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    光學式氣體傳感器裝置及光學式氣體傳感器裝置的制造方法制造方法及圖紙

    技術(shù)編號:44068533 閱讀:11 留言:0更新日期:2025-01-17 16:06
    本發(fā)明專利技術(shù)涉及光學式氣體傳感器裝置及光學式氣體傳感器裝置的制造方法。減少外部環(huán)境對光源和受光部中的至少一方的影響。光學式氣體傳感器裝置(100a)具有:向檢測對象的氣體射出紅外線的光源、使紅外線透射的光學濾波器、檢測經(jīng)由光學濾波器入射的紅外線并生成檢測信號的受光部、以及基板(6)。光學式氣體傳感器裝置(100a)具有搭載光學濾波器并密封光源的密封件(20a)及密封受光部的密封件(40a)。密封件(20a、40a)安裝于基板(6)。

    【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

    本專利技術(shù)涉及光學式氣體傳感器裝置及光學式氣體傳感器裝置的制造方法


    技術(shù)介紹

    1、以往,從家庭、工廠、事務(wù)所中的與化學物質(zhì)相關(guān)的管理、作業(yè)者的安全的觀點出發(fā),始終進行氣體濃度的觀測。在氣體濃度的觀測中,已知有檢測co2等氣體的濃度的非分散紅外線吸收方式(ndir:non?dispersive?infrared)的氣體傳感器。ndir的氣體傳感器是利用多個氣體分別吸收固有的紅外線波長的性質(zhì),在向檢測對象的氣體放射紅外線時,檢測哪個波長被吸收了多少,從而測量檢測對象的氣體中的濃度的傳感器。例如,是具有紅外線的光源和受光部,檢測位于光源和受光部的光路上的被檢測氣體的濃度的氣體傳感器。

    2、另外,已知有具有發(fā)光二極管、引導(dǎo)從發(fā)光二極管射出的近紅外線的環(huán)狀放射線引導(dǎo)件、以及檢測被引導(dǎo)的近紅外線的光電二極管的光吸收氣體傳感器(參照專利文獻1)。作為光源的發(fā)光二極管和作為受光部的光電二極管安裝在印刷電路板上。

    3、現(xiàn)有技術(shù)文獻

    4、專利文獻1:日本特表2013-517467號公報


    技術(shù)實現(xiàn)思路

    1、專利技術(shù)要解決的課題

    2、但是,上述光吸收氣體傳感器使光源和受光部暴露而搭載在印刷電路板上。已明確在暴露的光源以及受光部中,外部環(huán)境(濕度、溫度、氣壓)的影響大。光源的光量主要根據(jù)外部環(huán)境而變化。

    3、作為例子,對由mems(micro?electro?mechanical?systems,微機電系統(tǒng))構(gòu)成光源以及受光部,氣壓下降的情況進行說明。氣壓下降是指與光源的加熱器表面碰撞的空氣中的分子本身的數(shù)量減少,因此,難以從加熱器奪取熱。如果是真空,則成為所謂的保溫瓶那樣的隔熱的狀態(tài)。這樣,在氣壓下降的情況下,在對光源施加相同的能量時,被空氣中的分子奪取的熱減少,因此,加熱器表面的溫度上升。

    4、如上所述,在光源暴露的情況下,根據(jù)與加熱器表面接觸的氣體的分子的種類、溫度、壓力的環(huán)境,紅外線區(qū)域中的光量不同。在該結(jié)構(gòu)中,只要不取得環(huán)境的參數(shù)并施加反饋,則發(fā)光強度與在工廠進行校正時不同,因此,誤差變大,氣體濃度成為與實際背離的值。另外,在設(shè)置了設(shè)定閾值而發(fā)出警告那樣的功能的氣體傳感器模塊的情況下,可能成為誤報。在此,示出了光源的現(xiàn)象,但在受光部中也存在相同的現(xiàn)象。

    5、本專利技術(shù)的課題在于降低外部環(huán)境對光源和受光部中的至少一方的影響。

    6、用于解決課題的手段

    7、為了解決上述課題,本專利技術(shù)提供一種光學式氣體傳感器裝置,具有:

    8、光源,其向檢測對象的氣體射出紅外線;

    9、光學濾波器,其使所述紅外線透射;

