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    基于MEMS開關的毫米波隔離裝置制造方法及圖紙

    技術編號:44039429 閱讀:11 留言:0更新日期:2025-01-15 01:16
    本技術提供基于MEMS開關的毫米波隔離裝置,包括發射端天線傳輸線路、接收端天線傳輸線路和MEMS開關結構;MEMS開關結構包括相連接的信號控制器和MEMS開關;MEMS開關包括彈性懸板;彈性懸板設于發射端天線傳輸線路或接收端天線傳輸線路的上方并間隔預設距離,以使得彈性懸板在信號控制器的控制下發生形變后,能夠將位于其下方的發射端天線傳輸線路或接收端天線傳輸線路部分覆蓋或全部覆蓋。以此起到對毫米波隔離裝置中的發射端和接收端之間的通信進行控制的作用;能夠做到通過物理調制信號方式來取代現有需配備復雜電路結構實現隔離器的OOK調制,從而大大簡化了毫米波隔離裝置的電路結構。

    【技術實現步驟摘要】

    本技術涉及數字隔離裝置,具體涉及基于mems開關的毫米波隔離裝置。


    技術介紹

    1、在毫米波隔離裝置
    ,可以采用天線耦合的方式結合ook調制模式來設計隔離器。如圖1所示,在發送端tx,信號在壓控振蕩器vco處與載波耦合成混波mixsignal,之后通過毫米波天線發送到隔離物另一側的接收端rx;接收端的毫米波天線接收到混波后通過低噪聲放大器lna將接收到的信號放大,并在解調模塊demodulator將混波恢復成傳輸的信號。

    2、由于ook調制需要用到較復雜的電路結構,而毫米波隔離器的整體尺寸設計也有要求,因此需要考慮如何簡化毫米波隔離器的電路結構,以使其滿足尺寸要求。


    技術實現思路

    1、本技術所要解決的技術問題是:提供一種基于mems開關的毫米波隔離裝置,使用物理調制信號的方式來簡化毫米波隔離裝置的電路結構。

    2、為了解決上述技術問題,本技術采用的技術方案為:

    3、一種基于mems開關的毫米波隔離裝置,包括發射端天線傳輸線路、接收端天線傳輸線路和mems開關結構;所述mems開關結構包括相連接的信號控制器和mems開關;所述mems開關包括彈性懸板;所述彈性懸板設于所述發射端天線傳輸線路或所述接收端天線傳輸線路的上方并間隔預設距離,以使得所述彈性懸板在所述信號控制器的控制下發生形變后,能夠將位于其下方的所述發射端天線傳輸線路或所述接收端天線傳輸線路部分覆蓋或全部覆蓋。

    4、可選地,所述mems開關還包括支撐基材和下拉電極;所述下拉電極與所述信號控制器連接,且設于所述彈性懸板的下方;所述彈性懸板設于所述支撐基材上。

    5、可選地,所述支撐基材的數量為兩個;所述彈性懸板跨接在兩個支撐基材之間。

    6、可選地,還包括基板;所述發射端天線傳輸線路、所述接收端天線傳輸線路、所述支撐基材和所述下拉電極均設于所述基板上。

    7、可選地,所述mems開關還包括接地件;所述支撐基材與所述接地件連接。

    8、可選地,所述彈性懸板為薄膜材質。

    9、可選地,所述mems開關結構設于發射端;所述彈性懸板設于所述發射端天線傳輸線路的上方。

    10、可選地,發射端包括壓控振蕩器vco以及發射天線;所述壓控振蕩器vco的輸出端與所述發射端天線傳輸線路的輸入端連接;所述發射天線與所述發射端天線傳輸線路的輸出端連接。

    11、可選地,所述mems開關結構設于接收端;所述彈性懸板設于所述接收端天線傳輸線路的上方。

    12、可選地,接收端包括放大器、解調模塊以及接收天線;所述接收天線與所述接收端天線傳輸線路的輸入端連接;所述接收端天線傳輸線路的輸出端經由所述放大器再與所述解調模塊連接。

