一種小型運動臺制造技術

本技術涉及運動平臺領域，具體為一種小型運動臺，包括基座和設置在基座上方的載臺，以及設置在基座和載臺之間的驅動裝置和導軌組件；所述載臺的下端設置有第一安裝槽，所述基座的上端設置有與第一安裝槽相對應的第二安裝槽；所述驅動裝置固定連接在第二安裝槽內且其驅動端與第一安裝槽連接；所述導軌組件的導向方向與驅動裝置的驅動方向平行。通過對多載臺和基座設置相應的安裝槽，為驅動裝置，導軌組件等安裝提供空間，通過嵌入式的安裝，可降低運動平臺的整體高度；同時安裝槽的側壁相當于加強筋，對基座或載臺起到強度進行加強，增加使用時的穩定性。

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及運動平臺，特別涉及一種小型運動臺。

技術介紹

1、在步進式光刻機設備中，需要采用運動平臺負載晶圓進行往復運動。但光刻機的電缸上端的高度空間有限，需要采用結構較小的運動平臺。而現有技術的運動平臺通常高度較大，無法直接應用于光刻機的使用；另外，光刻機中使用的運動平臺的精度較高，現有技術中直接采用的薄板作為基座或載臺，長時間使用后容易發生變形，使用不穩定。因此，如何在有限的空間內設置小型且精密的運動平臺是本領域技術人員需要考慮的問題。

技術實現思路

1、本技術目的是：提供一種小型運動臺，以解決現有技術中運動平臺尺寸大且使用穩定性低等問題。

2、本技術的技術方案是：一種小型運動臺，包括基座和設置在基座上方的載臺，以及設置在基座和載臺之間的驅動裝置和導軌組件；所述載臺的下端設置有第一安裝槽，所述基座的上端設置有與第一安裝槽相對應的第二安裝槽；所述驅動裝置固定連接在第二安裝槽內且其驅動端與第一安裝槽連接；所述導軌組件的導向方向與驅動裝置的驅動方向平行；

3、所述基座下端設置有第三安裝槽和與第三安裝槽連接的第四安裝槽，所述第三安裝槽內設置有光柵傳感器，且所述光柵傳感器的連接線通過第四安裝槽引出基座。

4、優選的，所述基座的下端嵌設有蓋板，所述蓋板的下端面與基座的下端面處于同一水平面上，且所述蓋板覆蓋在第三安裝槽和第四安裝槽上。

5、優選的，所述載臺的下端連接有光柵尺，所述第三安裝槽的底面上開設有讓位孔，所述光柵傳感器通過讓位孔可感應光柵尺。

6、優選的，所述驅動裝置的驅動端對稱設置且設置在驅動裝置的兩側，所述驅動端遠離驅動裝置的一端連接有固定塊，所述固定塊與第一安裝槽底部固定連接。

7、優選的，所述導軌組件至少設置有兩個，相互平行且對稱設置在基座的兩端；所述導軌組件的固定部固定設置在基座上，滑動部固定設置在載臺上。

8、優選的，所述導軌組件為交叉滾子導軌。

9、優選的，所述第一安裝槽底部連接有第一限位塊，所述第二安裝槽底部連接有第二限位塊；在驅動裝置的驅動方向上，所述第二限位塊設置有兩個，且設置在第一限位塊的兩側。

10、與現有技術相比，本技術的優點是：

11、(1)通過對多載臺和基座設置相應的安裝槽，為驅動裝置，導軌組件等安裝提供空間，通過嵌入式的安裝，可降低運動平臺的整體高度；同時安裝槽的側壁相當于加強筋，對基座或載臺起到強度進行加強，增加使用時的穩定性。

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【技術保護點】

1.一種小型運動臺，其特征在于，包括基座和設置在基座上方的載臺，以及設置在基座和載臺之間的驅動裝置和導軌組件；所述載臺的下端設置有第一安裝槽，所述基座的上端設置有與第一安裝槽相對應的第二安裝槽；所述驅動裝置固定連接在第二安裝槽內且其驅動端與第一安裝槽連接；所述導軌組件的導向方向與驅動裝置的驅動方向平行；

2.根據權利要求1所述的一種小型運動臺，其特征在于：所述基座的下端嵌設有蓋板，所述蓋板的下端面與基座的下端面處于同一水平面上，且所述蓋板覆蓋在第三安裝槽和第四安裝槽上。

3.根據權利要求1所述的一種小型運動臺，其特征在于：所述載臺的下端連接有光柵尺，所述第三安裝槽的底面上開設有讓位孔，所述光柵傳感器通過讓位孔可感應光柵尺。

4.根據權利要求1所述的一種小型運動臺，其特征在于：所述驅動裝置的驅動端對稱設置且設置在驅動裝置的兩側，所述驅動端遠離驅動裝置的一端連接有固定塊，所述固定塊與第一安裝槽底部固定連接。

5.根據權利要求1所述的一種小型運動臺，其特征在于：所述導軌組件至少設置有兩個，相互平行且對稱設置在基座的兩端；所述導軌組件的固定部固定設置在基座上，滑動部固定設置在載臺上。

6.根據權利要求4所述的一種小型運動臺，其特征在于：所述導軌組件為交叉滾子導軌。

7.根據權利要求1所述的一種小型運動臺，其特征在于：所述第一安裝槽底部連接有第一限位塊，所述第二安裝槽底部連接有第二限位塊；在驅動裝置的驅動方向上，所述第二限位塊設置有兩個，且設置在第一限位塊的兩側。

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【技術特征摘要】

1.一種小型運動臺，其特征在于，包括基座和設置在基座上方的載臺，以及設置在基座和載臺之間的驅動裝置和導軌組件；所述載臺的下端設置有第一安裝槽，所述基座的上端設置有與第一安裝槽相對應的第二安裝槽；所述驅動裝置固定連接在第二安裝槽內且其驅動端與第一安裝槽連接；所述導軌組件的導向方向與驅動裝置的驅動方向平行；

2.根據權利要求1所述的一種小型運動臺，其特征在于：所述基座的下端嵌設有蓋板，所述蓋板的下端面與基座的下端面處于同一水平面上，且所述蓋板覆蓋在第三安裝槽和第四安裝槽上。

3.根據權利要求1所述的一種小型運動臺，其特征在于：所述載臺的下端連接有光柵尺，所述第三安裝槽的底面上開設有讓位孔，所述光柵傳感器通過讓位孔可感應光柵尺。

4.根...

【專利技術屬性】
技術研發人員：陳慶生，高建，
申請(專利權)人：蘇州盛拓半導體科技有限公司，
類型：新型
國別省市：