的3/10,所述氮化鋁和氧化鋁過渡段的長度為所述軸結構總長度的3/10,所述氧化鋁陶瓷段的長度為所述軸結構總長度的4/10。
4.根據權利要求1所述的一種軸結構,其特征在于,所述氮化鋁陶瓷段包括第一氮化鋁段、第二氮化鋁段和第三氮化鋁段,所述第一氮化鋁段、所述第二氮化鋁段、所述第三氮化鋁段依次連接,所述第一氮化鋁段、所述第二氮化鋁段、所述第三氮化鋁段的長度均為所述軸結構總長度的1/10,所述第一氮化鋁段按質量百分比包括:90~100%氮化鋁和0~10%氧化鋁,所述第二氮化鋁段按質量百分比包括:80~90%氮化鋁和10~20%氧化
5.根據權利要求4所述的一種軸結構,其特征在于,所述氮化鋁和氧化鋁過渡段包括第一過渡段、第二過渡段、第三過渡段,所述第一過渡段、所述第二過渡段、所述第三過渡段依次連接,所述第一過渡段、所述第二過渡段、所述第三過渡段的長度均為所述軸結構總長度的1/10,所述第一過渡段按質量百分比包括:60~70%氮化鋁和30~40%氧化鋁,所述第二過渡段按質量百分比包括:50~60%氮化鋁和40~50%氧化鋁,所述第三過渡段按質量百分比包括:40~50%氮化鋁和50~60%氧化鋁。
6.根據權利要求5所述的一種軸結構,其特征在于,所述氧化鋁陶瓷段包括第一氧化鋁段、第二氧化鋁段、第三氧化鋁段和第四氧化鋁段,所述第一氧化鋁段、所述第二氧化鋁段、所述第三氧化鋁段、所述第四氧化鋁段依次連接,所述第一氧化鋁段、所述第二氧化鋁段、所述第三氧化鋁段、所述第四氧化鋁段的長度均為所述軸結構總長度的1/10,所述第一氧化鋁段按質量百分比包括:30~40%氮化鋁和60~70%氧化鋁,所述第二氧化鋁段按質量百分比包括:20~30%氮化鋁和70~80%氧化鋁,所述第三氧化鋁段按質量百分比包括:10~20%氮化鋁和80~90%氧化鋁,所述第四氧化鋁段按質量百分比包括:0~10%氮化鋁合90~100%氧化鋁。
7.根據權利要求6所述的一種軸結構,其特征在于,所述第三氮化鋁段與所述第一過渡段連接,所述第三過渡段與所述第一氧化鋁段連接。
8.根據權利要求6所述的一種軸結構,其特征在于,所述軸結構通過陶瓷造粒粉經等靜壓后燒結加工制備。
9.一種包括如權利要求1~8中任意一項所述軸結構的氮化鋁加熱器,其特征在于,所述氮化鋁加熱器包括氮化鋁加熱盤,所述氮化鋁加熱盤與所述氮化鋁陶瓷段連接。
...【技術特征摘要】
1.一種軸結構,其特征在于,所述軸結構包括氮化鋁陶瓷段、氮化鋁和氧化鋁過渡段、氧化鋁陶瓷段,所述氮化鋁陶瓷段、所述氮化鋁和氧化鋁過渡段、所述氧化鋁陶瓷段由上往下依次連接設置。
2.根據權利要求1所述的一種軸結構,其特征在于,所述氮化鋁陶瓷段的長度與所述氮化鋁和氧化鋁過渡段相等,所述氮化鋁和氧化鋁過渡段的長度小于所述氧化鋁陶瓷段的長度。
3.根據權利要求2所述的一種軸結構,其特征在于,所述氮化鋁陶瓷段的長度為所述軸結構總長度的3/10,所述氮化鋁和氧化鋁過渡段的長度為所述軸結構總長度的3/10,所述氧化鋁陶瓷段的長度為所述軸結構總長度的4/10。
4.根據權利要求1所述的一種軸結構,其特征在于,所述氮化鋁陶瓷段包括第一氮化鋁段、第二氮化鋁段和第三氮化鋁段,所述第一氮化鋁段、所述第二氮化鋁段、所述第三氮化鋁段依次連接,所述第一氮化鋁段、所述第二氮化鋁段、所述第三氮化鋁段的長度均為所述軸結構總長度的1/10,所述第一氮化鋁段按質量百分比包括:90~100%氮化鋁和0~10%氧化鋁,所述第二氮化鋁段按質量百分比包括:80~90%氮化鋁和10~20%氧化鋁,第三氮化鋁段按質量百分比包括:70~80%氮化鋁和20~30%氧化鋁。
5.根據權利要求4所述的一種軸結構,其特征在于,所述氮化鋁和氧化鋁過渡段包括第一過渡段、第二過渡段、第三過渡段,所述第一過渡段、所述第二過渡段、所述第三過渡段依次連接,所述第一過渡段、所述第二過渡段、所述第三過...
【專利技術屬性】
技術研發人員:石鍺元,張衛軍,李君,肖偉,裘祝恒,張倩雯,
申請(專利權)人:君原電子科技海寧有限公司,
類型:發明
國別省市:
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