    13、本技術的有益效果在于:提供一種基于mems開關的毫米波隔離裝置,通過在發射端天線傳輸線路或接收端天線傳輸線路的上方設置mems開關,以使得mems開關中的彈性懸板在受控發生形變之后,能夠將位于其下方的發射端天線傳輸線路或接收端天線傳輸線路部分覆蓋或全部覆蓋,從而起到阻擋毫米波信號傳輸,實現對毫米波隔離裝置中的發射端和接收端之間的通信進行控制的作用。由此,本技術便能做到通過物理調制信號方式來取代現有需配備復雜電路結構實現隔離器的ook調制,從而大大簡化了毫米波隔離裝置的電路結構。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種基于MEMS開關的毫米波隔離裝置,其特征在于,包括發射端天線傳輸線路、接收端天線傳輸線路和MEMS開關結構;所述MEMS開關結構包括相連接的信號控制器和MEMS開關;所述MEMS開關包括彈性懸板;所述彈性懸板設于所述發射端天線傳輸線路或所述接收端天線傳輸線路的上方并間隔預設距離,以使得所述彈性懸板在所述信號控制器的控制下發生形變后,能夠將位于其下方的所述發射端天線傳輸線路或所述接收端天線傳輸線路部分覆蓋或全部覆蓋。

    2.如權利要求1所述的一種基于MEMS開關的毫米波隔離裝置,其特征在于,所述MEMS開關還包括支撐基材和下拉電極;所述下拉電極與所述信號控制器連接,且設于所述彈性懸板的下方;所述彈性懸板設于所述支撐基材上。

    3.如權利要求2所述的一種基于MEMS開關的毫米波隔離裝置,其特征在于,所述支撐基材的數量為兩個;所述彈性懸板跨接在兩個支撐基材之間。

    4.如權利要求2所述的一種基于MEMS開關的毫米波隔離裝置,其特征在于,還包括基板;所述發射端天線傳輸線路、所述接收端天線傳輸線路、所述支撐基材和所述下拉電極均設于所述基板上。

    <p>5.如權利要求2所述的一種基于MEMS開關的毫米波隔離裝置,其特征在于,所述MEMS開關還包括接地件;所述支撐基材與所述接地件連接。

    6.如權利要求1所述的一種基于MEMS開關的毫米波隔離裝置,其特征在于,所述彈性懸板為薄膜材質。

    7.如權利要求1所述的一種基于MEMS開關的毫米波隔離裝置,其特征在于,所述MEMS開關結構設于發射端;所述彈性懸板設于所述發射端天線傳輸線路的上方。

    8.如權利要求7所述的一種基于MEMS開關的毫米波隔離裝置,其特征在于,發射端包括壓控振蕩器VCO以及發射天線;所述壓控振蕩器VCO的輸出端與所述發射端天線傳輸線路的輸入端連接;所述發射天線與所述發射端天線傳輸線路的輸出端連接。

    9.如權利要求1所述的一種基于MEMS開關的毫米波隔離裝置,其特征在于,所述MEMS開關結構設于接收端;所述彈性懸板設于所述接收端天線傳輸線路的上方。

    10.如權利要求9所述的一種基于MEMS開關的毫米波隔離裝置,其特征在于,接收端包括放大器、解調模塊以及接收天線;所述接收天線與所述接收端天線傳輸線路的輸入端連接;所述接收端天線傳輸線路的輸出端經由所述放大器再與所述解調模塊連接。

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    【技術特征摘要】

    1.一種基于mems開關的毫米波隔離裝置,其特征在于,包括發射端天線傳輸線路、接收端天線傳輸線路和mems開關結構;所述mems開關結構包括相連接的信號控制器和mems開關;所述mems開關包括彈性懸板;所述彈性懸板設于所述發射端天線傳輸線路或所述接收端天線傳輸線路的上方并間隔預設距離,以使得所述彈性懸板在所述信號控制器的控制下發生形變后,能夠將位于其下方的所述發射端天線傳輸線路或所述接收端天線傳輸線路部分覆蓋或全部覆蓋。

    2.如權利要求1所述的一種基于mems開關的毫米波隔離裝置,其特征在于,所述mems開關還包括支撐基材和下拉電極;所述下拉電極與所述信號控制器連接,且設于所述彈性懸板的下方;所述彈性懸板設于所述支撐基材上。

    3.如權利要求2所述的一種基于mems開關的毫米波隔離裝置,其特征在于,所述支撐基材的數量為兩個;所述彈性懸板跨接在兩個支撐基材之間。

    4.如權利要求2所述的一種基于mems開關的毫米波隔離裝置,其特征在于,還包括基板;所述發射端天線傳輸線路、所述接收端天線傳輸線路、所述支撐基材和所述下拉電極均設于所述基板上。

    5.如權利要求2所述的一種基于...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:李成李作緯
    申請(專利權)人:德氪微電子深圳有限公司
    類型:新型
    國別省市:

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