【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體加工，尤其涉及一種軌道組件。
技術介紹
1、自動物料搬運系統（amhs）又稱天車系統，其被廣泛應用于半導體晶圓廠中，它能夠準確高速地將晶圓盒搬運至工藝機臺等目的地。amhs主要包括工作軌道、天車（oht）和控制系統，其中，工作軌道可根據工藝機臺的布置形成相應的通道路徑，天車受控制系統的控制沿著工作軌道形成的通道行走，并在工藝機臺之間將晶圓盒內的晶圓進行流轉。
2、現有技術中，天車需要轉向進入到不同的通道內。在天車轉向的過程中，存在受力方向的改變。當天車轉向不順滑時，會引起天車和天車上的晶圓盒的振動，進而容易造成天車和晶圓盒內的晶圓發生損壞。
技術實現思路
1、為克服上述缺點，本專利技術的目的在于提供一種軌道組件，能提升天車轉向的順暢性。
2、為了達到以上目的，本專利技術采用的技術方案是：一種軌道組件，包括
3、換向軌道，用以天車的換向行走；所述換向軌道包括內軌道、外軌道，所述外軌道環繞在所述內軌道的外側，其包括第一軌道段、坡面段、第二軌道段，所述第一軌道段的上端面低于所述第二軌道段的上端面，且所述第一軌道段與所述第二軌道段之間通過所述坡面段銜接；
4、導向軌道，位于所述換向軌道的上方，用以引導所述天車沿所述換向軌道行走；
5、當所述天車在所述導向軌道的引導下沿所述換向軌道行走時，所述天車一側的行走輪始終接觸所述內軌道，所述天車另一側的行走輪始終不接觸所述第一軌道段。
6、進一步來說，所述換向
7、進一步來說，所述第二軌道段與所述第一軌道段連接并形成階梯狀結構；所述坡面段位于所述第一軌道段上，其高端抵接在所述第二軌道段上。
8、進一步來說，所述導向軌道包括與所述換向軌道對應設置的第一引導條，所述第一引導條的一側形成用以引導所述天車的第一導向面，另一側通過頂推組件頂緊。
9、進一步來說，所述頂推組件包括固定塊、頂壓件、鎖緊螺母，所述頂壓件沿垂直于所述第一引導條的方向螺紋穿設在所述固定塊上，且所述頂壓件的一端朝向所述第一引導條，另一端螺紋套裝有能抵接在所述固定塊上的所述鎖緊螺母。
10、進一步來說，所述換向軌道設置有兩個，兩個所述換向軌道的所述外軌道連接固定，兩個所述換向軌道的所述內軌道相互靠近的一端共同連接有第二直軌，且所述第二直軌與兩個所述換向軌道之間共同形成岔道。
11、進一步來說，所述導向軌道位于所述岔道的上方，其包括第一引導條、第二引導條，所述第一引導條與所述換向軌道一一對應設置，所述第二引導條與所述第二直軌對應設置；且所述第二引導條的兩側分別設有與兩個所述第一引導條的第一導向面對應連通的第二導向面。
12、進一步來說，所有所述第一引導條、所述第二引導條共同形成“人”字形結構，且所述第一引導條朝向所述第二引導條的一端樞接在所述第二引導條上。
13、進一步來說，還包括位于所述換向軌道下方的供電組件，所述供電組件包括第一連接板、第二連接板、第三連接板，所述第一連接板、所述第二連接板、所述第三連接板之間共同形成與所述岔道形狀匹配的仿形岔口，且所述第一連接板、所述第二連接板、所述第三連接板朝向所述仿形岔口的一側均設有用以容置利茲線的線槽。
14、進一步來說，所述第三連接板包括與兩個所述外軌道一一對應設置的第一板體、第二板體，所述第一板體、所述第二板體的交界處向所述仿形岔口的方向延伸，且所述第三連接板上的所述線槽在所述第一板體、所述第二板體的交界處圓滑過渡。
15、進一步來說，所述導向軌道靠近所述第一直軌的一端設有延伸出所述第一直軌的導引件。
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1.一種軌道組件，其特征在于：包括
2.根據權利要求1所述的軌道組件，其特征在于：所述換向軌道靠近所述第二軌道段的一端連接有第一直軌，所述坡面段靠近所述第一直軌設置。
