【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本文描述的具體實例大致上是關于激光加工設備，且更特定而言，是關于激光感測器系統、其組件以及用于操作其以便加工工件的技術。
技術介紹
1、激光加工系統或設備用于廣泛多種應用，包括印刷電路板(printed?circuitboard；pcb)機械加工、積層制造及類似者。為了加工pcb，當例如使用激光加工在其中形成孔或通孔時，需要精確控制pcb材料(例如，用于形成通孔的金屬、絕緣體等)的剝蝕。加工激光光束的功率或能量的準確及可重復量測對于控制用于形成此等孔或通孔的剝蝕加工是重要的。用于此等精確量測所需的激光感測器系統可系復雜、昂貴且巨大的。因而，需要運用低系統復雜度及成本提供一致且精確結果的激光感測器系統。開發本文所論述的具體實例以認識到本專利技術人發現的這些及其他問題。
2、圖1說明一激光感測器系統30。該激光感測器系統30分別包括鏡32a、32b、34a、34b以及光偵測器36a及36b。鏡32a及32b經提供以將沿著來自第一定位器106的光束路徑14a及14b傳播的光引導至鏡34a及34b。鏡32a及32b作為轉向鏡提供且鏡34a及34b作為經配置以反射入射激光能量光束中的大部分光并透射少量光至偵測器36a的部分透射式鏡提供。未借由部分透射式鏡34a及34b透射的激光能量光束的部分經分別引導至掃描頭120a及120b。偵測器36a經排列以接收借由部分透射式鏡34a透射的光且偵測器36b經排列以接收借由部分透射式鏡34b透射的光。偵測器36a及36b經配置以感測或量測透射至其中的激光能量或功率，并基于感測或量測值產生感
技術實現思路
1、本專利技術的一個具體實例可表征為一設備，該設備包括：一偵測器設備，其包含一光偵測器；至少一個第一光學組件，其經排列以引導一第一光束路徑，一激光能量光束可沿著該第一光束路徑傳播至經配置以將該第一光束路徑引導至該偵測器設備的一第一光學元件串；及至少一個第二光學組件，其經排列以引導一第二光束路徑，該激光能量光束可沿著該第二光束路徑傳播至經配置以將該第二光束路徑引導至該偵測器設備的一第二光學元件串。第一光學元件串及第二光學元件串經配置以在相對于偵測器設備的位置處成像一aod樞軸點。該設備進一步包含可操作以產生激光能量光束的至少一個激光源。
2、第一光學元件串及第二光學元件串可包括一部分透射式鏡及一曲面鏡，其中該部分透射式鏡經排列且經配置以接收該激光能量光束，允許該激光能量光束的第一部分傳播通過該部分透射式鏡，且反射該激光能量光束的第二部分。曲面鏡經排列以自部分透射式鏡接收激光能量光束的第一部分并將激光能量光束的第一部分反射至偵測器設備。在一個具體實例中，偵測器設備為積分球。設備可進一步包含經配置以選擇性地傳播激光能量光束至第一光束路徑或第二光束路徑的開關。開關可為aod系統或電流計系統。光偵測器設備可包含一積分球，該積分球具有一積分球本體，該積分球本體中形成有一收集端口及一偵測端口，其中光偵測器定位于該偵測端口中。
3、本專利技術的另一具體實例可表征為一設備，該設備包括：一偵測器設備，其包含一光偵測器；一第一激光源，其可操作以產生一第一激光能量光束；一第二激光源，其可操作以產生一第二激光能量光束；至少一個第一光學組件，其經排列以引導一第一光束路徑，該第一激光能量光束或該第二激光能量光束可沿著該第一光束路徑傳播至經配置以將該第一光束路徑引導至該偵測器設備的一第一光學元件串；及至少一個第二光學組件，其經排列以引導一第二光束路徑，該第一激光能量光束或該第二激光能量光束可沿著該第二光束路徑傳播至經配置以將該第二光束路徑引導至該偵測器設備的一第二光學元件串。第一光學元件串及第二光學元件串經配置以在相對于偵測器設備的位置處成像一aod樞軸點。第一光學元件串及第二光學元件串可包括部分透射式鏡及曲面鏡，其中該部分透射式鏡經排列且經配置以接收第一激光能量光束或第二激光能量光束；允許第一激光能量光束的第一部分或第二激光能量光束的第一部分傳播通過該部分透射式鏡，且反射第一激光能量光束的第二部分或第二激光能量光束的第二部分。曲面鏡經排列以自部分透射式鏡接收第一激光能量光束的第一部分或第二激光能量光束的第一部分并將第一激光能量光束的第一部分或第二激光能量光束的第一部分反射至偵測器設備。該設備可進一步包含經配置以選擇性地傳播第一激光能量光束或第二激光能量光束至第一光束路徑或第二光束路徑的開關。開關可為aod系統或電流計系統。光偵測器設備可包含一積分球，該積分球具有一積分球本體，該積分球本體中形成有一收集端口及一偵測端口，其中光偵測器定位于該偵測端口中。
