【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及氧化物靶材，尤其是涉及一種氧化銦鎵鈦靶材及其制備方法和應用。
技術介紹
1、近年來，柔性有機發光二極管(oled)因其獨特的性能而引起廣泛關注。由柔性性能帶來的的設計靈活性為發光二極管的應用開辟了新的可能性，屏幕彎曲或可折疊的形變產生了可折疊或可彎曲的創新產品，在可折疊手機和大面積曲面屏幕中得到了應用。采用柔性屏幕的可折疊智能手機在不影響用戶使用便捷性的情況下擴大了屏幕尺寸。屏幕柔性的技術效果可歸因于柔性電極的進步，這對于實現oled所需的靈活性至關重要。鑒于柔性透明電極在柔性或可折疊oled等應用中的巨大潛力，開發具有低片阻、優異的光學透過率和卓越的機械柔韌性的透明電極勢在必行。
2、目前，已經有許多柔性透明電極材料作為傳統ito薄膜的替代品被提出，然而薄ito電極繼續被用作柔性oled的底部電極，主要是由ito的優勢特性驅動的，包括ito低片材電阻、高透光率以及完善的制造工藝。盡管人們已經對其他材料進行了大量探索，但上述品質與特性使薄ito電極的使用仍是確保柔性oled具有最佳性能的首選。然而，隨著人們對柔性顯示器的興趣日益濃厚，對于那些可以克服柔性配置帶來的挑戰的透明導體的需求不斷增長，當前基于ito電極展現出比器件中其他層更低的機械應變容限，越來越難以行業和市場的需求。
3、因此，亟需開發一種可替代ito的透明導體材料，具有較好的機械柔韌性的同時可以確保在較大的機械應變下也能保持良好的導電性和透明度。
技術實現思路
1、本專利技術旨在至
2、本專利技術還提供一種氧化銦鎵鈦靶材的制備方法。
3、本專利技術還提供一種柔性氧化物薄膜。
4、本專利技術還提供一種柔性oled。
5、本專利技術還提出氧化銦鎵鈦靶材在顯示器領域中的應用。
6、本專利技術的第一方面，提供一種氧化銦鎵鈦靶材，制備原料按質量份數計包括氧化銦95～99份、氧化鎵0.5～2份和二氧化鈦0.6～3份。
7、根據本專利技術的具體實施方式，本專利技術提供的氧化銦鎵鈦靶材，至少具有如下有益效果：
8、本專利技術的氧化銦鎵鈦靶材具有較高的相對密度和相對較小的平均晶粒尺寸，并且可以在保持靶材相對較低的電阻率的前提下，使該靶材制備的氧化物薄膜具備優異的透光性和機械柔韌性；
9、本專利技術使用非晶態鎵和鈦共摻雜氧化銦，其中ga(62p.m.)和ti(60.5p.m.)具有與in(80p.m.)相似的離子半徑，因此與其他摻雜氧化物相比，ga和ti摻雜產生的應力更小，導致靶材的電子遷移率的下降較小，并且ga和ti具有較高的金屬氧結合能力(ga-o、ti-o)，可以減少氧化銦基體中氧空位的存在，并且鈦摻雜可以使ti4+取代in3+額外提供自由電子，ti摻雜還具有較強的的lewis酸強度，導致電子遠離o2p價帶的強極化，從而引起電荷篩選，降低電子散射效應，最終增大電子遷移率，提高靶材和氧化物薄膜的導電性能；
10、本專利技術進一步優化氧化銦靶材中的氧化鎵和二氧化鈦的摻雜量和摻雜比例，進一步提升靶材和氧化物薄膜的綜合性能，特別是提升本專利技術制備的氧化物薄膜的柔性性能，使其能在較大的機械應變下保持導電性和透明度，從而可以更好地應用于柔性oled和柔性顯示器領域。
11、根據本專利技術的一些實施方式，所述制備原料按質量份數計包括氧化銦96.12～98.48份、氧化鎵0.67～1.34份和二氧化鈦0.85～2.54份。
12、根據本專利技術的一些實施方式，所述制備原料按質量份數計包括氧化銦96.12～97.64份、氧化鎵0.67～1.34份和二氧化鈦1.69～2.54份。
13、根據本專利技術的一些實施方式，所述制備原料還包括分散劑1～5份和粘結劑1～5份。
14、根據本專利技術的一些實施方式，所述制備原料還包括分散劑2～4份和粘結劑2～4份。
15、根據本專利技術的一些實施方式，所述分散劑包括聚乙烯吡咯烷酮、聚丙烯酰胺、聚乙二醇或氫化丁腈橡膠中的至少一種。
16、根據本專利技術的一些實施方式，所述粘結劑包括聚乙烯醇、聚丙烯酸鈉、丁基橡膠或氰基丙烯酸酯中的至少一種。
17、本專利技術的第二方面，提供本專利技術第一方面所述的氧化銦鎵鈦靶材的制備方法，包括以下步驟：
18、s1、將所述氧化銦、所述氧化鎵和所述二氧化鈦混合，再加入水、分散劑和粘結劑混合研磨；
19、s2、噴霧干燥，造粒得到混合粉體；
20、s3、冷等靜壓成型，燒結，即得氧化銦鎵鈦靶材。
21、根據本專利技術的一些實施方式，所述步驟s1的研磨為球磨。
22、根據本專利技術的一些實施方式，所述步驟s1的球磨分為三步，具體為，將所述氧化銦、所述氧化鎵和所述二氧化鈦混合后第一次球磨，加入水和分散劑后進行第二次球磨，再加入粘結劑后進行第三次球磨。
