一種高混合性混氣室制造技術(shù)

本技術(shù)涉及一種高混合性混氣室，包括：第一室和尾氣管，所述第一室內(nèi)部形成有圓柱形內(nèi)腔，所述第一室側(cè)面與多個尾氣管固定連接且相連通，所述尾氣管繞第一室做圓周均勻排布，所述尾氣管的出口不朝向第一室的軸線。本技術(shù)的尾氣形成氣旋，加速尾氣與燃氣和助燃氣體的混合，提高了混合效果，進一步提高了下一步的燃燒的效率，解決了尾氣和燃氣及助燃氣體的混合效果不佳的問題；尾氣管向下傾斜，形成的氣旋向下運動，避免尾氣堆積在第一室內(nèi)部，使得尾氣管的后續(xù)氣流能夠順利進入第一室內(nèi)部，解決了后續(xù)的尾氣進入混氣室受阻的問題。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及半導(dǎo)體尾氣處理，尤其是一種高混合性混氣室。

技術(shù)介紹

1、在半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備中，需要先經(jīng)過混氣室，再進入反應(yīng)室內(nèi)燃燒，從而消除尾氣中的有害氣體。

2、現(xiàn)有技術(shù)的尾氣管位于混氣室的徑向，尾氣管噴出的尾氣方向朝向混氣室軸線。由于尾氣氣流都朝向同一個軸線，使得多股尾氣在軸線處撞擊，這不利于后續(xù)的尾氣經(jīng)尾氣管進入混氣室中，而且使得尾氣和燃氣及助燃氣體的混合效果并不理想。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本技術(shù)旨在解決上述問題，提供了一種高混合性混氣室，解決了后續(xù)的尾氣進入混氣室中受阻的問題，解決了尾氣和燃氣及助燃氣體的混合效果不佳的問題。

2、一種高混合性混氣室，包括：第一室和尾氣管，所述第一室內(nèi)部形成有圓柱形內(nèi)腔，所述第一室側(cè)面與多個尾氣管固定連接且相連通，所述尾氣管繞第一室做圓周均勻排布，所述尾氣管的出口不朝向第一室的軸線。

3、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，所述尾氣管的數(shù)量至少為三個，前一個尾氣管的出氣口朝向相鄰的后一個尾氣管的出氣口。

4、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，所述述尾氣管的數(shù)量為四個。

5、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，所述第一室上端形成有通孔，所述通孔與輸送燃氣和助燃氣體的管道相連通。

6、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，還包括第二室，所述第二室位于第一室下端并與第一室固定連接，所述第二室的內(nèi)徑大于第一室的內(nèi)徑。

7、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，所述尾氣管包括直管和彎管，所述直管一端與第一室固定連接，另一端與彎管一體成型。>

8、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，所述彎管下端向下傾斜。

9、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，所述彎管軸線與水平面的夾角為5°到15°。

10、在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，所述彎管軸線與水平面的夾角為9°。

11、本技術(shù)具有如下優(yōu)點：尾氣形成氣旋，加速尾氣與燃氣和助燃氣體的混合，提高了混合效果，進一步提高了下一步的燃燒的效率，解決了尾氣和燃氣及助燃氣體的混合效果不佳的問題；尾氣管向下傾斜，形成的氣旋向下運動，避免尾氣堆積在第一室內(nèi)部，使得尾氣管的后續(xù)氣流能夠順利進入第一室內(nèi)部，解決了后續(xù)的尾氣進入混氣室受阻的問題。

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【技術(shù)保護點】

1.一種高混合性混氣室，其特征在于，包括：第一室(1)和尾氣管(2)，所述第一室(1)內(nèi)部形成有圓柱形內(nèi)腔，所述第一室(1)側(cè)面與多個尾氣管(2)固定連接且相連通，所述尾氣管(2)繞第一室(1)做圓周均勻排布，所述尾氣管(2)的出氣口(10)不朝向第一室(1)的軸線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高混合性混氣室，其特征在于：所述尾氣管(2)的數(shù)量至少為三個，前一個尾氣管(2)的出氣口(10)朝向相鄰的后一個尾氣管(2)的出氣口(10)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高混合性混氣室，其特征在于：所述述尾氣管(2)的數(shù)量為四個。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高混合性混氣室，其特征在于：所述第一室(1)上端形成有通孔(11)，所述通孔(11)與輸送燃氣和助燃氣體的管道相連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高混合性混氣室，其特征在于：還包括第二室(3)，所述第二室(3)位于第一室(1)下端并與第一室(1)固定連接，所述第二室(3)的內(nèi)徑大于第一室(1)的內(nèi)徑。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高混合性混氣室，其特征在于：所述尾氣管(2)包括直管(21)和彎管(22)，所述直管(21)一端與第一室(1)固定連接，另一端與彎管(22)一體成型。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種高混合性混氣室，其特征在于：所述彎管(22)下端向下傾斜。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種高混合性混氣室，其特征在于：所述彎管(22)軸線與水平面的夾角為5°到15°。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種高混合性混氣室，其特征在于：所述彎管(22)軸線與水平面的夾角為9°。

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【技術(shù)特征摘要】

1.一種高混合性混氣室，其特征在于，包括：第一室(1)和尾氣管(2)，所述第一室(1)內(nèi)部形成有圓柱形內(nèi)腔，所述第一室(1)側(cè)面與多個尾氣管(2)固定連接且相連通，所述尾氣管(2)繞第一室(1)做圓周均勻排布，所述尾氣管(2)的出氣口(10)不朝向第一室(1)的軸線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高混合性混氣室，其特征在于：所述尾氣管(2)的數(shù)量至少為三個，前一個尾氣管(2)的出氣口(10)朝向相鄰的后一個尾氣管(2)的出氣口(10)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高混合性混氣室，其特征在于：所述述尾氣管(2)的數(shù)量為四個。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高混合性混氣室，其特征在于：所述第一室(1)上端形成有通孔(11)，所述通孔(11)與輸送燃氣和助燃氣體的管道相連通。

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：崔漢寬，程勇，
申請(專利權(quán))人：上海高笙集成電路設(shè)備有限公司，
類型：新型
國別省市：