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    一種硅片檢測用光源制造技術

    技術編號:44095939 閱讀:16 留言:0更新日期:2025-01-21 12:30
    本申請提供了一種硅片檢測用光源,包括殼體、燈板、圓柱透鏡及勻光件,其中:燈板、圓柱透鏡及勻光件均設置在殼體內,其中,圓柱透鏡位于燈板與勻光件之間;燈板朝向圓柱透鏡的一側表面上沿第一方向均勻間隔設置有多個燈珠,圓柱透鏡沿第一方向延伸設置,圓柱透鏡被配置為接收由各燈珠發出的光線,并將光線朝向圓柱透鏡的中心軸線的正下方匯聚;勻光件被配置為接收由圓柱透鏡匯聚的光線,并將光線沿第一方向發散,以使得相鄰兩個燈珠之間區域的光線透過勻光件后相互疊合。采用勻光件沿第一方向聚焦發散經圓柱透鏡匯聚后的光線,以使相鄰兩個燈珠之間區域的光線透過勻光件后相互疊合,可有效均勻相鄰兩個燈珠之間的光線,提高條形光源的均勻度。

    【技術實現步驟摘要】

    本申請涉及光伏電池生產領域,具體地說是一種硅片檢測用光源


    技術介紹

    1、硅片生產過程中,需要采用條形光源實施對硅片進行照射,以配合檢測機構實施對硅片的檢測,例如隱裂檢測。

    2、條形光源多由若干燈珠線性排列形成,由于相鄰燈珠之間存在間隙,且燈珠的光線發射角較大,發射中心的光強高于周側的光強,導致傳統的條形光源在硅片上形成的條形光源的均勻度較差,最終影響了檢測機構的檢測精度。


    技術實現思路

    1、為了解決上述技術問題,本申請提供了一種硅片檢測用光源,其采用如下技術方案:

    2、一種硅片檢測用光源,包括殼體、燈板、圓柱透鏡及勻光件,其中:

    3、燈板、圓柱透鏡及勻光件均設置在殼體內,其中,圓柱透鏡位于燈板與勻光件之間;

    4、燈板朝向圓柱透鏡的一側表面上沿第一方向均勻間隔設置有多個燈珠,圓柱透鏡沿第一方向延伸設置,圓柱透鏡被配置為接收由各燈珠發出的光線,并將光線朝向圓柱透鏡的中心軸線的正下方匯聚;

    5、勻光件被配置為接收由圓柱透鏡匯聚的光線,并將光線沿第一方向發散,以使得相鄰兩個燈珠之間區域的光線透過勻光件后相互疊合。

    6、采用勻光件沿第一方向聚焦發散經圓柱透鏡匯聚后的光線,以使相鄰兩個燈珠之間區域的光線透過勻光件后相互疊合,可有效均勻相鄰兩個燈珠之間的光線,提高條形光源的均勻度。

    7、在一些實施例中,勻光件包括若干個沿第一方向線性陣列排布的半圓柱透鏡,每個半圓柱透鏡均在水平面內沿與第一方向垂直的方向延伸設置,每個半圓柱透鏡均被配置為接收由圓柱透鏡匯聚的對應部分光線,對應部分光線經半圓柱透鏡聚焦后發散,以使得相鄰兩個燈珠之間區域的光線透過勻光件后相互疊合。

    8、提供了一種結構簡單的勻光件,其包括若干個沿第一方向線性陣列排布的半圓柱透鏡。每個半圓柱透鏡接收由圓柱透鏡匯聚的對應部分光線,并將對應部分光線聚焦后發散。在每個半圓柱透鏡的組合作用下,使得相鄰兩個燈珠之間區域的光線均相互疊合,最終提高條形光源的均勻度。

    9、在一些實施例中,勻光件還包括沿第一方向延伸的透光基板,若干個半圓柱透鏡沿第一方向線性陣列排布設置在透光基板背離圓柱透鏡的一側表面上。

    10、若干個半圓柱透鏡沿第一方向線性陣列排布設置在透光基板,方便了勻光件的安裝及維護,且方便了對勻光件的加工成型。

    11、在一些實施例中,相鄰的半圓柱透鏡相切或相交。

    12、相鄰的半圓柱透鏡相切或相交設置,可使自圓柱透鏡傳播至半圓柱透鏡的光線能夠盡可能多地被半圓柱透鏡聚焦發散,以進一步提高條形光源的均勻度。

    13、在一些實施例中,殼體包括第一側板和第二側板,第一側板的第一端和第二側板的第一端均朝向內側彎折形成彎折部;燈板背離圓柱透鏡的一側設置有散熱板;彎折部壓靠在散熱板上,以將散熱板上的熱量熱傳導至第一側板和第二側板上。

    14、通過將殼體設置成由第一側板和第二側板構成的拼裝式結構,方便了本申請的硅片檢測用光源的拆裝及維護。通過彎折部的設置,使得散熱板與第一側板及第二側板直接接觸,如此,燈板產生的熱量能夠經散熱板快速傳導至第一側板及第二側板上,并經第一側板及第二側板散發,提升了光源的散熱性能,延長了燈板的壽命。

    15、在一些實施例中,第一側板和第二側板的外側表面上均設置有若干向內凹陷的散熱溝槽。

    16、通過在第一側板和第二側板的外側表面上設置散熱溝槽,增大了第一側板和第二側板的散熱面積,進一步提升了光源的散熱性能。

    17、在一些實施例中,第一側板和第二側板為一體成型結構,第一側板和/或第二側板的外側表面上成對設置有兩根沿第一方向延伸的安裝桿,兩根安裝桿之間形成安裝槽。

    18、第一側板和第二側板為一體成型,方便了殼體的生產制備,且方便了殼體的拼裝。通過在第一側板、第二側板上設置安裝槽,可方便地將本申請的光源安裝至工作位置,或從工作位置處卸下。