    10、受光部,其對經(jīng)由所述光學濾波器入射的紅外線進行檢測而生成檢測信號;以及

    11、第一基板,

    12、所述光學式氣體傳感器裝置具有:密封件,其搭載所述光學濾波器,對所述光源或所述受光部進行密封,

    13、所述密封件安裝于所述第一基板。

    14、另外,本專利技術(shù)提供一種光學式氣體傳感器裝置的制造方法,所述光學式氣體傳感器裝置具有:

    15、光源,其向檢測對象的氣體射出紅外線;

    16、光學濾波器,其使所述紅外線透射;

    17、受光部,其對經(jīng)由所述光學濾波器入射的紅外線進行檢測而生成檢測信號;以及

    18、第一基板,

    19、所述光學式氣體傳感器裝置的制造方法包含:

    20、第一安裝工序,將所述光源及所述受光部安裝于所述第一基板;以及

    21、第二安裝工序,將搭載所述光學濾波器且對所述光源或所述受光部進行密封的密封件安裝于所述第一基板,

    22、在所述第二安裝工序中,將包圍所述光源或所述受光部的側(cè)面且具有與該光源或該受光部的空間相連的通氣孔的第一保護罩安裝于所述第一基板,將所述光學濾波器搭載于該第一保護罩的上表面的開口而作為所述密封件,在向所述第一基板安裝所述光源、所述受光部及電路部件的熱處理后,利用粘接劑堵塞所述通氣孔。

    23、另外,本專利技術(shù)提供一種光學式氣體傳感器裝置的制造方法,所述光學式氣體傳感器裝置具有:

    24、光源,其向檢測對象的氣體射出紅外線;

    25、光學濾波器,其使所述紅外線透射;

    26、受光部,其對經(jīng)由所述光學濾波器入射的紅外線進行檢測而生成檢測信號;以及

    27、第一基板,

    28、所述光學式氣體傳感器裝置的制造方法包含:

    29、第一安裝工序,將所述光源或所述受光部安裝于第二基板;以及

    30、第二安裝工序,將搭載所述光學濾波器且對所述光源或所述受光部進行密封的密封件安裝于所述第一基板,

    31、在所述第二安裝工序中,將包圍所述光源或所述受光部的側(cè)面且具有與該光源或該受光部的空間相連的通氣孔的第一保護罩安裝于所述第二基板,將所述光學濾波器搭載于該第一保護罩的上表面的開口而作為所述密封件,在向所述第一基板安裝該密封件及電路部件的熱處理后,利用粘接劑堵塞所述通氣孔。

    32、另外,本專利技術(shù)提供一種光學式氣體傳感器裝置的制造方法,所述光學式氣體傳感器裝置具有:

    33、光源,其向檢測對象的氣體射出紅外線;

    34、光學濾波器,其使所述紅外線透射;

    35、受光部,其對經(jīng)由所述光學濾波器入射的紅外線進行檢測而生成檢測信號;以及

    36、第一基板,

    37、所述光學式氣體傳感器裝置的制造方法包含:

    38、第一安裝工序,將所述光源或所述受光部安裝于包圍該光源或該受光部的側(cè)面及底面的第二保護罩;

    39、制作工序,制作將所述光學濾波器搭載于該第二保護罩并密封所述光源或所述受光部的密封件;以及

    40、第二安裝工序,將所述密封件安裝于所述第一基板,

    41、在所述制作工序中,進行空氣的減壓處理,在減壓后的空氣中將所述光學濾波器搭載于該第二保護罩。

    42、另外,本專利技術(shù)提供一種光學式氣體傳感器裝置的制造方法,所述光學式氣體傳感器裝置具有:

    43、光源,其向檢測對象的氣體射出紅外線;

    44、光學濾波器,其使所述紅外線透射;

    45、受光部,其對經(jīng)由所述光學濾波器入射的紅外線進行檢測而生成檢測信號;以及

    46、第一基板,

    47、所述光學式氣體傳感器裝置的制造方法包含:

    48、第一安裝工序,將所述光源或所述受光部安裝于包圍該光源或該受光部的側(cè)面及底面的第二保護罩;

