【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及研磨機(jī)，具體是一種研磨厚度控制環(huán)裝置。
技術(shù)介紹
1、研磨機(jī)是用涂上或嵌入磨料的研具對(duì)工件表面進(jìn)行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、內(nèi)外圓柱面、圓錐面、球面、螺紋面和其他型面。用于材料的單面研磨、拋光。研磨機(jī)為了提高研磨精度往往設(shè)置研磨厚度控制機(jī)構(gòu)，以保證研磨厚度的精度。
2、現(xiàn)有技術(shù)中申請(qǐng)?zhí)?02222499365.6的一種晶圓高精密厚度研磨在線控制設(shè)備，涉及到晶圓研磨領(lǐng)域，包括旋轉(zhuǎn)放置臺(tái)、研磨頭單元和控制器，所述旋轉(zhuǎn)放置臺(tái)包括帶有吸附孔的且位于限位盤內(nèi)腔的真空吸盤，設(shè)置有雙激光測(cè)厚儀，可實(shí)現(xiàn)晶圓研磨厚度實(shí)時(shí)在線檢測(cè)，以便人員及時(shí)對(duì)設(shè)備進(jìn)行調(diào)整，以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓厚度的高精密研磨，設(shè)有晶圓頂起單元，提高頂起桿將晶圓頂出限位盤的內(nèi)腔，此時(shí)直接將晶圓取下即可，操作方便簡(jiǎn)單，但是，難以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)定高研磨的目的，從而產(chǎn)品研磨的效率和精度。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本技術(shù)的目的在于提供一種研磨厚度控制環(huán)裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中難以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)定高研磨的目的，從而產(chǎn)品研磨的效率和精度的問題。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本技術(shù)提供如下技術(shù)方案：一種研磨厚度控制環(huán)裝置，包括研磨臺(tái)，所述研磨臺(tái)下側(cè)通過立柱設(shè)有底座，所述研磨臺(tái)外側(cè)滑動(dòng)套設(shè)有壓力板和陶瓷控制環(huán)，所述陶瓷控制環(huán)通過壓力傳感器設(shè)置在壓力板上側(cè)，所述立柱內(nèi)中部開設(shè)有滑孔，且滑孔內(nèi)部通過絲杠設(shè)有升降板，所述升降板兩端上側(cè)設(shè)有支撐桿，且支撐桿上端一側(cè)壓力板下側(cè)固定連接。
3、進(jìn)一步的，所述研磨臺(tái)設(shè)置成圓形臺(tái)，且壓力
4、進(jìn)一步的，所述升降板采用矩形板，且升降板兩側(cè)壁與滑孔滑動(dòng)設(shè)置。
5、進(jìn)一步的，所述絲杠包括旋轉(zhuǎn)設(shè)置在滑孔內(nèi)中部的絲桿，所述升降板中部通過螺紋孔與絲桿螺紋連接，所述絲桿一端通過齒輪組傳動(dòng)連接有電動(dòng)機(jī)。
6、進(jìn)一步的，所述齒輪組包括設(shè)置在絲桿下部的從動(dòng)齒輪，所述電動(dòng)機(jī)一端傳動(dòng)連接有與從動(dòng)齒輪嚙合連接的主動(dòng)齒輪。
7、進(jìn)一步的，所述滑孔內(nèi)壁還設(shè)有導(dǎo)向桿，且升降板兩側(cè)中部與導(dǎo)向桿滑動(dòng)設(shè)置。
8、進(jìn)一步的，所述滑孔外側(cè)壁還設(shè)有刻度線，且刻度線的精確度為0.5mm。
9、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)的有益效果是：
10、本技術(shù)通過把產(chǎn)品粘貼在研磨臺(tái)的地面后，調(diào)節(jié)陶瓷控制環(huán)的高度，并使產(chǎn)品的高度高于陶瓷控制環(huán)的高度，陶瓷控制環(huán)與產(chǎn)品的高度差為要研磨掉的高度，當(dāng)研磨盤研磨到與陶瓷控制環(huán)高度平齊時(shí)，壓力傳感器感受到壓力，此時(shí)壓力傳感器將信號(hào)傳遞給控制器，控制器將控制研磨盤上移停止研磨，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)定高研磨的目的，有利于提高產(chǎn)品研磨的效率和精度。
