【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專(zhuān)利技術(shù)涉及半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)，具體為一種半導(dǎo)體硅片表面拋光機(jī)。
技術(shù)介紹
1、半導(dǎo)體硅片是一種由高純度的單晶硅制成的材料，常作為制造半導(dǎo)體器件的基材；在利用半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)集成電路時(shí)，通常需要在硅片的正面進(jìn)行摻雜、光刻和金屬化等加工，但在加工前還需要對(duì)厚度為500微米的半導(dǎo)體硅片的表面進(jìn)行拋光，以去除硅片表面的微小瑕疵和不平整，使其表面更加光滑平整，從而保證后續(xù)加工的均勻性和精度。
2、目前對(duì)半導(dǎo)體硅片表面進(jìn)行拋光時(shí)還存在以下缺點(diǎn)：1、拋光時(shí)，通常需先將一片半導(dǎo)體硅片固定在相應(yīng)位置處，隨后使用目數(shù)逐漸增加的拋光頭逐一對(duì)半導(dǎo)體硅片的表面實(shí)施拋光，并在全部拋光操作完成后將半導(dǎo)體硅片取出，才繼續(xù)進(jìn)行下一半導(dǎo)體硅片的拋光操作，而上述拋光過(guò)程中，需要不斷的切換不同的拋光頭對(duì)單一半導(dǎo)體硅片執(zhí)行拋光操作，因每次切換都需要額外的時(shí)間來(lái)停機(jī)、調(diào)整設(shè)備和重新開(kāi)始拋光，從而導(dǎo)致整體拋光效率下降；2、通常只對(duì)半導(dǎo)體硅片的正面進(jìn)行拋光，而正面拋光完畢之后，半導(dǎo)體硅片的正面和側(cè)壁連接邊緣易產(chǎn)生毛刺，而毛刺可能會(huì)干擾后續(xù)的制造工藝，導(dǎo)致不良的圖形轉(zhuǎn)移和材料沉積，從而影響最終產(chǎn)品的性能。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本專(zhuān)利技術(shù)提供一種半導(dǎo)體硅片表面拋光機(jī)，由以下具體技術(shù)手段所達(dá)成：一種半導(dǎo)體硅片表面拋光機(jī)，包括底座，所述底座上端面固定安裝有前后對(duì)稱(chēng)的立滑桿以及位于前后對(duì)稱(chēng)的立滑桿之間的支撐筒，底座上端面還設(shè)置有用于將半導(dǎo)體硅片連續(xù)運(yùn)輸至拋光空間的運(yùn)輸機(jī)構(gòu)，前后對(duì)稱(chēng)的立滑桿上共同設(shè)置有用于配合
2、所述的運(yùn)輸機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在底座上且用于對(duì)半導(dǎo)體硅片實(shí)施送料與出料運(yùn)輸?shù)妮斔筒?，底座上設(shè)置有與輸送部配合的配合部和下料部，支撐筒內(nèi)設(shè)置有用于間歇運(yùn)輸半導(dǎo)體硅片以及為輸送部提供動(dòng)力的間歇部。
3、間歇部上設(shè)置有用于對(duì)半導(dǎo)體硅片實(shí)施夾持固定的固定機(jī)構(gòu)；所述的固定機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在間歇部上的夾持部，底座上設(shè)置有用于對(duì)夾持部的夾持固定和解除固定實(shí)施同步調(diào)節(jié)的裝卸部。
4、所述的拋光機(jī)構(gòu)包括前后對(duì)稱(chēng)的立滑桿上共同設(shè)置的驅(qū)動(dòng)部，驅(qū)動(dòng)部上設(shè)置有用于對(duì)半導(dǎo)體硅片實(shí)施拋光的執(zhí)行部，驅(qū)動(dòng)部上還設(shè)置有用于改變拋光角度對(duì)半導(dǎo)體硅片邊緣實(shí)施拋光的調(diào)角部。
5、作為本專(zhuān)利技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述間歇部包括中心軸桿、第一電機(jī)、槽輪和支撐圓板，所述底座上端面通過(guò)軸承安裝有位于支撐筒軸心處的中心軸桿，中心軸桿上固定套設(shè)有槽輪，底座上端面固定安裝有第一電機(jī)，第一電機(jī)的輸出端固定套設(shè)有與槽輪配合的槽輪撥桿，中心軸桿上端固定安裝有與支撐筒通過(guò)軸承連接的支撐圓板。
