【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于保持環檢測，具體涉及一種保持環磨削端面跳動測量裝置及使用方法。
技術介紹
1、化學機械拋光(chemical-mechanical?polishing，cmp)是集成電路制造工藝中實現晶圓表面平坦化的關鍵技術。隨著半導體制造工藝的日益復雜，cmp的用處更加廣泛。保持環作為cmp工藝的主要耗材之一，在cmp工藝中得到了廣泛的應用。保持環主要用于cmp拋光工藝過程中固定晶圓，把邊緣的拋光墊和晶圓以下的拋光墊壓平到同一高度，有效解決“過磨”問題。
2、由于保持環在cmp工藝中的重要性，其制造精度直接影響到cmp工藝的效果和晶圓的質量。保持環的端面跳動精度是其加工質量的重要指標之一，目前常用的檢測方法有手動檢測、自動化檢測和三坐標測量設備等，但是仍存在著誤差大、過程繁瑣、效率低和易出錯等問題。因此，開發一種高效穩定的保持環磨削端面跳動測量裝置對于保證保持環的加工質量、提高cmp工藝的效率和質量具有重要意義。
技術實現思路
1、本專利技術的目的是為了解決現有保持環端面跳動檢測方法中存在的效率低下、人為誤差大、成本高以及精度不足等問題，提供一種保持環磨削端面跳動測量裝置及使用方法，實現對保持環磨削端面跳動的快速、精確測量，從而提高cmp工藝中保持環的加工質量和生產效率，降低生產成本，并確保晶圓表面拋光的均勻性，以滿足半導體制造領域對高精度加工日益增長的需求。
2、一種保持環磨削端面跳動測量裝置，包括夾具，夾具上夾持有傳感器，夾具能夠調節傳感器的高度以及水平
3、所述夾具包括光桿固定座、光桿、升降機構、上固定板，所述光桿穿過連接板的一端固定在光桿固定座上，連接板另一端固定在機床構件上，光桿上設有升降機構，升降機構的桿端設有能夠進行水平位置調節的上固定板，上固定板的端部連接傳感器。
4、所述升降機構的后側設有旋鈕ⅰ，粗略調節升降機構在光桿上的高度；升降機構的兩端側設有旋鈕ⅱ，精準調節升降機構在光桿上的高度，使傳感器與保持環磨削端面高度一致。
5、所述升降機構的桿端設有調節孔，上固定板在調節孔內移動，用于傳感器的水平位置調節，上固定板底部使用螺栓固定。
6、所述上固定板的端部設有u形槽，傳感器在u形槽內移動并通過上下螺栓固定，用于傳感器對保持環磨削端面不同位置的跳動測量。
7、所述傳感器為高精度電渦流位移傳感器，其靜態測量分辨率小于0.1um。
8、所述光桿固定座、光桿、上固定板、連接板均采用賽鋼材料。
9、一種保持環磨削端面跳動測量裝置的使用方法，包括以下步驟：
10、步驟1：首先將安裝好的夾具放置在圓臺的一側，并固定在機床構件上，圓臺上放置保持環；
11、步驟2：調節旋鈕ⅰ，使傳感器與保持環磨削端面的高度臨近，調節上固定板在調節孔的位置，使傳感器在保持環磨削端面上方，接著調節旋鈕ⅱ，使傳感器接觸保持環磨削端面，圓臺啟動，開始測量，調節傳感器在u形槽上的位置，實現保持環磨削端面不同位置的跳動測量。
12、本專利技術的有益效果如下：
13、本專利技術通過夾具夾持傳感器實現保持環磨削端面的跳動測量，本申請的夾具通過升降機構的兩級調節，實現傳感器高度上的精準定位，通過上固定板在升降機構上的調節，實現傳感器平面位置的一次調節，同時通過傳感器在u形槽內的移動，實現不同位置磨削端面的跳動測量；本申請的測量裝置簡單高效，操作難度低，而且生產成本低。
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1.一種保持環磨削端面跳動測量裝置，其特征在于，包括夾具，夾具上夾持有傳感器，夾具能夠調節傳感器的高度以及水平位置，使傳感器接觸放置在圓臺上方的保持環磨削端面以實現其跳動測量。
2.根據權利要求1所述的一種保持環磨削端面跳動測量裝置，其特征在于，所述夾具包括光桿固定座、光桿、升降機構、上固定板、連接板，所述光桿穿過連接板的一端固定在光桿固定座上，連接板另一端固定在機床構件上，光桿上設有升降機構，升降機構的桿端設有能夠進行水平位置調節的上固定板，上固定板的端部連接傳感器。
3.根據權利要求2所述的一種保持環磨削端面跳動測量裝置，其特征在于，所述升降機構的后側設有旋鈕Ⅰ，粗略調節升降機構在光桿上的高度；升降機構的兩端側設有旋鈕Ⅱ，精準調節升降機構在光桿上的高度，使傳感器與保持環磨削端面高度一致。
4.根據權利要求3所述的一種保持環磨削端面跳動測量裝置，其特征在于，所述升降機構的桿端設有調節孔，上固定板在調節孔內移動，用于傳感器的水平位置調節，上固定板底部使用螺栓固定。
5.根據權利要求4所述的一種保持環磨削端面跳動測量裝置，其特征在于，
6.根據權利要求1所述的一種保持環磨削端面跳動測量裝置，其特征在于，所述傳感器為高精度電渦流位移傳感器，其靜態測量分辨率小于0.1um。
7.根據權利要求2所述的一種保持環磨削端面跳動測量裝置，其特征在于，所述光桿固定座、光桿、上固定板、連接板均采用賽鋼材料。
8.一種保持環磨削端面跳動測量裝置的使用方法，基于權利要求5所述的裝置，其特征在于，包括以下步驟：
...【技術特征摘要】
1.一種保持環磨削端面跳動測量裝置，其特征在于，包括夾具，夾具上夾持有傳感器，夾具能夠調節傳感器的高度以及水平位置，使傳感器接觸放置在圓臺上方的保持環磨削端面以實現其跳動測量。
2.根據權利要求1所述的一種保持環磨削端面跳動測量裝置，其特征在于，所述夾具包括光桿固定座、光桿、升降機構、上固定板、連接板，所述光桿穿過連接板的一端固定在光桿固定座上，連接板另一端固定在機床構件上，光桿上設有升降機構，升降機構的桿端設有能夠進行水平位置調節的上固定板，上固定板的端部連接傳感器。
3.根據權利要求2所述的一種保持環磨削端面跳動測量裝置，其特征在于，所述升降機構的后側設有旋鈕ⅰ，粗略調節升降機構在光桿上的高度；升降機構的兩端側設有旋鈕ⅱ，精準調節升降機構在光桿上的高度，使傳感器與保持環磨削端面高度一致。
4.根據權利要求...
【專利技術屬性】
技術研發人員：程軍，張闖，郭昭志，宋克峰，李靖宇，
申請(專利權)人：東北大學，
類型：發明
國別省市：
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