11、本技術(shù)通過立柱內(nèi)中部開設(shè)有滑孔，且滑孔內(nèi)部通過絲杠設(shè)有升降板，升降板兩端上側(cè)設(shè)有支撐桿，且支撐桿上端一側(cè)壓力板下側(cè)固定連接，使得通過絲杠可驅(qū)動(dòng)升降板升降調(diào)節(jié)，從而能夠調(diào)節(jié)陶瓷控制環(huán)的高度，而且調(diào)節(jié)方便快捷，精度較高。
12、本技術(shù)通過滑孔外側(cè)壁還設(shè)有刻度線，且刻度線的精確度為0.5mm，便于精準(zhǔn)調(diào)控升降板和陶瓷控制環(huán)的使用高度。
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1.一種研磨厚度控制環(huán)裝置，包括研磨臺(tái)（1），其特征在于：所述研磨臺(tái)（1）下側(cè)通過立柱（2）設(shè)有底座（3），所述研磨臺(tái)（1）外側(cè)滑動(dòng)套設(shè)有壓力板（4）和陶瓷控制環(huán)（5），所述陶瓷控制環(huán)（5）通過壓力傳感器（11）設(shè)置在壓力板（4）上側(cè)，所述立柱（2）內(nèi)中部開設(shè)有滑孔（9），且滑孔（9）內(nèi)部通過絲杠設(shè)有升降板（8），所述升降板（8）兩端上側(cè)設(shè)有支撐桿（7），且支撐桿（7）上端一側(cè)壓力板（4）下側(cè)固定連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種研磨厚度控制環(huán)裝置，其特征在于：所述研磨臺(tái)（1）設(shè)置成圓形臺(tái)，且壓力板（4）和陶瓷控制環(huán)（5）均設(shè)置成環(huán)形板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種研磨厚度控制環(huán)裝置，其特征在于：所述升降板（8）采用矩形板，且升降板（8）兩側(cè)壁與滑孔（9）滑動(dòng)設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種研磨厚度控制環(huán)裝置，其特征在于：所述絲杠包括旋轉(zhuǎn)設(shè)置在滑孔（9）內(nèi)中部的絲桿（12），所述升降板（8）中部通過螺紋孔（16）與絲桿（12）螺紋連接，所述絲桿（12）一端通過齒輪組傳動(dòng)連接有電動(dòng)機(jī)（15）。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種研磨
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種研磨厚度控制環(huán)裝置，其特征在于：所述滑孔（9）內(nèi)壁還設(shè)有導(dǎo)向桿（18），且升降板（8）兩側(cè)中部與導(dǎo)向桿（18）滑動(dòng)設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種研磨厚度控制環(huán)裝置，其特征在于：所述滑孔（9）外側(cè)壁還設(shè)有刻度線（10），且刻度線（10）的精確度為0.5mm。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種研磨厚度控制環(huán)裝置，包括研磨臺(tái)（1），其特征在于：所述研磨臺(tái)（1）下側(cè)通過立柱（2）設(shè)有底座（3），所述研磨臺(tái)（1）外側(cè)滑動(dòng)套設(shè)有壓力板（4）和陶瓷控制環(huán)（5），所述陶瓷控制環(huán)（5）通過壓力傳感器（11）設(shè)置在壓力板（4）上側(cè)，所述立柱（2）內(nèi)中部開設(shè)有滑孔（9），且滑孔（9）內(nèi)部通過絲杠設(shè)有升降板（8），所述升降板（8）兩端上側(cè)設(shè)有支撐桿（7），且支撐桿（7）上端一側(cè)壓力板（4）下側(cè)固定連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種研磨厚度控制環(huán)裝置，其特征在于：所述研磨臺(tái)（1）設(shè)置成圓形臺(tái)，且壓力板（4）和陶瓷控制環(huán)（5）均設(shè)置成環(huán)形板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種研磨厚度控制環(huán)裝置，其特征在于：所述升降板（8）采用矩形板，且升降板（8）兩側(cè)壁與滑孔（9）滑動(dòng)設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：寧富生，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：坂口電子機(jī)械上海有限公司，
類型：新型
國別省市：
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