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【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及碳化硅爐領域,具體涉及限位機構。
技術介紹
1、碳化硅晶體的生長需要使用碳化硅長晶爐。碳化硅長晶爐腔體通常包含爐筒、爐蓋、熱場等,一般爐蓋都設計成可提升和旋轉的。裝爐時,通常需要將爐蓋升起,然后手動或者電動結構旋轉爐蓋,給安裝熱場留出操作空間。
2、碳化硅長晶爐通常采用手動旋轉爐蓋。當爐蓋旋開之后需要對其進行限位固定,傳統的方法是插入限位銷固定。而有的時候由于操作空間限制,這種方法實際使用起來并不方便。
技術實現思路
1、針對現有技術存在的問題,本專利技術提供一種爐蓋旋轉限位機構,已解決上述至少一個技術問題。
2、本專利技術的技術方案是:一種爐蓋旋轉限位機構,其特征在于,包括與爐體相對固定設置的限位安裝座,所述限位安裝座包括一固定座以及限位銷,所述固定座通過彈簧與所述限位銷相連,所述限位銷的頂部為半球形結構;
3、還包括與爐蓋相對固定設置且同步運動的限位支架;
4、所述限位支架包括一活動座以及滾輪,所述活動座通過轉軸與所述滾輪轉動連接,所述活動座包括左右設置的安裝板以及限位板,所述滾輪可轉動的安裝在所述安裝板與所述限位板之間,所述滾輪的最低處高于所述限位板的最低處,所述滾輪的最低處低于所述安裝板的最低處;
5、爐蓋旋轉運動時,所述限位支架同步運動,所述滾輪觸碰到所述限位銷,將限位銷彈性下壓,限位支架繼續運動,所述滾輪繞著轉軸轉動,所述滾輪越過所述限位銷,所述限位銷彈性頂出,且位于所述滾輪與所述限位板之間的區域
6、爐蓋反向旋轉運動時,所述滾輪觸碰到所述限位銷,將限位銷彈性下壓,限位支架繼續運動,所述滾輪繞著轉軸轉動,所述滾輪越過所述限位銷,所述限位銷彈性頂出,所述限位銷位于所述滾輪與所述限位板之間的區域的外圍。
7、本裝置結構簡單,便于爐蓋的旋開過的鎖止。
8、進一步優選地,所述爐蓋旋轉開啟時,所述限位銷位于所述滾輪與所述限位板之間的區域;
9、所述爐蓋合蓋時,所述爐蓋與所述爐體上下設置,所述限位銷位于所述滾輪與所述限位板之間的區域的外圍。
10、進一步優選地,所述安裝板的前后兩側通過連接板與所述限位板相連;
11、所述連接板上安裝有所述轉軸。
12、便于組裝。
13、進一步優選地,所述安裝板上開設有四個矩陣式排布的腰形孔;
14、所述腰形孔的長度方向豎直設置。
15、進一步優選地,所述限位銷包括導向軸,所述導向軸的外壁設置有限位凸起;
16、所述固定座包括上下設置的上板體以及下板體,所述上板體以及所述下板體上均開設有滑動連接所述導向軸的導向孔;
17、所述下板體與所述限位凸起之間夾設有所述彈簧,所述彈簧套設在所述導向軸的外圍。
18、便于限位銷的彈性縱向伸縮。
19、進一步優選地,所述固定座還包括一上下開口的筒體,所述筒體的上方與所述上板體相連,所述筒體的下方與所述下板體相連。
20、進一步優選地,所述筒體的內側與所述限位凸起的外側縱向滑動連接。
21、進一步優選地,當爐蓋旋轉動作時,且所述限位凸起與所述上板體的下側相抵時,所述限位銷的頂部高于所述滾輪的最低處,且不高于所述滾輪的中心軸線所處的高度;
22、所述限位板的底部所處的高度高于所述上板體的上側所處的高度,且低于所述半球形結構。
