【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)屬于半導(dǎo)體設(shè)備，更具體涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備的加熱裝置及半導(dǎo)體設(shè)備。
技術(shù)介紹
1、在半導(dǎo)體設(shè)備中，對于快速加熱工藝（rtp），通常會用到數(shù)百個鹵素?zé)魜韺A（wafer）進(jìn)行加熱，而為了實現(xiàn)工藝的均勻性，工藝過程中晶圓通常是以每分鐘幾百轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速進(jìn)行勻速旋轉(zhuǎn)，同時數(shù)百個鹵素?zé)粑挥诰A的上端并覆蓋晶圓的整個區(qū)域，在工藝過程中對晶圓實時加熱，當(dāng)工藝停止時，數(shù)百個鹵素?zé)敉酵Ｖ辜訜帷Ｄ壳埃A的旋轉(zhuǎn)通常是通過磁懸浮系統(tǒng)實現(xiàn)，磁懸浮系統(tǒng)中的轉(zhuǎn)子位于工藝腔室內(nèi)部，磁懸浮系統(tǒng)中的定子位于工藝腔室外部，但是磁懸浮系統(tǒng)存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜，穩(wěn)定性較差，影響工藝均勻性，且成本高昂的問題。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、基于現(xiàn)有技術(shù)存在的技術(shù)問題，本專利技術(shù)提出了一種半導(dǎo)體設(shè)備的加熱裝置及半導(dǎo)體設(shè)備，旨在解決半導(dǎo)體設(shè)備中磁懸浮系統(tǒng)存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜，穩(wěn)定性較差，影響工藝均勻性，且成本高昂的技術(shù)問題。
2、為實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本專利技術(shù)的一個方面，提供了一種半導(dǎo)體設(shè)備的加熱裝置，半導(dǎo)體設(shè)備包括工藝腔室，加熱裝置包括燈箱和加熱燈，加熱燈設(shè)置在燈箱內(nèi)，燈箱以能夠轉(zhuǎn)動的方式設(shè)置在工藝腔室的上方，用于對工藝腔室內(nèi)的晶圓進(jìn)行加熱；燈箱連接有驅(qū)動機構(gòu)，驅(qū)動機構(gòu)用于驅(qū)動燈箱轉(zhuǎn)動。
3、可選地，驅(qū)動機構(gòu)包括驅(qū)動電機和傳動組件，傳動組件的動力輸入端與驅(qū)動電機的動力輸出端連接，傳動組件的動力輸出端與燈箱連接，傳動組件能夠通過驅(qū)動電機的轉(zhuǎn)動帶動燈箱轉(zhuǎn)動。
4、可選地，傳動組件包括同步帶輪和同步帶，同步帶輪設(shè)置
5、可選地，驅(qū)動機構(gòu)還包括聯(lián)軸器，驅(qū)動電機與同步帶輪通過聯(lián)軸器連接。
6、可選地，燈箱的內(nèi)部具有冷卻通道。
7、可選地，冷卻通道沿?zé)粝渲芟蜓由臁?/p>
8、可選地，加熱燈水平或豎直設(shè)置于燈箱內(nèi)。
9、可選地，加熱燈的數(shù)量為多個，多個加熱燈分為多個加熱燈組，多個加熱燈組沿豎直方向或水平方向分布。
10、可選地，各加熱燈組包括多個加熱燈，各加熱燈組內(nèi)的多個加熱燈沿水平方向分布。
11、根據(jù)本專利技術(shù)的另一個方面，提供出了一種半導(dǎo)體設(shè)備，包括上述加熱裝置。
12、本專利技術(shù)提供的一種半導(dǎo)體設(shè)備的加熱裝置及半導(dǎo)體設(shè)備，通過將燈箱以能夠轉(zhuǎn)動的方式設(shè)置在工藝腔室的上方，通過驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動燈箱轉(zhuǎn)動，在工藝過程中，利用燈箱帶動加熱燈轉(zhuǎn)動對工藝腔室內(nèi)的晶圓進(jìn)行加熱，因此，無需轉(zhuǎn)動晶圓，解決了現(xiàn)有磁懸浮系統(tǒng)存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜和穩(wěn)定性差，且成本高昂的問題，在保持現(xiàn)有晶圓工藝均勻性的同時，可提高機臺穩(wěn)定性，降低機臺成本。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點】
1.一種半導(dǎo)體設(shè)備的加熱裝置，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備包括工藝腔室，所述加熱裝置包括燈箱和加熱燈，所述加熱燈設(shè)置在所述燈箱內(nèi)，所述燈箱以能夠轉(zhuǎn)動的方式設(shè)置在所述工藝腔室的上方，用于對所述工藝腔室內(nèi)的晶圓進(jìn)行加熱；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備的加熱裝置，其特征在于，所述驅(qū)動機構(gòu)包括驅(qū)動電機和傳動組件，所述傳動組件的動力輸入端與所述驅(qū)動電機的動力輸出端連接，所述傳動組件的動力輸出端與所述燈箱連接，所述傳動組件能夠通過所述驅(qū)動電機的轉(zhuǎn)動帶動所述燈箱轉(zhuǎn)動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體設(shè)備的加熱裝置，其特征在于，所述傳動組件包括同步帶輪和同步帶，所述同步帶輪設(shè)置在所述驅(qū)動電機的輸出軸上，所述同步帶輪與所述燈箱之間通過所述同步帶連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體設(shè)備的加熱裝置，其特征在于，所述驅(qū)動機構(gòu)還包括聯(lián)軸器，所述驅(qū)動電機與所述同步帶輪通過所述聯(lián)軸器連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備的加熱裝置，其特征在于，所述燈箱的內(nèi)部具有冷卻通道。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體設(shè)備的加熱裝置，其特征在于，所述冷卻通
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備的加熱裝置，其特征在于，所述加熱燈水平或豎直設(shè)置于燈箱內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體設(shè)備的加熱裝置，其特征在于，所述加熱燈的數(shù)量為多個，多個所述加熱燈分為多個加熱燈組，多個所述加熱燈組沿豎直方向或水平方向分布。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體設(shè)備的加熱裝置，其特征在于，各所述加熱燈組包括多個所述加熱燈，各所述加熱燈組內(nèi)的多個所述加熱燈沿水平方向分布。
10.一種半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至9任一項所述的加熱裝置。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種半導(dǎo)體設(shè)備的加熱裝置，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備包括工藝腔室，所述加熱裝置包括燈箱和加熱燈，所述加熱燈設(shè)置在所述燈箱內(nèi)，所述燈箱以能夠轉(zhuǎn)動的方式設(shè)置在所述工藝腔室的上方，用于對所述工藝腔室內(nèi)的晶圓進(jìn)行加熱；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備的加熱裝置，其特征在于，所述驅(qū)動機構(gòu)包括驅(qū)動電機和傳動組件，所述傳動組件的動力輸入端與所述驅(qū)動電機的動力輸出端連接，所述傳動組件的動力輸出端與所述燈箱連接，所述傳動組件能夠通過所述驅(qū)動電機的轉(zhuǎn)動帶動所述燈箱轉(zhuǎn)動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體設(shè)備的加熱裝置，其特征在于，所述傳動組件包括同步帶輪和同步帶，所述同步帶輪設(shè)置在所述驅(qū)動電機的輸出軸上，所述同步帶輪與所述燈箱之間通過所述同步帶連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體設(shè)備的加熱裝置，其特征在于，所述驅(qū)動機構(gòu)還包括聯(lián)軸器，所...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：何金群，劉聞敏，祁廣杰，
申請(專利權(quán))人：盛吉盛半導(dǎo)體科技北京有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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