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1.一種設備，其包含：
2.如權利要求1所述的設備，其中該第一光學元件串及該第二光學元件串經配置以在相對于該偵測器設備的位置處成像AOD樞軸點。
3.如權利要求1所述的設備，其進一步包含可操作以產生該激光能量光束的至少一個激光源。
4.如權利要求1所述的設備，其中該第一光學元件串及該第二光學元件串包括：
5.如權利要求4所述的設備，其中該部分透射式鏡經排列以：
6.如權利要求5所述的設備，其中該曲面鏡經排列以自該部分透射式鏡接收該激光能量光束的該第一部分并且將該激光能量光束的該第一部分反射至該偵測器設備。
7.如權利要求1所述的設備，其中該偵測器設備為積分球。
8.如權利要求1所述的設備，其進一步包含經配置以選擇性地傳播該激光能量光束至該第一光束路徑或該第二光束路徑的開關。
9.如權利要求8所述的設備，其中該開關為AOD系統。
10.如權利要求8所述的設備，其中該開關為電流計系統。
11.如權利要求1所述的設備，其中該偵測器設備包含：
12.一種設備
13.如權利要求12所述的設備，其中該第一光學元件串及該第二光學元件串經配置以在相對于該偵測器設備的位置處成像AOD樞軸點。
14.如權利要求12所述的設備，其中該第一光學元件串及該第二光學元件串包括：
15.如權利要求14所述的設備，其中該部分透射式鏡經排列以：
16.如權利要求15所述的設備，其中該曲面鏡經排列以自該部分透射式鏡接收該第一激光能量光束或該第二激光能量光束的該第一部分并且將該第一激光能量光束或該第二激光能量光束的該第一部分反射至該偵測器設備。
17.如權利要求12所述的設備，其進一步包含經配置以選擇性地傳播該第一激光能量光束或該第二激光能量光束至該第一光束路徑或該第二光束路徑的開關。
18.如權利要求17所述的設備，其中該開關為AOD系統。
19.如權利要求17所述的設備，其中該開關為電流計系統。
20.如權利要求12所述的設備，其中該偵測器設備包含：
...【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】
1.一種設備，其包含：
2.如權利要求1所述的設備，其中該第一光學元件串及該第二光學元件串經配置以在相對于該偵測器設備的位置處成像aod樞軸點。
3.如權利要求1所述的設備，其進一步包含可操作以產生該激光能量光束的至少一個激光源。
4.如權利要求1所述的設備，其中該第一光學元件串及該第二光學元件串包括：
5.如權利要求4所述的設備，其中該部分透射式鏡經排列以：
6.如權利要求5所述的設備，其中該曲面鏡經排列以自該部分透射式鏡接收該激光能量光束的該第一部分并且將該激光能量光束的該第一部分反射至該偵測器設備。
7.如權利要求1所述的設備，其中該偵測器設備為積分球。
8.如權利要求1所述的設備，其進一步包含經配置以選擇性地傳播該激光能量光束至該第一光束路徑或該第二光束路徑的開關。
9.如權利要求8所述的設備，其中該開關為aod系統。
10.如權利要求8所述的設備，其中該開關為電流計系統。
11.如權利要求1所述的設備...
【專利技術屬性】
技術研發人員：杰瑞德·瑞智特爾，詹姆斯·布魯克伊塞，
申請(專利權)人：伊雷克托科學工業股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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