6、作為本專(zhuān)利技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述輸送部包括運(yùn)輸平臺(tái)、橢形板、驅(qū)動(dòng)輥、運(yùn)輸皮帶和抵板，所述底座上端面固定安裝有沿支撐圓板周向分布且左右對(duì)稱(chēng)的運(yùn)輸平臺(tái)，左右對(duì)稱(chēng)的運(yùn)輸平臺(tái)相互垂直，運(yùn)輸平臺(tái)沿支撐圓板周向分布的兩個(gè)側(cè)端均固定安裝有對(duì)稱(chēng)的橢形板，同一個(gè)運(yùn)輸平臺(tái)上的橢形板之間通過(guò)設(shè)置的軸承貫穿安裝有對(duì)稱(chēng)分布的驅(qū)動(dòng)輥，且對(duì)稱(chēng)分布的驅(qū)動(dòng)輥之間通過(guò)設(shè)置的運(yùn)輸皮帶傳動(dòng)連接，運(yùn)輸皮帶外環(huán)壁沿其輪廓均勻分布有若干用于沿支撐圓板徑向運(yùn)輸半導(dǎo)體硅片的抵板。
7、作為本專(zhuān)利技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述配合部包括第一轉(zhuǎn)軸和第二轉(zhuǎn)軸，所述底座上端面通過(guò)設(shè)置的軸承座轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有與運(yùn)輸平臺(tái)一一對(duì)應(yīng)的第一轉(zhuǎn)軸，第一轉(zhuǎn)軸與對(duì)應(yīng)的且靠近支撐圓板圓心的驅(qū)動(dòng)輥之間通過(guò)設(shè)置的第一錐齒輪組傳動(dòng)連接，底座上端面通過(guò)設(shè)置的軸承座轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有靠近其中一個(gè)第一轉(zhuǎn)軸的第二轉(zhuǎn)軸，第二轉(zhuǎn)軸和對(duì)應(yīng)的第一轉(zhuǎn)軸之間通過(guò)設(shè)置的第一傳動(dòng)齒輪組傳動(dòng)連接，第二轉(zhuǎn)軸與另一個(gè)第一轉(zhuǎn)軸之間通過(guò)設(shè)置的第一皮帶傳動(dòng)連接。
8、作為本專(zhuān)利技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述下料部包括第二電機(jī)、l型支桿和吸盤(pán)，所述底座上端面固定安裝有位于左側(cè)的運(yùn)輸平臺(tái)左側(cè)的第二電機(jī)，第二電機(jī)的輸出端固定安裝有l(wèi)型支桿，l型支桿的水平段位于左側(cè)的運(yùn)輸平臺(tái)上方，l型支桿水平段遠(yuǎn)離其垂直段的一端固定安裝有吸盤(pán)。
9、作為本專(zhuān)利技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述夾持部包括執(zhí)行凹槽、支撐圓臺(tái)、限位滑道、螺桿、夾持滑塊和第四轉(zhuǎn)軸，所述支撐圓板上端面以圓周陣列方式貫穿開(kāi)設(shè)有若干執(zhí)行凹槽，執(zhí)行凹槽內(nèi)固定安裝有內(nèi)部帶有空腔的支撐圓臺(tái)，支撐圓臺(tái)上端面以圓周陣列方式貫穿開(kāi)設(shè)有若干限位滑道，限位滑道沿支撐圓臺(tái)徑向延伸，支撐圓臺(tái)內(nèi)通過(guò)設(shè)置的軸承座轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有與限位滑道一一對(duì)應(yīng)的螺桿，限位滑道內(nèi)滑動(dòng)安裝有與對(duì)應(yīng)的螺桿螺紋連接的夾持滑塊，支撐圓臺(tái)中心處通過(guò)軸承貫穿安裝有第四轉(zhuǎn)軸，第四轉(zhuǎn)軸下端固定安裝有對(duì)接塊，第四轉(zhuǎn)軸上固定套設(shè)有第一傳動(dòng)錐齒輪，同一個(gè)支撐圓臺(tái)內(nèi)螺桿相互靠近的一端均固定套設(shè)有第二傳動(dòng)錐齒輪，第一傳動(dòng)錐齒輪同時(shí)與若干第二傳動(dòng)錐齒輪嚙合連接。
