【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本申請(qǐng)涉及設(shè)備維護(hù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備保養(yǎng)周期預(yù)測(cè)方法、設(shè)備、介質(zhì)及產(chǎn)品。
技術(shù)介紹
1、在半導(dǎo)體制造過程中，設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行至關(guān)重要。為保證設(shè)備的高效運(yùn)行和生產(chǎn)質(zhì)量，設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)系統(tǒng)(pms，preventive?maintenance?system)被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造企業(yè)中。pms系統(tǒng)的核心目標(biāo)是對(duì)設(shè)備進(jìn)行定期的維護(hù)和保養(yǎng)，防止設(shè)備故障，確保生產(chǎn)過程的連續(xù)性和穩(wěn)定性。
2、在pms系統(tǒng)中，基于設(shè)備運(yùn)行條件觸發(fā)的保養(yǎng)計(jì)劃(cbm，condition?basedmaintenance?plan)是一類重要的保養(yǎng)方式。cbm計(jì)劃通過監(jiān)測(cè)設(shè)備的運(yùn)行參數(shù)，當(dāng)這些參數(shù)滿足預(yù)設(shè)的觸發(fā)條件時(shí)，執(zhí)行相應(yīng)的維護(hù)保養(yǎng)操作。這種方式能夠有效地避免不必要的維護(hù)，同時(shí)在設(shè)備發(fā)生故障之前進(jìn)行預(yù)防性保養(yǎng)，降低設(shè)備故障率，提高設(shè)備利用率。
3、目前，主流的cbm計(jì)劃中，預(yù)測(cè)下一次保養(yǎng)時(shí)間(due?date)的算法主要是基于上一個(gè)樣本到當(dāng)前樣本之間的觸發(fā)速率。然而，這種算法在樣本數(shù)據(jù)不理想的情況下，會(huì)導(dǎo)致觸發(fā)速率波動(dòng)較大，從而使得預(yù)測(cè)的due?date不夠準(zhǔn)確和穩(wěn)定。例如，樣本數(shù)據(jù)受環(huán)境變化、設(shè)備狀態(tài)波動(dòng)等因素影響較大時(shí)，基于單一樣本觸發(fā)速率的預(yù)測(cè)方法難以提供可靠的保養(yǎng)周期參考。現(xiàn)有技術(shù)的缺陷在于無法充分利用歷史樣本數(shù)據(jù)，缺乏對(duì)觸發(fā)速率的有效校正和補(bǔ)償機(jī)制。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本申請(qǐng)的一個(gè)目的是提供一種半導(dǎo)體設(shè)備保養(yǎng)周期預(yù)測(cè)方法、設(shè)備、介質(zhì)及產(chǎn)品，至少用以解決半導(dǎo)體設(shè)備保養(yǎng)周期預(yù)
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)的一些實(shí)施例提供了以下幾個(gè)方面：
3、第一方面，本申請(qǐng)的一些實(shí)施例還提供了一種半導(dǎo)體設(shè)備保養(yǎng)周期預(yù)測(cè)方法，包括采集半導(dǎo)體設(shè)備觸發(fā)保養(yǎng)條件時(shí)，設(shè)備運(yùn)行參數(shù)的樣本；所述樣本包括采集時(shí)間和觸發(fā)值；計(jì)算每個(gè)所述樣本的觸發(fā)速率，所述觸發(fā)速率為所述樣本的觸發(fā)值相對(duì)于上一個(gè)樣本的變化速率；根據(jù)所述觸發(fā)速率對(duì)平均觸發(fā)速率進(jìn)行校正補(bǔ)償，所述平均觸發(fā)速率為多個(gè)樣本的平均變化趨勢(shì)；基于校正補(bǔ)償后的所述平均觸發(fā)速率預(yù)測(cè)下一次保養(yǎng)的時(shí)間，即設(shè)備觸發(fā)保養(yǎng)條件時(shí)的預(yù)計(jì)時(shí)間。
4、第二方面，本申請(qǐng)的一些實(shí)施例還提供了一種電子設(shè)備，所述電子設(shè)備包括：一個(gè)或多個(gè)處理器；以及存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序指令的存儲(chǔ)器，所述計(jì)算機(jī)程序指令在被執(zhí)行時(shí)使所述處理器執(zhí)行如上所述方法的步驟。
5、第三方面，本申請(qǐng)的一些實(shí)施例還提供了一種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序指令，所述計(jì)算機(jī)程序指令可被處理器執(zhí)行以實(shí)現(xiàn)如上所述的方法。
6、第四方面，本申請(qǐng)的一些實(shí)施例還提供了一種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括計(jì)算機(jī)程序/指令，該計(jì)算機(jī)程序/指令被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)如上所述方法的步驟。
7、與相關(guān)技術(shù)相比，本申請(qǐng)實(shí)施例提供的方案通過綜合多種算法，對(duì)觸發(fā)速率進(jìn)行校正和補(bǔ)償，實(shí)現(xiàn)了對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備保養(yǎng)周期的精準(zhǔn)預(yù)測(cè)，從而提高了due?date預(yù)測(cè)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性，減少了不必要的維護(hù)操作，降低了設(shè)備故障率，顯著提升了設(shè)備利用率和生產(chǎn)效率。
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1.一種半導(dǎo)體設(shè)備保養(yǎng)周期預(yù)測(cè)方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)所述觸發(fā)速率對(duì)平均觸發(fā)速率進(jìn)行校正補(bǔ)償包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述校正因子根據(jù)以下公式進(jìn)行補(bǔ)償：
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述平均觸發(fā)速率根據(jù)以下公式進(jìn)行補(bǔ)償：
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述TREND變化趨勢(shì)指標(biāo)計(jì)算公式包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述OFFSET偏移指標(biāo)計(jì)算公式包括：
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所述方法，其特征在于，所述設(shè)備運(yùn)行參數(shù)的樣本從EAP或MES中采集；通過PMS系統(tǒng)對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備保養(yǎng)周期進(jìn)行預(yù)測(cè)。
8.一種電子設(shè)備，其特征在于，所述電子設(shè)備包括：
9.一種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序/指令，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)程序/指令被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求1至7中任意一項(xiàng)所述方法的步驟。
10.一種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，包括計(jì)算機(jī)程序/指令，其特征在于，
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種半導(dǎo)體設(shè)備保養(yǎng)周期預(yù)測(cè)方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)所述觸發(fā)速率對(duì)平均觸發(fā)速率進(jìn)行校正補(bǔ)償包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述校正因子根據(jù)以下公式進(jìn)行補(bǔ)償：
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述平均觸發(fā)速率根據(jù)以下公式進(jìn)行補(bǔ)償：
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述trend變化趨勢(shì)指標(biāo)計(jì)算公式包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述offset偏移指標(biāo)計(jì)算公...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：鄧團(tuán)圓，肖武闖，高建濤，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：上海朋熙半導(dǎo)體有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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