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    圖像傳感器制造技術

    技術編號:44072921 閱讀:3 留言:0更新日期:2025-01-17 16:09
    一種圖像傳感器包括:包括像素陣列區域的半導體基板,像素陣列區域包括中心像素區域和在平面圖中圍繞中心像素區域的邊緣像素區域;在像素陣列區域上的濾色器組,濾色器組中的每個濾色器組包括布置成相同數量的行和列的濾色器;以及分別覆蓋濾色器組的微透鏡,其中,濾色器組包括在中心像素區域上的中心濾色器組和在邊緣像素區域上的邊緣濾色器組,每個邊緣濾色器組中的濾色器中的至少兩個濾色器具有彼此不同的厚度。

    【技術實現步驟摘要】

    本公開涉及圖像傳感器,具體地,涉及具有改善的電性質和光學性質的圖像傳感器。


    技術介紹

    1、圖像傳感器是將光學信號轉換為電信號的器件。隨著計算機和通信工業的發展,在諸如數碼相機、攝像機、個人通信系統、游戲機、安保相機、用于醫療應用的微型相機、和/或機器人的各種應用中對高性能圖像傳感器的需求日益增長。圖像傳感器一般被分類為電荷耦合器件(ccd)圖像傳感器和互補金屬氧化物半導體(cmos)圖像傳感器。cmos圖像傳感器可以以簡化的方式操作,并且因為cmos圖像傳感器的信號處理電路可以集成在單個芯片上,所以可以減小具有cmos圖像傳感器的產品的尺寸。此外,因為cmos圖像傳感器可以以相對低的功耗操作,所以它可以容易地應用于電池容量有限的電子裝置。此外,因為cmos圖像傳感器可以使用現有的cmos制造技術來制造,所以可以降低其制造成本。此外,由于cmos圖像傳感器的分辨率的增加,cmos圖像傳感器的使用迅速增長。


    技術實現思路

    1、一個或更多個實施方式提供了具有改善的光學性質的圖像傳感器。

    2、根據示例實施方式的一方面,一種圖像傳感器包括:包括像素陣列區域的半導體基板,像素陣列區域包括中心像素區域和在平面圖中圍繞中心像素區域的邊緣像素區域;在像素陣列區域上的濾色器組,濾色器組中的每個濾色器組包括布置成相同數量的行和列的濾色器;以及分別覆蓋濾色器組的微透鏡,其中,濾色器組包括在中心像素區域上的中心濾色器組和在邊緣像素區域上的邊緣濾色器組,每個邊緣濾色器組中的濾色器中的至少兩個濾色器具有彼此不同的厚度。

    3、根據示例實施方式的一方面,一種圖像傳感器包括:第一導電類型的半導體基板,半導體基板包括像素陣列區域、第一表面、以及與第一表面相反的第二表面;在像素陣列區域中的光電轉換區域,光電轉換區域包括第二導電類型的雜質;覆蓋像素陣列區域的至少一部分的濾色器組,濾色器組中的每個濾色器組包括布置成兩行和兩列的第一濾色器、第二濾色器、第三濾色器和第四濾色器;以及分別覆蓋濾色器組的微透鏡,其中,像素陣列區域包括中心像素區域和在平面圖中圍繞中心像素區域的邊緣像素區域,濾色器組包括在中心像素區域上的中心濾色器組和在邊緣像素區域上的邊緣濾色器組,在邊緣濾色器組的每個邊緣濾色器組中,第一濾色器的厚度大于第二濾色器的厚度。

    4、根據示例實施方式的一方面,一種圖像傳感器包括:半導體基板,包括光接收區域、光阻擋區域、焊盤區域、第一表面、以及與第一表面相反的第二表面;像素隔離結構,在半導體基板的光接收區域和光阻擋區域中,像素隔離結構限定像素區域;光電轉換區域,在半導體基板的光接收區域和光阻擋區域中;在第一表面上的濾色器組,濾色器組中的每個濾色器組包括布置成兩行和兩列的第一濾色器、第二濾色器、第三濾色器和第四濾色器;在第二表面上的傳輸柵電極;在第二表面上的像素電路層;以及分別覆蓋濾色器組的微透鏡,其中,光接收區域包括中心像素區域和在平面圖中圍繞中心像素區域的邊緣像素區域,濾色器組包括在中心像素區域上的中心濾色器組和在邊緣像素區域上的邊緣濾色器組,在每個邊緣濾色器組中,第一濾色器的厚度大于第二濾色器的厚度。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種圖像傳感器,包括:

    2.根據權利要求1所述的圖像傳感器,其中,所述邊緣濾色器組中的每個邊緣濾色器組包括第一濾色器、第二濾色器、第三濾色器和第四濾色器,以及

    3.根據權利要求2所述的圖像傳感器,其中,所述第二濾色器比所述第一濾色器更遠離所述中心像素區域。

    4.根據權利要求2所述的圖像傳感器,其中,所述第二濾色器、所述第三濾色器和所述第四濾色器比所述第一濾色器更遠離所述中心像素區域,

    5.根據權利要求2所述的圖像傳感器,其中,所述邊緣濾色器組包括第一邊緣濾色器組和第二邊緣濾色器組,所述第二邊緣濾色器組比所述第一邊緣濾色器組更遠離所述中心像素區域,以及

    6.根據權利要求5所述的圖像傳感器,其中,所述第二邊緣濾色器組的所述第一濾色器的厚度與所述第一邊緣濾色器組的所述第一濾色器的厚度基本上相同。

    7.根據權利要求1所述的圖像傳感器,其中,在所述中心濾色器組中,所述濾色器具有基本上相同的厚度。

    8.根據權利要求1所述的圖像傳感器,其中,所述微透鏡包括覆蓋所述邊緣濾色器組的第一微透鏡和覆蓋所述中心濾色器組的第二微透鏡,以及

    9.根據權利要求1所述的圖像傳感器,進一步包括在所述半導體基板中的像素隔離結構,所述像素隔離結構限定所述像素陣列區域中的多個像素區域。

    10.根據權利要求9所述的圖像傳感器,其中,所述半導體基板包括彼此相反的第一表面和第二表面,

    11.根據權利要求9所述的圖像傳感器,其中,所述半導體基板包括彼此相反的第一表面和第二表面,

    12.根據權利要求9所述的圖像傳感器,其中,所述半導體基板包括彼此相反的第一表面和第二表面,

    13.一種圖像傳感器,包括:

    14.根據權利要求13所述的圖像傳感器,其中,在每個所述邊緣濾色器組中,所述第二濾色器比所述第一濾色器更遠離所述中心像素區域。

    15.根據權利要求13所述的圖像傳感器,其中,所述邊緣濾色器組包括第一邊緣濾色器組和第二邊緣濾色器組,所述第二邊緣濾色器組比所述第一邊緣濾色器組更遠離所述中心像素區域,以及

    16.根據權利要求15所述的圖像傳感器,其中所述第二邊緣濾色器組的所述第一濾色器的厚度與所述第一邊緣濾色器組的所述第一濾色器的厚度基本上相同。

    17.根據權利要求13所述的圖像傳感器,進一步包括將所述濾色器組彼此分開的光阻擋圖案。

    18.根據權利要求13所述的圖像傳感器,其中,在所述濾色器組的每個濾色器組中,所述第一濾色器、所述第三濾色器和所述第四濾色器具有相同的顏色。

    19.根據權利要求13所述的圖像傳感器,進一步包括像素隔離結構,所述像素隔離結構在所述半導體基板中并且在平面圖中圍繞所述光電轉換區域。

    20.一種圖像傳感器,包括:

    ...

    【技術特征摘要】

    1.一種圖像傳感器,包括:

    2.根據權利要求1所述的圖像傳感器,其中,所述邊緣濾色器組中的每個邊緣濾色器組包括第一濾色器、第二濾色器、第三濾色器和第四濾色器,以及

    3.根據權利要求2所述的圖像傳感器,其中,所述第二濾色器比所述第一濾色器更遠離所述中心像素區域。

    4.根據權利要求2所述的圖像傳感器,其中,所述第二濾色器、所述第三濾色器和所述第四濾色器比所述第一濾色器更遠離所述中心像素區域,

    5.根據權利要求2所述的圖像傳感器,其中,所述邊緣濾色器組包括第一邊緣濾色器組和第二邊緣濾色器組,所述第二邊緣濾色器組比所述第一邊緣濾色器組更遠離所述中心像素區域,以及

    6.根據權利要求5所述的圖像傳感器,其中,所述第二邊緣濾色器組的所述第一濾色器的厚度與所述第一邊緣濾色器組的所述第一濾色器的厚度基本上相同。

    7.根據權利要求1所述的圖像傳感器,其中,在所述中心濾色器組中,所述濾色器具有基本上相同的厚度。

    8.根據權利要求1所述的圖像傳感器,其中,所述微透鏡包括覆蓋所述邊緣濾色器組的第一微透鏡和覆蓋所述中心濾色器組的第二微透鏡,以及

    9.根據權利要求1所述的圖像傳感器,進一步包括在所述半導體基板中的像素隔離結構,所述像素隔離結構限定所述像素陣列區域中的多個像素區域。

    10.根據權利要求9所述的圖像傳感器,其中,所述...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:樸俊城樸鐘勛李允基
    申請(專利權)人:三星電子株式會社
    類型:發明
    國別省市:

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