【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及光刻，具體涉及一種多波段多光源的混合照明系統。
技術介紹
1、光刻技術作為半導體制造過程中至關重要的一環，其精度和效率直接影響到芯片的性能與成本。傳統的光刻系統多采用單一波段的光源，難以滿足日益復雜的微納加工需求。因此，設計一種用于光刻領域的多波段光照系統顯得尤為重要。
2、本系統通過集成多個波段的光源，實現更高精度、更高效率的光刻過程，為半導體產業的發展提供有力支持。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于克服現有技術的缺點，提供了一種多波段多光源的混合照明系統，具體通過以下技術方案來實現：
2、一種多波段多光源的混合照明系統，包括光源組、光束合成模塊、控制系統：
3、所述光源組包括多種不用波長的光源；
4、所述光束合成模塊包括光束整形機構、光束合束機構和功率均衡機構；
5、所述光束整形機構用于調整光束的形狀和發散角，使其滿足合成要求；
6、所述光束合束機構用于將不同波長的激光光束合并成一束同軸光束；
7、所述功率均衡機構用于在合束過程中，對來源于不同光源的光束進行功率均衡處理，以確保合成光束的整體功率分布均勻；
8、所述控制系統用于調節光源的輸出功率、曝光時間和光束形狀參數。
9、可選或優選地，所述光源組包括紫外光源、深紫外光源和極紫外光源。
10、可選或優選地，所述光束整形機構包括陣列型衍射單元和位相補償衍射單元；所述陣列型衍射單元為陣列布置的
11、可選或優選地，所述光束合束機構包括由快軸準直鏡和慢軸準直鏡構成的透鏡組和數字光纖合束器；所述快軸準直鏡用于減小光束快軸方向的發散角，所述慢軸準直鏡則用于進一步準直慢軸方向的光束。
12、可選或優選地，所述數字光纖合束器包括多個光纖合束、光通斷機構和光封裝保護機構。
13、可選或優選地，所述控制系統還包括實時監測和反饋功能，通過實時監測和反饋機制，可以及時發現并糾正光刻過程中的偏差和誤差，確保光刻過程的精確控制。
14、可選或優選地，還包括防護系統；所述防護系統包括紫外光檢測儀、遮光罩和緊急停機按鈕；所述紫外光檢測儀用于實時監測環境中的紫外光強度；所述遮光罩用于紫外防護；所述緊急停機按鈕用于在檢測到異常高紫外光強度時，立即停止設備運行。
15、基于上述技術方案，本專利技術提供的一種多波段多光源的混合照明系統可產生如下技術效果：
16、(1)本專利技術能夠通過合成不同波長的紫外激光光束，實現了更寬泛的光譜覆蓋和更高的能量輸出；
17、(2)本專利技術通過控制系統實現了對合成光束的精確控制和實時監測，從而提高系統的穩定性和可靠性，降低操作難度和維護成本；
18、(3)本專利技術采用了高效的合束機構和功率均衡技術，確保了合成光束的能量和質量。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種多波段多光源的混合照明系統，其特征在于，包括光源組、光束合成模塊、控制系統：
2.根據權利要求1所述的一種多波段多光源的混合照明系統，其特征在于：所述光源組包括紫外光源、深紫外光源和極紫外光源。這些光源具備高穩定性、長壽命和高效率的特點，以確保光刻過程的準確性和可靠性。
3.根據權利要求1所述的一種多波段多光源的混合照明系統，其特征在于：所述光束整形機構包括陣列型衍射單元和位相補償衍射單元；所述陣列型衍射單元為陣列布置的多個子衍射單元；所述陣列型衍射單元用于對光束進行整形，其中每個子衍射單元均可以獨立地對光束進行整形；所述位相補償衍射單元通過引入額外的位相變換，補償構造子衍射單元時的位相差，從而保持光束整形效果的一致性。進一步地，在布設時，通過G-S算法對各個衍射單元的位置和角度進行優化和迭代，通過需要的光強分布調整各個衍射單元的相位分布。
4.根據權利要求1所述的一種多波段多光源的混合照明系統，其特征在于：所述光束合束機構包括由快軸準直鏡和慢軸準直鏡構成的透鏡組和數字光纖合束器；所述快軸準直鏡用于減小光束快軸方向的發散角，所述慢軸準直
5.根據權利要求4所述的一種多波段多光源的混合照明系統，其特征在于：所述數字光纖合束器包括多個光纖合束、光通斷機構和光封裝保護機構。
6.根據權利要求1所述的一種多波段多光源的混合照明系統，其特征在于：所述控制系統還包括實時監測和反饋功能，通過實時監測和反饋機制，可以及時發現并糾正光刻過程中的偏差和誤差，確保光刻過程的精確控制。
7.根據權利要求1所述的一種多波段多光源的混合照明系統，其特征在于：還包括防護系統；所述防護系統包括紫外光檢測儀、遮光罩和緊急停機按鈕；所述紫外光檢測儀用于實時監測環境中的紫外光強度；所述遮光罩用于紫外防護；所述緊急停機按鈕用于在檢測到異常高紫外光強度時，立即停止設備運行。
...【技術特征摘要】
1.一種多波段多光源的混合照明系統，其特征在于，包括光源組、光束合成模塊、控制系統：
2.根據權利要求1所述的一種多波段多光源的混合照明系統，其特征在于：所述光源組包括紫外光源、深紫外光源和極紫外光源。這些光源具備高穩定性、長壽命和高效率的特點，以確保光刻過程的準確性和可靠性。
3.根據權利要求1所述的一種多波段多光源的混合照明系統，其特征在于：所述光束整形機構包括陣列型衍射單元和位相補償衍射單元；所述陣列型衍射單元為陣列布置的多個子衍射單元；所述陣列型衍射單元用于對光束進行整形，其中每個子衍射單元均可以獨立地對光束進行整形；所述位相補償衍射單元通過引入額外的位相變換，補償構造子衍射單元時的位相差，從而保持光束整形效果的一致性。進一步地，在布設時，通過g-s算法對各個衍射單元的位置和角度進行優化和迭代，通過需要的光強分布調整各個衍射單元的相位分布。
4.根據權利要求1所述的一種多波段多光源...
【專利技術屬性】
技術研發人員：劉宏偉，金鋒，張振強，
申請(專利權)人：蘇州勵索精密裝備科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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