10、作為本專(zhuān)利技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述裝卸部包括第一電動(dòng)推桿、支撐板、轉(zhuǎn)筒、配合軸和第三電機(jī)，所述底座上端面固定安裝有位于支撐圓板下方的第一電動(dòng)推桿，第一電動(dòng)推桿的伸縮端固定安裝有支撐板，支撐板上通過(guò)軸承貫穿安裝有左右對(duì)稱(chēng)的轉(zhuǎn)筒，轉(zhuǎn)筒與運(yùn)輸平臺(tái)一一對(duì)應(yīng)，轉(zhuǎn)筒上端面開(kāi)設(shè)與對(duì)接塊配合的六角對(duì)位槽，支撐板上通過(guò)軸承貫穿安裝有位于左右對(duì)稱(chēng)的轉(zhuǎn)筒之間的配合軸，配合軸與右側(cè)的轉(zhuǎn)筒之間通過(guò)設(shè)置的第二傳動(dòng)齒輪組傳動(dòng)連接，配合軸與左側(cè)的轉(zhuǎn)筒之間通過(guò)設(shè)置的第二皮帶傳動(dòng)連接，支撐板上通過(guò)設(shè)置的電機(jī)座固定安裝有輸出端與配合軸固定連接的第三電機(jī)。
11、作為本專(zhuān)利技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述驅(qū)動(dòng)部包括支撐平板、氣缸、轉(zhuǎn)臺(tái)和第四電機(jī)，前后對(duì)稱(chēng)的所述立滑桿上共同滑動(dòng)安裝有支撐平板，立滑桿上固定安裝有伸縮端與支撐平板固定連接的氣缸，支撐平板上通過(guò)設(shè)置的軸承安裝有與支撐圓臺(tái)一一對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)臺(tái)，轉(zhuǎn)臺(tái)之間通過(guò)設(shè)置的第三皮帶傳動(dòng)連接，支撐平板上固定安裝有第四電機(jī)，第四電機(jī)的輸出端與其中一個(gè)轉(zhuǎn)臺(tái)之間通過(guò)設(shè)置的第三傳動(dòng)齒輪組傳動(dòng)連接。
12、作為本專(zhuān)利技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述執(zhí)行部包括伸縮桿和拋光板，所述轉(zhuǎn)臺(tái)軸心處固定貫穿安裝有伸縮桿，伸縮桿伸縮段的下端鉸接有拋光板，多個(gè)拋光板的拋光數(shù)目沿支撐平板周向依次增加。
13、作為本專(zhuān)利技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述調(diào)角部包括第二電動(dòng)推桿、升降圓板、配合圓板和鉸接桿，所述支撐平板上端面中心處固定安裝有第二電動(dòng)推桿，第二電動(dòng)推桿的伸縮端固定安裝有位于支撐平板正上方的升降圓板，升降圓板上通過(guò)軸承貫穿安裝有與轉(zhuǎn)臺(tái)一一對(duì)應(yīng)的配合圓板，配合圓板下端與對(duì)應(yīng)的伸縮桿上端固定連接，配合圓板下端面偏心鉸接有鉸接桿，鉸接桿下端滑動(dòng)貫穿轉(zhuǎn)臺(tái)后鉸接有連接滑塊，連接滑塊與拋光板上端面滑動(dòng)連接。
14、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本專(zhuān)利技術(shù)具備以下有益效果：1、該半導(dǎo)體硅片表面拋光機(jī)，通過(guò)設(shè)置的運(yùn)輸機(jī)構(gòu)、固定機(jī)構(gòu)和拋光機(jī)構(gòu)的相互配合使用，采用上料、拋光和下料的一體化操作模型完成對(duì)半導(dǎo)體硅片表面的連續(xù)多次拋光，實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)輸和逐漸精細(xì)化的拋光操作，保證每片硅片在相同條件下進(jìn)行處理，從而提高硅片的表面質(zhì)量和一致性，提升硅片的光滑度和整體表面質