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    一種智能傳感器掩模版制造技術

    技術編號:44025704 閱讀:1 留言:0更新日期:2025-01-15 01:08
    本技術公開了一種智能傳感器掩模版,包括由支架連接的內環和外環,還包括固定件;所述內環內側鏤空區域用于沉積信號電極;所述內環與所述外環之間的區域用于沉積接地電極;所述固定件設置于所述外環或所述內環上;所述外環上還設置有若干開孔,所述開孔用于在沉積后在襯底上形成接地電極和襯底連接的通道。本技術的智能傳感器掩模版設計了支架連接內環與外環,并在外環上還設置有若干開孔,這樣的結構一方面使得整體機構支撐性好、不易變形,同時巧妙地利用半影效應,使得在電極沉積過程中沉積出了導通通道,將接地電極環與襯底相連,形成較大的接地電極,方便信號測量。

    【技術實現步驟摘要】

    本技術涉及鍍膜掩蔽物,特別涉及一種智能傳感器掩模版


    技術介紹

    1、在當前的緊固件傳感器技術依然存在不足,如對于電極層及其絕緣環制備技術,由于當前的超聲信號測量探頭都無法從外辨別接地處位置,這就需要制備的電極具備足夠大的接地電極,當前主要為采用以下兩種方式制備電極層:

    2、方式一:采用高溫膠絕緣環,將其粘貼在壓電層或絕緣層表面,然后再制備電極層,傳統高溫膠絕緣環為單環結構,具備足夠大的接地電極,但該絕緣環不可重復使用,制備使用效率低,外觀質量差及不穩定等缺點,且電極涂層沉積過程中涉及高溫工況,高溫下高溫膠絕緣環易揮發有機物,使得電極層存在碳污染,影響合格率。

    3、方式二:采用固定尺寸結構的工裝掩模版,將掩模版套在緊固件上以沉積電極層,該方法最大的弊端在于工裝掩模版不可靈活使用,必須根據螺栓尺寸定制特定規格的工裝掩模版,且工裝掩模版尺寸較大,不方便精細清洗,容易殘留前期涂層,污染后續電極材料。


    技術實現思路

    1、為了解決現有技術存在的問題,本技術提供了一種智能傳感器掩模版,包括由支架連接的內環和外環,還包括固定件;

    2、所述內環內側鏤空區域用于沉積信號電極;

    3、所述內環與所述外環之間的區域用于沉積接地電極;

    4、所述固定件設置于所述外環或所述內環上;

    5、所述外環上還設置有若干開孔,所述開孔用于在沉積后在襯底上形成接地電極和襯底連接的通道。

    6、進一步地,所述開孔的寬度為0.05-0.15mm,長度為0.1-1.5mm;優選地,開孔數量為3-4個。

    7、進一步地,所述內環的環寬為1-3mm;

    8、所述外環的環寬為3-5mm。

    9、進一步地,所述支架的寬度為0.05-0.15mm、長度為2-4mm。

    10、進一步地,所述固定件為設置在外環上的綁帶。

    11、進一步地,所述綁帶為寬度為2-5mm的長方形,其數量為2-6個。

    12、進一步地,所述固定件為耐受沉積溫度的磁體,其設置于所述外環或所述內環上時,分別不會覆蓋超出所述外環或所述內環的區域,防止破壞電極外觀完整度。

    13、進一步地,所述內環和所述外環的形狀為圓環,所述內環內鏤空區域為直徑2-8mm的圓形;

    14、所述內環與所述外環之間的區域的環寬為2-4mm。

    15、進一步地,所述內環、所述外環和所述支架的厚度為50-200μm。

    16、相對于現有技術,本技術具有以下的有益效果:

    17、本技術的智能傳感器掩模版設計了支架連接內環與外環,并在外環上還設置有若干開孔,這樣的結構一方面使得整體機構支撐性好、不易變形,同時巧妙地利用半影效應,使得在電極沉積過程中沉積出了導通通道,將接地電極環與襯底相連,形成較大的接地電極,方便信號測量;

    18、本技術的智能傳感器掩模版并非粘貼在襯底表面,采用其制備的電極涂層不存在碳污染現象、且具備足夠大的接地電極;

    19、本技術的智能傳感器掩模版適用于任何尺寸、型號、形狀、材質的襯底,并且結構簡單、操作方便、可重復實用。

    20、本技術的其它特征和優點將在隨后的說明書中闡述,并且,部分地從說明書中變得顯而易見,或者通過實施本技術而了解。本技術的目的和其他優點可通過在說明書以及附圖中所指出的結構來實現和獲得。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種智能傳感器掩模版,其特征在于,包括由支架連接的內環和外環,還包括固定件;

    2.根據權利要求1所述的智能傳感器掩模版,其特征在于,所述開孔的寬度為0.05-0.15mm,長度為0.1-1.5mm。

    3.根據權利要求1所述的智能傳感器掩模版,其特征在于,所述內環的環寬為1-3mm;

    4.根據權利要求1所述的智能傳感器掩模版,其特征在于,所述支架的寬度為0.05-0.15mm、長度為2-4mm。

    5.根據權利要求1所述的智能傳感器掩模版,其特征在于,所述固定件為設置在外環上的綁帶。

    6.根據權利要求5所述的智能傳感器掩模版,其特征在于,所述綁帶為寬度為2-5mm的長方形,其數量介于2-6個。

    7.根據權利要求1所述的智能傳感器掩模版,其特征在于,所述固定件為耐受沉積溫度的磁體,其設置于所述外環或所述內環上時,分別不會覆蓋超出所述外環或所述內環的區域。

    8.根據權利要求1所述的智能傳感器掩模版,其特征在于,所述內環和所述外環的形狀為圓環,所述內環內鏤空區域為直徑2-8mm的圓形;

    9.根據權利要求1-8任一項所述的智能傳感器掩模版,其特征在于,所述內環、所述外環和所述支架的厚度為50-200μm。

    ...

    【技術特征摘要】

    1.一種智能傳感器掩模版,其特征在于,包括由支架連接的內環和外環,還包括固定件;

    2.根據權利要求1所述的智能傳感器掩模版,其特征在于,所述開孔的寬度為0.05-0.15mm,長度為0.1-1.5mm。

    3.根據權利要求1所述的智能傳感器掩模版,其特征在于,所述內環的環寬為1-3mm;

    4.根據權利要求1所述的智能傳感器掩模版,其特征在于,所述支架的寬度為0.05-0.15mm、長度為2-4mm。

    5.根據權利要求1所述的智能傳感器掩模版,其特征在于,所述固定件為設置在外環上的綁帶。

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    【專利技術屬性】
    技術研發人員:佩列諾維奇·瓦西里·奧列戈維奇曾曉梅楊兵張翔宇
    申請(專利權)人:武漢大學
    類型:新型
    國別省市:

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