23、進一步優選地,所述滾輪為圓筒狀滾輪,所述滾輪的中心軸線方向垂直于所述安裝板與所述限位板的厚度方向。
24、進一步優選地,所述滾輪的中心軸線方向垂直于所述爐蓋的旋轉中心線方向。
25、相比于現有技術,本專利技術的有益效果為:
26、該旋轉限位機構易于操作,只需輕推爐蓋使其旋轉到位,即可自動鎖定防止過度旋轉或者往回旋轉;解決了爐蓋旋轉的限位問題;
27、該旋轉限位機構設計巧妙,簡單實用,無需復雜調整或精確對中;解決了傳統的爐蓋旋轉限位機構中,操作者必須準確的將限位銷插入到銷孔內,對操作者要求更高,必須靠近限位銷才能進行操作;
28、該旋轉限位機構對操作者的位置要求更低,只要操作者能旋轉爐蓋即可。解決了傳統的爐蓋旋轉限位機構中,限位結構必須安裝在人可觸碰且容易操作的位置,而該旋轉結構的安裝位置相對更靈活。
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1.一種爐蓋旋轉限位機構,其特征在于,包括與爐體相對固定設置的限位安裝座,所述限位安裝座包括一固定座以及限位銷,所述固定座通過彈簧與所述限位銷相連,所述限位銷的頂部為半球形結構;
2.根據權利要求1所述的一種爐蓋旋轉限位機構,其特征在于:所述爐蓋旋轉開啟時,所述限位銷位于所述滾輪與所述限位板之間的區域;
3.根據權利要求1所述的一種爐蓋旋轉限位機構,其特征在于:所述安裝板的前后兩側通過連接板與所述限位板相連;
4.根據權利要求1所述的一種爐蓋旋轉限位機構,其特征在于:所述安裝板上開設有四個矩陣式排布的腰形孔;
5.根據權利要求1所述的一種爐蓋旋轉限位機構,其特征在于:所述限位銷包括導向軸,所述導向軸的外壁設置有限位凸起;
6.根據權利要求5所述的一種爐蓋旋轉限位機構,其特征在于:所述固定座還包括一上下開口的筒體,所述筒體的上方與所述上板體相連,所述筒體的下方與所述下板體相連。
7.根據權利要求6所述的一種爐蓋旋轉限位機構,其特征在于:所述筒體的內側與所述限位凸起的外側縱向滑動連接。
8.根據權利要
9.根據權利要求1所述的一種爐蓋旋轉限位機構,其特征在于:所述滾輪為圓筒狀滾輪,所述滾輪的中心軸線方向垂直于所述安裝板與所述限位板的厚度方向。
10.根據權利要求9所述的一種爐蓋旋轉限位機構,其特征在于:所述滾輪的中心軸線方向垂直于所述爐蓋的旋轉中心線方向。
...【技術特征摘要】
1.一種爐蓋旋轉限位機構,其特征在于,包括與爐體相對固定設置的限位安裝座,所述限位安裝座包括一固定座以及限位銷,所述固定座通過彈簧與所述限位銷相連,所述限位銷的頂部為半球形結構;
2.根據權利要求1所述的一種爐蓋旋轉限位機構,其特征在于:所述爐蓋旋轉開啟時,所述限位銷位于所述滾輪與所述限位板之間的區域;
3.根據權利要求1所述的一種爐蓋旋轉限位機構,其特征在于:所述安裝板的前后兩側通過連接板與所述限位板相連;
4.根據權利要求1所述的一種爐蓋旋轉限位機構,其特征在于:所述安裝板上開設有四個矩陣式排布的腰形孔;
5.根據權利要求1所述的一種爐蓋旋轉限位機構,其特征在于:所述限位銷包括導向軸,所述導向軸的外壁設置有限位凸起;
6.根據權利要求5所述的一種爐蓋旋轉限...
【專利技術屬性】
技術研發人員:陳士利,賴章田,唐明,
申請(專利權)人:上海漢虹精密機械有限公司,
類型:發明
國別省市:
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