23、根據本專利技術的一些實施方式，所述步驟s3的冷等靜壓成型壓力為100～400mpa，保壓時間為2～10min。
24、根據本專利技術的一些實施方式，所述步驟s3的燒結為，依次在500～600℃保溫1～3h，900～1100℃保溫3～5h，氧氣氣氛下1350～1400℃保溫6～8h，900～1100℃保溫1～3h。
25、根據本專利技術的一些實施方式，所述步驟s3的燒結為，將靜壓成型的胚體至于燒結爐中，以2～4℃/min的升溫速率升至500～600℃后保溫1～3h，以0.5～2℃/min的升溫速率升溫至900～1100℃后保溫3～5h，通入氧氣，在氧氣氣氛下以0.2～1℃/min的升溫速率升溫至1350～1390℃后保溫4～6h，氧氣氣氛下0.2～1℃/min的升溫速率升溫至1390～1420℃后保溫1～3h，停止通入氧氣，以0.5～2℃/min的降溫速率降溫至900～1100℃后保溫1～3h，最后以0.5～2℃/min的降溫速率降溫至室溫。
26、本專利技術的第三方面，提供一種柔性氧化物薄膜，由包括本專利技術第一方面所述的氧化銦鎵鈦靶材制得，所述氧化物薄膜的透光率為92％～99％。
27、本專利技術的第四方面，提供一種柔性oled，包括本專利技術第三方面所述的柔性氧化物薄膜。
28、本專利技術的第五方面，提供本專利技術第一方面所述的氧化銦鎵鈦靶材、本專利技術第三專利技術所述的柔性氧化物薄膜和本專利技術第四方面所述的柔性oled在顯示器領域中的應用。
29、本專利技術的其它特征和優點將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本專利技術而了解。
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1.一種氧化銦鎵鈦靶材，其特征在于，制備原料按質量份數計包括氧化銦95～99份、氧化鎵0.5～2份和二氧化鈦0.6～3份。
2.根據權利要求1所述的氧化銦鎵鈦靶材，其特征在于，所述制備原料按質量份數計包括氧化銦96.12～98.48份、氧化鎵0.67～1.34份和二氧化鈦0.85～2.54份。
3.根據權利要求1或2所述的氧化銦鎵鈦靶材，其特征在于，所述制備原料還包括分散劑1～5份和粘結劑1～5份。
4.根據權利要求3所述的氧化銦鎵鈦靶材，其特征在于，所述分散劑包括聚乙烯吡咯烷酮、聚丙烯酰胺、聚乙二醇或氫化丁腈橡膠中的至少一種，和/或，所述粘結劑包括聚乙烯醇、聚丙烯酸鈉、丁基橡膠或氰基丙烯酸酯中的至少一種。
5.如權利要求1～4任一項所述的氧化銦鎵鈦靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
6.根據權利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述步驟S3的冷等靜壓成型壓力為100～400MPa，保壓時間為2～10min。
7.根據權利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述步驟S3的燒結為，依次在500～600℃保
8.一種柔性氧化物薄膜，其特征在于，由包括權利要求1～4任一項所述的氧化銦鎵鈦靶材制得，所述氧化物薄膜的透光率為92％～99％。
9.一種柔性OLED，其特征在于，包括權利要求8所述的柔性氧化物薄膜。
10.如權利要求1～4任一項所述的氧化銦鎵鈦靶材、權利要求8所述的柔性氧化物薄膜或權利要求9所述的柔性OLED在顯示器領域中的應用。
...【技術特征摘要】
1.一種氧化銦鎵鈦靶材，其特征在于，制備原料按質量份數計包括氧化銦95～99份、氧化鎵0.5～2份和二氧化鈦0.6～3份。
2.根據權利要求1所述的氧化銦鎵鈦靶材，其特征在于，所述制備原料按質量份數計包括氧化銦96.12～98.48份、氧化鎵0.67～1.34份和二氧化鈦0.85～2.54份。
3.根據權利要求1或2所述的氧化銦鎵鈦靶材，其特征在于，所述制備原料還包括分散劑1～5份和粘結劑1～5份。
4.根據權利要求3所述的氧化銦鎵鈦靶材，其特征在于，所述分散劑包括聚乙烯吡咯烷酮、聚丙烯酰胺、聚乙二醇或氫化丁腈橡膠中的至少一種，和/或，所述粘結劑包括聚乙烯醇、聚丙烯酸鈉、丁基橡膠或氰基丙烯酸酯中的至少一種。
5.如權利要求1～4任一項所述的氧化銦鎵鈦靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王靚櫟，葛春橋，陳露，李強，羅澤宇，
申請(專利權)人：中山智隆新材料科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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