    49、制作工序,制作將所述光學濾波器搭載于所述第二保護罩并密封所述光源或所述受光部的密封件;以及

    50、第二安裝工序,將所述密封件安裝于所述第一基板,

    51、在所述制作工序中,以100℃以上的溫度將所述光學濾波器搭載于所述第二保護罩。

    52、專利技術(shù)效果

    53、根據(jù)本專利技術(shù),減少外部環(huán)境對光源和受光部中的至少一方本文檔來自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護點】

    1.一種光學式氣體傳感器裝置,具有:光源,其向檢測對象的氣體射出紅外線;光學濾波器,其使所述紅外線透射;受光部,其對經(jīng)由所述光學濾波器入射的紅外線進行檢測而生成檢測信號;以及第一基板,其特征在于,

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學式氣體傳感器裝置,其特征在于,

    3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學式氣體傳感器裝置,其特征在于,

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學式氣體傳感器裝置,其特征在于,

    5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學式氣體傳感器裝置,其特征在于,

    6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學式氣體傳感器裝置,其特征在于,

    7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學式氣體傳感器裝置,其特征在于,

    8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學式氣體傳感器裝置,其特征在于,

    9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項所述的光學式氣體傳感器裝置,其特征在于,

    10.一種光學式氣體傳感器裝置的制造方法,所述光學式氣體傳感器裝置具有:光源,其向檢測對象的氣體射出紅外線;光學濾波器,其使所述紅外線透射;受光部,其對經(jīng)由所述光學濾波器入射的紅外線進行檢測而生成檢測信號;以及第一基板,其特征在于,

    11.一種光學式氣體傳感器裝置的制造方法,所述光學式氣體傳感器裝置具有:光源,其向檢測對象的氣體射出紅外線;光學濾波器,其使所述紅外線透射;受光部,其對經(jīng)由所述光學濾波器入射的紅外線進行檢測而生成檢測信號;以及第一基板,其特征在于,

    12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的光學式氣體傳感器裝置的制造方法,其特征在于,

    13.一種光學式氣體傳感器裝置的制造方法,所述光學式氣體傳感器裝置具有:光源,其向檢測對象的氣體射出紅外線;光學濾波器,其使所述紅外線透射;受光部,其對經(jīng)由所述光學濾波器入射的紅外線進行檢測而生成檢測信號;以及第一基板,其特征在于,

    14.一種光學式氣體傳感器裝置的制造方法,所述光學式氣體傳感器裝置具有:光源,其向檢測對象的氣體射出紅外線;光學濾波器,其使所述紅外線透射;受光部,其對經(jīng)由所述光學濾波器入射的紅外線進行檢測而生成檢測信號;以及第一基板,其特征在于,

    15.根據(jù)權(quán)利要求10、11、13或14所述的光學式氣體傳感器裝置的制造方法,其特征在于,

    16.根據(jù)權(quán)利要求10、11、13或14所述的光學式氣體傳感器裝置的制造方法,其特征在于,

    17.根據(jù)權(quán)利要求10、11、13或14所述的光學式氣體傳感器裝置的制造方法,其特征在于,

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    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種光學式氣體傳感器裝置,具有:光源,其向檢測對象的氣體射出紅外線;光學濾波器,其使所述紅外線透射;受光部,其對經(jīng)由所述光學濾波器入射的紅外線進行檢測而生成檢測信號;以及第一基板,其特征在于,

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學式氣體傳感器裝置,其特征在于,

    3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學式氣體傳感器裝置,其特征在于,

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學式氣體傳感器裝置,其特征在于,

    5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學式氣體傳感器裝置,其特征在于,

    6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學式氣體傳感器裝置,其特征在于,

    7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學式氣體傳感器裝置,其特征在于,

    8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學式氣體傳感器裝置,其特征在于,

    9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項所述的光學式氣體傳感器裝置,其特征在于,

    10.一種光學式氣體傳感器裝置的制造方法,所述光學式氣體傳感器裝置具有:光源,其向檢測對象的氣體射出紅外線;光學濾波器,其使所述紅外線透射;受光部,其對經(jīng)由所述光學濾波器入射的紅外線進行檢測而生成檢測信號;以及第一基板,其特征在于,

    11.一種光學式氣體傳感器裝置的制造方法,...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:中根健智高橋彰
    申請(專利權(quán))人:三美電機株式會社
    類型:發(fā)明
    國別省市:

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