(zhì)量，將完整拋光作業(yè)中的各個(gè)環(huán)節(jié)整合，減少轉(zhuǎn)換時(shí)間和本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種半導(dǎo)體硅片表面拋光機(jī)，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上端面固定安裝有前后對(duì)稱(chēng)的立滑桿(2)以及位于前后對(duì)稱(chēng)的立滑桿(2)之間的支撐筒(3)，底座(1)上端面還設(shè)置有用于將半導(dǎo)體硅片連續(xù)運(yùn)輸至拋光空間的運(yùn)輸機(jī)構(gòu)(4)，前后對(duì)稱(chēng)的立滑桿(2)上共同設(shè)置有用于配合運(yùn)輸機(jī)構(gòu)(4)對(duì)半導(dǎo)體硅片實(shí)施連續(xù)拋光的拋光機(jī)構(gòu)(6)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體硅片表面拋光機(jī)，其特征在于：所述間歇部(41)包括中心軸桿(411)、第一電機(jī)(412)、槽輪(413)和支撐圓板(414)，所述底座(1)上端面通過(guò)軸承安裝有位于支撐筒(3)軸心處的中心軸桿(411)，中心軸桿(411)上固定套設(shè)有槽輪(413)，底座(1)上端面固定安裝有第一電機(jī)(412)，第一電機(jī)(412)的輸出端固定套設(shè)有與槽輪(413)配合的槽輪撥桿，中心軸桿(411)上端固定安裝有與支撐筒(3)通過(guò)軸承連接的支撐圓板(414)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體硅片表面拋光機(jī)，其特征在于：所述輸送部(42)包括運(yùn)輸平臺(tái)(421)、橢形板(422)、驅(qū)動(dòng)輥(423)、運(yùn)輸皮帶(42
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體硅片表面拋光機(jī)，其特征在于：所述配合部(43)包括第一轉(zhuǎn)軸(431)和第二轉(zhuǎn)軸(432)，所述底座(1)上端面通過(guò)設(shè)置的軸承座轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有與運(yùn)輸平臺(tái)(421)一一對(duì)應(yīng)的第一轉(zhuǎn)軸(431)，第一轉(zhuǎn)軸(431)與對(duì)應(yīng)的且靠近支撐圓板(414)圓心的驅(qū)動(dòng)輥(423)之間通過(guò)設(shè)置的第一錐齒輪組傳動(dòng)連接，底座(1)上端面通過(guò)設(shè)置的軸承座轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有靠近其中一個(gè)第一轉(zhuǎn)軸(431)的第二轉(zhuǎn)軸(432)，第二轉(zhuǎn)軸(432)和對(duì)應(yīng)的第一轉(zhuǎn)軸(431)之間通過(guò)設(shè)置的第一傳動(dòng)齒輪組傳動(dòng)連接，第二轉(zhuǎn)軸(432)與另一個(gè)第一轉(zhuǎn)軸(431)之間通過(guò)設(shè)置的第一皮帶傳動(dòng)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體硅片表面拋光機(jī)，其特征在于：所述下料部(44)包括第二電機(jī)(441)、L型支桿(442)和吸盤(pán)(443)，所述底座(1)上端面固定安裝有位于左側(cè)的運(yùn)輸平臺(tái)(421)左側(cè)的第二電機(jī)(441)，第二電機(jī)(441)的輸出端固定安裝有L型支桿(442)，L型支桿(442)的水平段位于左側(cè)的運(yùn)輸平臺(tái)(421)上方，L型支桿(442)水平段遠(yuǎn)離其垂直段的一端固定安裝有吸盤(pán)(443)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體硅片表面拋光機(jī)，其特征在于：所述夾持部(51)