【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于真空監控，具體涉及一種真空度監控系統及方法。
技術介紹
1、離子注入機是一種高壓小型加速器，用于將離子加速到幾百、幾千電子伏的能量，然后注入到固體材料中。離子注入機的真空度是指機器內部的氣體稀薄程度，通常用真空度來表示。純凈的真空條件對于離子注入機的性能至關重要，因為高真空度可以減少氣體分子對離子束的散射，其次，純凈的摻雜過程需要高真空條件來避免雜質離子的干擾，保證摻雜的純凈度和均勻性。最后，穩定的真空條件可以確保離子注入過程的重復性和可靠性從而提高離子束的傳輸效率和精度。
2、然而，在半導體器件制造的真空工藝作業環節，極易受半導體表面狀態影響而真空波動大，導致產品質量和生產效率無法保證。
技術實現思路
1、為了解決現有技術中存在的上述問題，本專利技術提供了一種真空度監控系統及方法。本專利技術要解決的技術問題通過以下技術方案實現：
2、第一方面，本專利技術提供了一種真空度監控系統，包括：相互電連接的傳感器模塊和數據分析模塊；所述傳感器模塊，設置于一個密封腔室內，用于定時采集所述密封腔室內的真空度數據；所述數據分析模塊，用于接收并存儲所述傳感器模塊發送的真空度數據，并利用所述真空度數據與預設真空度數據進行運算處理，獲得一個處理值，判斷所述處理值是否處于預設上限值與預設下限值所組成的范圍內，若否，基于所述處理值對應的判斷結果，生成報警信息。
3、在一些實施例中，所述真空度監控系統還包括：控制模塊；所述控制模塊與所述數據分析模塊電連接，所
4、在一些實施例中，所述傳感器模塊包括：網絡端口子模塊，用于將所述傳感器模塊采集的真空度數據發送給所述數據分析模塊。
5、在一些實施例中，所述真空度監控系統還包括：電源模塊，用于分別向所述數據分析模塊、所述傳感器模塊和所述控制模塊提供直流電源。
6、在一些實施例中，所述傳感器模塊是真空計。
7、第二方面，本專利技術還提供了一種真空度監控方法，所述方法應用于上述第一方面的真空度監控系統，所述方法包括：獲取i個密封腔室對應的j個真空度數據；其中，i為大于1的正整數，j為大于或等于1的正整數；對所述j個真空度數據和預設真空度數據進行運算處理，獲得j個處理值；判斷所述j個處理值中第j個處理值是否處于預設上限值與預設下限值所組成的范圍內，1≤j≤j；若否，基于所述第j個處理值對應的判斷結果，生成對應的報警信息。
8、在一些實施例中，在對所述j個真空度數據和預設真空度數據進行運算處理，獲得j個處理值之前，所述方法還包括：對所述j個真空度數據進行存儲。
9、在一些實施例中，所述方法還包括：獲取所述i個密封腔室中第i個密封腔室對應的歷史真空度數據記錄；利用所述第i個密封腔室對應的歷史真空度數據記錄，確定所述第i個密封腔室的真空波動情況，1≤i≤i。
10、在一些實施例中，所述報警信息用于反映所述第j個處理值對應的密封腔室的故障緩急程度。
11、與現有技術相比，本專利技術的有益效果包括：
12、針對離子注入機在工作過程中，極易受半導體表面狀態影響而真空波動大，導致產品質量和生產效率無法保證的問題，本專利技術提供了一種真空度監控系統及方法，該系統利用設置在離子注入機的密封腔室的傳感器模塊，實時采集密封腔室內部的真空度數據，并通過數據分析模塊計算處理接收到的數據，以確定當前密封腔室內的真空度是否處于預設范圍內，并在當前密封腔室內的真空度未處于預設范圍內時，生成報警信息，以控制當前密封腔室工作與否；此外，數據分析模塊對每次接收到的真空度數據進行存儲，可便于技術人員監控一段時期內的真空波動情況；通過實時監測密封腔室的真空度變化，并存儲對應的真空度數據的手段，可以密切關注作業過程中的密封腔室的真空波動，及時采取措施進行維穩，極大減小半導體器件制造的真空工藝作業環節，半導體表面狀態對真空度的影響，穩定密封腔室的真空穩定性。
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1.一種真空度監控系統，其特征在于，包括：相互電連接的傳感器模塊和數據分析模塊，
2.根據權利要求1所述的真空度監控系統，其特征在于，所述真空度監控系統還包括：控制模塊；所述控制模塊與所述數據分析模塊電連接，所述控制模塊設于所述密封腔室內，用于響應于所述報警信息，控制所述密封腔室工作與否。
3.根據權利要求1所述的真空度監控系統，其特征在于，所述傳感器模塊包括：網絡端口子模塊，用于將所述傳感器模塊采集的真空度數據發送給所述數據分析模塊。
4.根據權利要求2所述的真空度監控系統，其特征在于，所述真空度監控系統還包括：電源模塊，用于分別向所述數據分析模塊、所述傳感器模塊和所述控制模塊提供直流電源。
5.根據權利要求1所述的真空度監控系統，其特征在于，所述傳感器模塊是真空計。
6.一種真空度監控方法，其特征在于，所述方法應用于上述權利要求1至5中任一項所述的真空度監控系統；所述方法包括：
7.根據權利要求6所述的真空度監控方法，其特征在于，在對所述J個真空度數據和預設真空度數據進行運算處理，獲得J個處理值之前，所述
8.根據權利要求6所述的真空度監控方法，其特征在于，所述方法還包括：獲取所述I個密封腔室中第i個密封腔室對應的歷史真空度數據記錄；利用所述第i個密封腔室對應的歷史真空度數據記錄，確定所述第i個密封腔室的真空波動情況，1≤i≤I。
9.根據權利要求6所述的真空度監控方法，其特征在于，所述報警信息用于反映所述第j個處理值對應的密封腔室的故障緩急程度。
...【技術特征摘要】
1.一種真空度監控系統，其特征在于，包括：相互電連接的傳感器模塊和數據分析模塊，
2.根據權利要求1所述的真空度監控系統，其特征在于，所述真空度監控系統還包括：控制模塊；所述控制模塊與所述數據分析模塊電連接，所述控制模塊設于所述密封腔室內，用于響應于所述報警信息，控制所述密封腔室工作與否。
3.根據權利要求1所述的真空度監控系統，其特征在于，所述傳感器模塊包括：網絡端口子模塊，用于將所述傳感器模塊采集的真空度數據發送給所述數據分析模塊。
4.根據權利要求2所述的真空度監控系統，其特征在于，所述真空度監控系統還包括：電源模塊，用于分別向所述數據分析模塊、所述傳感器模塊和所述控制模塊提供直流電源。
5.根據權利要求1所述的真空度監控系統，...
【專利技術屬性】
技術研發人員：季偉，王鑫，姚明明，
申請(專利權)人：西安龍威半導體有限公司，
類型：發明
國別省市：
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