    19、在一些實施例中,第一側板的第二端和第二側板的第二端之間形成沿第一方向延伸的出光口;第一側板和第二側板的內壁均上下設置有第一卡槽、弧形凹槽和第二卡槽,第一卡槽用于卡合安裝燈板,弧形凹槽用于卡合安裝圓柱透鏡,第二卡槽用于卡合安裝勻光件;由勻光件沿第一方向發散的光線經出光口透出。

    20、通過在第一側板的第二端和第二側板的第二端之間設置沿第一方向延伸的出光口,使得由勻光件沿第一方向發散的光線經出光口透出,進一步確保本申請的光源在待檢測的硅片上形成條形光斑。通過在第一側板和第二側板的內壁設置第一卡槽、弧形凹槽和第二卡槽,則方便了對燈板、圓柱透鏡及圓柱透鏡的安裝及維護。

    21、在一些實施例中,殼體還包括兩塊端板,兩塊端板分別設置在圓柱透鏡的兩端,并分別與第一側板和第二側板的兩端固定連接。

    22、兩塊端板與第一側板、第二側板合圍構成周側封閉的殼體,使得照射至端板、第一側板、第二側板的內壁上的光線反射后投射至圓柱透鏡上,并最終經出光口透出,降低了光損耗。

    23、在一些實施例中,殼體還包括端罩,端罩連接在第一側板的第一端和第二側板的第一端,端罩內設置有散熱風扇。

    24、散熱風扇背離燈板抽風,可加快燈板的散熱速度,提升本申請的光源的散熱性能。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種硅片檢測用光源,其特征在于,所述硅片檢測用光源包括殼體、燈板、圓柱透鏡及勻光件,其中:

    2.如權利要求1所述的硅片檢測用光源,其特征在于,所述勻光件包括若干個沿所述第一方向線性陣列排布的半圓柱透鏡,每個所述半圓柱透鏡均在水平面內沿與所述第一方向垂直的方向延伸設置,每個所述半圓柱透鏡均被配置為接收由所述圓柱透鏡匯聚的對應部分光線,所述對應部分光線經所述半圓柱透鏡聚焦后發散,以使得相鄰兩個所述燈珠之間區域的光線透過所述勻光件后相互疊合。

    3.如權利要求2所述的硅片檢測用光源,其特征在于,所述勻光件還包括沿所述第一方向延伸的透光基板,若干個半圓柱透鏡沿所述第一方向線性陣列排布設置在所述透光基板背離所述圓柱透鏡的一側表面上。

    4.如權利要求2或3所述的硅片檢測用光源,其特征在于,相鄰的所述半圓柱透鏡相切或相交。

    5.如權利要求1所述的硅片檢測用光源,其特征在于,所述殼體包括第一側板和第二側板,所述第一側板的第一端和所述第二側板的第一端均朝向內側彎折形成彎折部;

    6.如權利要求5所述的硅片檢測用光源,其特征在于,所述第一側板和所述第二側板的外側表面上均設置有若干向內凹陷的散熱溝槽。

    7.如權利要求5所述的硅片檢測用光源,其特征在于,所述第一側板和所述第二側板為一體成型結構,所述第一側板和/或所述第二側板的外側表面上成對設置有兩根沿所述第一方向延伸的安裝桿,兩根所述安裝桿之間形成安裝槽。

    8.如權利要求5所述的硅片檢測用光源,其特征在于,所述第一側板的第二端和所述第二側板的第二端之間形成沿所述第一方向延伸的出光口;

    9.如權利要求5所述的硅片檢測用光源,其特征在于,所述殼體還包括兩塊端板,兩塊所述端板分別設置在所述圓柱透鏡的兩端,并分別與所述第一側板和所述第二側板的兩端固定連接。

    10.如權利要求5所述的硅片檢測用光源,其特征在于,所述殼體還包括端罩,所述端罩連接在所述第一側板的第一端和所述第二側板的第一端,所述端罩內設置有散熱風扇。

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    【技術特征摘要】

    1.一種硅片檢測用光源,其特征在于,所述硅片檢測用光源包括殼體、燈板、圓柱透鏡及勻光件,其中:

    2.如權利要求1所述的硅片檢測用光源,其特征在于,所述勻光件包括若干個沿所述第一方向線性陣列排布的半圓柱透鏡,每個所述半圓柱透鏡均在水平面內沿與所述第一方向垂直的方向延伸設置,每個所述半圓柱透鏡均被配置為接收由所述圓柱透鏡匯聚的對應部分光線,所述對應部分光線經所述半圓柱透鏡聚焦后發散,以使得相鄰兩個所述燈珠之間區域的光線透過所述勻光件后相互疊合。

    3.如權利要求2所述的硅片檢測用光源,其特征在于,所述勻光件還包括沿所述第一方向延伸的透光基板,若干個半圓柱透鏡沿所述第一方向線性陣列排布設置在所述透光基板背離所述圓柱透鏡的一側表面上。

    4.如權利要求2或3所述的硅片檢測用光源,其特征在于,相鄰的所述半圓柱透鏡相切或相交。

    5.如權利要求1所述的硅片檢測用光源,其特征在于,所述殼體包括第一側板和第二側板,所述第一側板的第一端和所述第二側...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:請求不公布姓名請求不公布姓名請求不公布姓名
    申請(專利權)人:無錫奧特維科技股份有限公司
    類型:新型
    國別省市:

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