包括執(zhí)行凹槽(511)、支撐圓臺(tái)(512)、限位滑道(513)、螺桿(514)、夾持滑塊(515)和第四轉(zhuǎn)軸(516)，所述支撐圓板(414)上端面以圓周陣列方式貫穿開(kāi)設(shè)有若干執(zhí)行凹槽(511)，執(zhí)行凹槽(511)內(nèi)固定安裝有內(nèi)部帶有空腔的支撐圓臺(tái)(512)，支撐圓臺(tái)(512)上端面以圓周陣列方式貫穿開(kāi)設(shè)有若干限位滑道(513)，限位滑道(513)沿支撐圓臺(tái)(512)徑向延伸，支撐圓臺(tái)(512)內(nèi)通過(guò)設(shè)置的軸承座轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有與限位滑道(513)一一對(duì)應(yīng)的螺桿(514)，限位滑道(513)內(nèi)滑動(dòng)安裝有與對(duì)應(yīng)的螺桿(514)螺紋連接的夾持滑塊(515)，支撐圓臺(tái)(512)中心處通過(guò)軸承貫穿安裝有第四轉(zhuǎn)軸(516)，第四轉(zhuǎn)軸(516)下端固定安裝有對(duì)接塊，第四轉(zhuǎn)軸(516)上固定套設(shè)有第一傳動(dòng)錐齒輪，同一個(gè)支撐圓臺(tái)(512)內(nèi)螺桿(514)相互靠近的一端均固定套設(shè)有第二傳動(dòng)錐齒輪，第一傳動(dòng)錐齒輪同時(shí)與若干第二傳動(dòng)錐齒輪嚙合連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體硅片表面拋光機(jī)，其特征在于：所述裝卸部(52)包括第一電動(dòng)推桿(521)、支撐板(522)、轉(zhuǎn)筒(523)、配合軸(524)和第三電機(jī)(525)，所述底座(1)上端面固定安裝有位于支撐圓板(414)下方的第一電動(dòng)推桿(521)，第一電動(dòng)推桿(521)的伸縮端固定安裝有支撐板(522)，支撐板(522)上通過(guò)軸承貫穿安裝有左右對(duì)稱(chēng)的轉(zhuǎn)筒(523)，轉(zhuǎn)筒(523)與運(yùn)輸平臺(tái)(421)一一對(duì)應(yīng)，轉(zhuǎn)筒(523)上端面開(kāi)設(shè)與對(duì)接塊配合的六角對(duì)位槽，支撐板(522)上通過(guò)軸承貫穿安裝有位于左右對(duì)稱(chēng)的...
【技術(shù)特征摘要】
1.一種半導(dǎo)體硅片表面拋光機(jī)，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上端面固定安裝有前后對(duì)稱(chēng)的立滑桿(2)以及位于前后對(duì)稱(chēng)的立滑桿(2)之間的支撐筒(3)，底座(1)上端面還設(shè)置有用于將半導(dǎo)體硅片連續(xù)運(yùn)輸至拋光空間的運(yùn)輸機(jī)構(gòu)(4)，前后對(duì)稱(chēng)的立滑桿(2)上共同設(shè)置有用于配合運(yùn)輸機(jī)構(gòu)(4)對(duì)半導(dǎo)體硅片實(shí)施連續(xù)拋光的拋光機(jī)構(gòu)(6)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體硅片表面拋光機(jī)，其特征在于：所述間歇部(41)包括中心軸桿(411)、第一電機(jī)(412)、槽輪(413)和支撐圓板(414)，所述底座(1)上端面通過(guò)軸承安裝有位于支撐筒(3)軸心處的中心軸桿(411)，中心軸桿(411)上固定套設(shè)有槽輪(413)，底座(1)上端面固定安裝有第一電機(jī)(412)，第一電機(jī)(412)的輸出端固定套設(shè)有與槽輪(413)配合的槽輪撥桿，中心軸桿(411)上端固定安裝有與支撐筒(3)通過(guò)軸承連接的支撐圓板(414)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體硅片表面拋光機(jī)，其特征在于：所述輸送部(42)包括運(yùn)輸平臺(tái)(421)、橢形板(422)、驅(qū)動(dòng)輥(423)、運(yùn)輸皮帶(424)和抵板(