3.根據權利要求1所述的軌道組件，其特征在于：所述第二軌道段與所述第一軌道段連接并形成階梯狀結構；所述坡面段位于所述第一軌道段上，其高端抵接在所述第二軌道段上。
4.根據權利要求1所述的軌道組件，其特征在于：所述導向軌道包括與所述換向軌道對應設置的第一引導條，所述第一引導條的一側形成用以引導所述天車的第一導向面，另一側通過頂推組件頂緊。
5.根據權利要求4所述的軌道組件，其特征在于：所述頂推組件包括固定塊、頂壓件、鎖緊螺母，所述頂壓件沿垂直于所述第一引導條的方向螺紋穿設在所述固定塊上，且所述頂壓件的一端朝向所述第一引導條，另一端螺紋套裝有能抵接在所述固定塊上的所述鎖緊螺母。
6.根據權利要求1所述的軌道組件，其特征在于：所述換向軌道設置有兩個，兩個所述換向軌道的所述外軌道連接固定，兩個所述換向軌道的所述內軌道相互靠近的一端共同連接有第二直軌，且所述第二直軌
7.根據權利要求6所述的軌道組件，其特征在于：所述導向軌道位于所述岔道的上方，其包括第一引導條、第二引導條，所述第一引導條與所述換向軌道一一對應設置，所述第二引導條與所述第二直軌對應設置；且所述第二引導條的兩側分別設有與兩個所述第一引導條的第一導向面對應連通的第二導向面。
8.根據權利要求7所述的軌道組件，其特征在于：所有所述第一引導條、所述第二引導條共同形成“人”字形結構，且所述第一引導條朝向所述第二引導條的一端樞接在所述第二引導條上。
9.根據權利要求6所述的軌道組件，其特征在于：還包括位于所述換向軌道下方的供電組件，所述供電組件包括第一連接板、第二連接板、第三連接板，所述第一連接板、所述第二連接板、所述第三連接板之間共同形成與所述岔道形狀匹配的仿形岔口，且所述第一連接板、所述第二連接板、所述第三連接板朝向所述仿形岔口的一側均設有用以容置利茲線的線槽。
10.根據權利要求9所述的軌道組件，其特征在于：所述第三連接板包括與兩個所述外軌道一一對應設置的第一板體、第二板體，所述第一板體、所述第二板體的交界處向所述仿形岔口的方向延伸，且所述第三連接板上的所述線槽在所述第一板體、所述第二板體的交界處圓滑過渡。
11.根據權利要求2所述的軌道組件，其特征在于：所述導向軌道靠近所述第一直軌的一端設有延伸出所述第一直軌的導引件。
...【技術特征摘要】
1.一種軌道組件，其特征在于：包括
2.根據權利要求1所述的軌道組件，其特征在于：所述換向軌道靠近所述第二軌道段的一端連接有第一直軌，所述坡面段靠近所述第一直軌設置。
3.根據權利要求1所述的軌道組件，其特征在于：所述第二軌道段與所述第一軌道段連接并形成階梯狀結構；所述坡面段位于所述第一軌道段上，其高端抵接在所述第二軌道段上。
4.根據權利要求1所述的軌道組件，其特征在于：所述導向軌道包括與所述換向軌道對應設置的第一引導條，所述第一引導條的一側形成用以引導所述天車的第一導向面，另一側通過頂推組件頂緊。
5.根據權利要求4所述的軌道組件，其特征在于：所述頂推組件包括固定塊、頂壓件、鎖緊螺母，所述頂壓件沿垂直于所述第一引導條的方向螺紋穿設在所述固定塊上，且所述頂壓件的一端朝向所述第一引導條，另一端螺紋套裝有能抵接在所述固定塊上的所述鎖緊螺母。
6.根據權利要求1所述的軌道組件，其特征在于：所述換向軌道設置有兩個，兩個所述換向軌道的所述外軌道連接固定，兩個所述換向軌道的所述內軌道相互靠近的一端共同連接有第二直軌，且所述第二直軌與兩個所述換向軌道之間共同形成岔道。
7.根據權利要求6所述的軌道組件，其特征在于：所述導向軌道位于所述岔道...
【專利技術屬性】
技術研發人員：周道，張慶，葉瑩，
申請(專利權)人：上海果納半導體技術有限公司，
類型：發明
國別省市：
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