【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及信息處理裝置、顯示輸入裝置以及程序。
技術介紹
1、在專利文獻1中，公開了一種研磨方法，該研磨方法對進行晶圓等被檢查體的電氣檢查的檢查裝置(探針器裝置)中在檢查時與被檢查體接觸的多個探針的針尖進行研磨。
2、在該探針的研磨中，研磨構件的形態(例如磨石的尺寸、布局)以及研磨時的動作(例如研磨構件的動作模式)根據使用檢查裝置的每個用戶，要求內容不同。以往，提供了一種裝置，該裝置基于各個用戶的要求內容，在檢查裝置的制造時或設定時等進行個別設計，來實施每個用戶的研磨內容。
3、<現有技術文獻>
4、<專利文獻>
5、專利文獻1：日本特開2010-48789號公報
技術實現思路
1、<本專利技術要解決的問題>
2、本專利技術提供一種技術，該技術通過使探針的研磨內容的設定共通化，能夠實現工時的縮短化。
3、<用于解決問題的手段>
4、根據本專利技術的一個方式，提供一種設定與被檢查體接觸的探針的研磨內容的信息處理裝置，其具有：區域設定部，設定對所述探針進行研磨的研磨構件中的研磨區域；模式設定部，設定所述探針的研磨時的動作模式；以及模擬部，基于所設定的所述研磨區域以及所設定的所述動作模式，來計算出所述研磨構件與所述探針的相對軌跡。
5、<專利技術的效果>
6、根據一個方式，通過使探針的研磨內容的設定共通化，能夠實現工時的縮短化。
【技術保護點】
1.一種信息處理裝置，是設定與被檢查體接觸的探針的研磨內容的信息處理裝置，其具有：
2.根據權利要求1所述的信息處理裝置，其中，
3.根據權利要求1所述的信息處理裝置，其中，
4.根據權利要求1所述的信息處理裝置，其中，
5.根據權利要求1所述的信息處理裝置，其中，
6.根據權利要求1至5中任一項所述的信息處理裝置，其中，
7.根據權利要求6所述的信息處理裝置，其中，
8.根據權利要求1至5中任一項所述的信息處理裝置，其中，
9.根據權利要求1至5中任一項所述的信息處理裝置，其中，
10.根據權利要求1至5中任一項所述的信息處理裝置，其中，
11.一種顯示輸入裝置，其具有顯示與被檢查體接觸的探針的研磨內容的顯示畫面，通過基于所述顯示畫面進行用戶的操作，來設定所述研磨內容，
12.一種程序，其設定與被檢查體接觸的探針的研磨內容，所述程序使信息處理裝置執行如下步驟：
【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】
1.一種信息處理裝置，是設定與被檢查體接觸的探針的研磨內容的信息處理裝置，其具有：
2.根據權利要求1所述的信息處理裝置，其中，
3.根據權利要求1所述的信息處理裝置，其中，
4.根據權利要求1所述的信息處理裝置，其中，
5.根據權利要求1所述的信息處理裝置，其中，
6.根據權利要求1至5中任一項所述的信息處理裝置，其中，
7.根據權利要求6所述的信息處理裝置，其中，
<...【專利技術屬性】
技術研發人員：石井一成，
申請(專利權)人：東京毅力科創株式會社，
類型：發明
國別省市：
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