425)，所述底座(1)上端面固定安裝有沿支撐圓板(414)周向分布且左右對(duì)稱(chēng)的運(yùn)輸平臺(tái)(421)，左右對(duì)稱(chēng)的運(yùn)輸平臺(tái)(421)相互垂直，運(yùn)輸平臺(tái)(421)沿支撐圓板(414)周向分布的兩個(gè)側(cè)端均固定安裝有對(duì)稱(chēng)的橢形板(422)，同一個(gè)運(yùn)輸平臺(tái)(421)上的橢形板(422)之間通過(guò)設(shè)置的軸承貫穿安裝有對(duì)稱(chēng)分布的驅(qū)動(dòng)輥(423)，且對(duì)稱(chēng)分布的驅(qū)動(dòng)輥(423)之間通過(guò)設(shè)置的運(yùn)輸皮帶(424)傳動(dòng)連接，運(yùn)輸皮帶(424)外環(huán)壁沿其輪廓均勻分布有若干用于沿支撐圓板(414)徑向運(yùn)輸半導(dǎo)體硅片的抵板(425)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體硅片表面拋光機(jī)，其特征在于：所述配合部(43)包括第一轉(zhuǎn)軸(431)和第二轉(zhuǎn)軸(432)，所述底座(1)上端面通過(guò)設(shè)置的軸承座轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有與運(yùn)輸平臺(tái)(421)一一對(duì)應(yīng)的第一轉(zhuǎn)軸(431)，第一轉(zhuǎn)軸(431)與對(duì)應(yīng)的且靠近支撐圓板(414)圓心的驅(qū)動(dòng)輥(423)之間通過(guò)設(shè)置的第一錐齒輪組傳動(dòng)連接，底座(1)上端面通過(guò)設(shè)置的軸承座轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有靠近其中一個(gè)第一轉(zhuǎn)軸(431)的第二轉(zhuǎn)軸(432)，第二轉(zhuǎn)軸(432)和對(duì)應(yīng)的第一轉(zhuǎn)軸(431)之間通過(guò)設(shè)置的第一傳動(dòng)齒輪組傳動(dòng)連接，第二轉(zhuǎn)軸(432)與另一個(gè)第一轉(zhuǎn)軸(431)之間通過(guò)設(shè)置的第一皮帶傳動(dòng)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體硅片表面拋光機(jī)，其特征在于：所述下料部(44)包括第二電機(jī)(441)、l型支桿(442)和吸盤(pán)(443)，所述底座(1)上端面固定安裝有位于左側(cè)的運(yùn)輸平臺(tái)(421)左側(cè)的第二電機(jī)(441)，第二電機(jī)(441)的輸出端固定安裝有l(wèi)型支桿(442)，l型支桿(442)的水平段位于左側(cè)的運(yùn)輸平臺(tái)(421)上方，l型支桿(442)水平段遠(yuǎn)離其垂直段的一端固定安裝有吸盤(pán)(443)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體硅片表面拋光機(jī)，其特征在于：所述夾持部(51)包括執(zhí)行凹槽(511)、支撐圓臺(tái)(512)、限位滑道(513)、螺桿(514)、夾持滑塊(515)和第四轉(zhuǎn)軸(516)，所述支撐圓板(414)上端面以圓周陣列方式貫穿開(kāi)設(shè)有若干執(zhí)行凹槽(511)，執(zhí)行凹槽(511)內(nèi)固定安裝有內(nèi)部帶有空腔的支撐圓臺(tái)(512)，支撐圓臺(tái)(512)...
【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：周磊，蔣孟林，丁媛，鄭偉，竇沛靜，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：四川艾龐機(jī)械科技有限公司，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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