【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體拉晶設備領域，具體涉及導流罩。
技術介紹
1、半導體拉晶過程中，能夠均勻的，按照設定量的要求，加入半導體晶體摻雜劑要求，從而保證半導體晶棒的品質，使晶棒內所含的摻雜劑均勻性，這樣能夠保證拉晶的晶棒質量要求。
2、傳統摻雜劑的加入方法是在硅液熔融化后，加入紅磷摻雜劑，全部的紅磷摻雜劑熔入到硅液中，因為紅磷易氣化，拉晶時間越久，熔湯中的紅磷摻雜劑就越來越小，造成拉晶不同時間，晶棒所含摻雜劑的不均勻，開始較多，拉晶到最后，摻雜劑較小，從而影響整個晶棒的品質。
3、目前缺乏一種均勻加入紅磷摻雜劑的裝置。
技術實現思路
1、針對現有技術存在的問題，本專利技術提供一種紅磷摻雜劑石英導流罩，已解決上述至少一個技術問題。
2、本專利技術的技術方案是：一種紅磷摻雜劑石英導流罩，其特征在于，包括從上至下順序連接的漏斗、導料管、導流蓋板以及導流罩體；
3、所述漏斗的底部開口與所述導料管的頂部開口對接導通；
4、所述導料管的底部開口與所述導流蓋板的進料口對接導通；
5、所述導流罩體包括上端開口的環狀槽體，所述環狀槽體與所述導流蓋板相連圍成一環狀中空腔體，所述環狀槽體的外側壁開設有用于導出紅磷摻雜劑的導流孔，所述導流孔與所述環狀中空腔體的內腔對接導通；
6、所述導流罩體還包括導流筒，所述環狀槽體的底部連接所述導流筒，所述導流筒的外徑從上至下遞減；
7、所述導料管的頂部可拆卸連接有用于安裝的夾具
8、本專利技術實現了紅磷摻雜劑通過導流孔均勻的導入晶棒表面。
9、進一步優選地，所述環狀槽體的外徑從上至下遞減。
10、進一步優選地，所述環狀槽體的外側壁上開設有至少三層從上至下設置的氣孔層，每層氣孔層均設置有至少十個周向排布的所述導流孔。
11、進一步優選地，所述夾具包括可拆卸連接的第一夾持件以及第二夾持件，所述第一夾持件以及所述第二夾持件均開設有半圓形缺口，所述第一夾持件與所述第二夾持件的半圓形缺口拼合圍成夾持所述導料管的限位孔；
12、所述第一夾持件以及所述第二夾持件呈z字形彎折；
13、所述第一夾持件以及所述第二夾持件的頂部開設有所述半圓形缺口；
14、所述第一夾持件以及所述第二夾持件的頂部通過連接件相連；
15、所述第一夾持件與所述第二夾持件的底部開設有安裝孔。
16、進一步優選地，所述漏斗包括上下設置的圓筒狀上部以及圓錐形下部，所述圓錐形下部的外徑從上至下遞減；
17、所述圓錐形下部與所述夾具的上側相抵。
18、進一步優選地，所述導料管包括從上至下順序連接的第一管部、第二管部以及第三管部；
19、所述第一管部豎直設置，所述第二管部傾斜設置，所述第三管部傾斜設置；
20、所述第一管部的長度以及所述第二管部的長度均小于所述第三管部的長度；
21、所述第三管部的斜率小于所述第二管部的斜率。
22、進一步優選地，所述第二管部從外至內傾斜設置。第三管部從外至內傾斜設置。
23、進一步優選地，所述漏斗的垂直投影區域位于所述導流罩體的垂直投影區域的外圍。
24、進一步優選地，所述夾具與石墨熱屏內屏的內側可拆卸連接。
25、進一步優選地，所述漏斗、導料管、導流蓋板以及導流罩體的材質均為石英。
26、進一步優選地，所述導流孔的大小根據摻雜劑工藝的摻雜劑量進行調整；
27、當紅磷摻雜劑量為0.5g/min時，導流孔的孔徑大小為1mm,導流孔的個數為66個；所述環狀槽體的外側壁上開設有三層從上至下設置的氣孔層，每層氣孔層均設置有二十二個周向排布的所述導流孔；
28、當紅磷摻雜劑量為1.5g/min時，導流孔的孔徑大小為2mm，導流孔的個數為66個；所述環狀槽體的外側壁上開設有三層從上至下設置的氣孔層，每層氣孔層均設置有二十二個周向排布的所述導流孔。
29、相比于現有技術，本專利技術的有益效果為：
30、1)導流罩，四周分布著均勻導流孔，從而保證紅磷受熱均布，紅磷氣氛通過導流孔導入晶棒表面，從而保證晶棒摻雜的紅磷成分均勻性。
31、2)采用導料管，從而保證顆粒狀紅磷均勻的掉入到導流罩體內。
32、3)采用耐高溫材質鉬棒夾具，可靠的固定住導料管，保證紅磷摻雜劑不會晃動彈出。
33、4)通過導流蓋板，保證摻雜劑不會溢出，而影響到硅液的摻雜劑劑量的變化。
34、5)此石英管導流罩，直接可以安裝到石墨熱屏內屏內，不需要重新設計新的支撐機構，從而節約成本。
35、6)石英導流罩的導流孔的大小，可以根椐不同的摻雜劑工藝，而調整導流孔的大小。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種紅磷摻雜劑石英導流罩，其特征在于，包括從上至下順序連接的漏斗、導料管、導流蓋板以及導流罩體；
2.根據權利要求1所述的一種紅磷摻雜劑石英導流罩，其特征在于：所述環狀槽體的外徑從上至下遞減。
3.根據權利要求1所述的一種紅磷摻雜劑石英導流罩，其特征在于：所述環狀槽體的外側壁上開設有至少三層從上至下設置的氣孔層，每層氣孔層均設置有至少十個周向排布的所述導流孔。
4.根據權利要求1所述的一種紅磷摻雜劑石英導流罩，其特征在于：所述夾具包括可拆卸連接的第一夾持件以及第二夾持件，所述第一夾持件以及所述第二夾持件均開設有半圓形缺口，所述第一夾持件與所述第二夾持件的半圓形缺口拼合圍成夾持所述導料管的限位孔；
5.根據權利要求4所述的一種紅磷摻雜劑石英導流罩，其特征在于：所述漏斗包括上下設置的圓筒狀上部以及圓錐形下部，所述圓錐形下部的外徑從上至下遞減；
6.根據權利要求1所述的一種紅磷摻雜劑石英導流罩，其特征在于：所述導料管包括從上至下順序連接的第一管部、第二管部以及第三管部；
7.根據權利要求1所述的一種紅磷摻雜劑石
8.根據權利要求1所述的一種紅磷摻雜劑石英導流罩，其特征在于：所述夾具與石墨熱屏內屏的內側可拆卸連接。
9.根據權利要求1所述的一種紅磷摻雜劑石英導流罩，其特征在于：所述漏斗、導料管、導流蓋板以及導流罩體的材質均為石英。
10.根據權利要求1所述的一種紅磷摻雜劑石英導流罩，其特征在于：導流孔的大小根據摻雜劑工藝的摻雜劑量進行調整；
...【技術特征摘要】
1.一種紅磷摻雜劑石英導流罩，其特征在于，包括從上至下順序連接的漏斗、導料管、導流蓋板以及導流罩體；
2.根據權利要求1所述的一種紅磷摻雜劑石英導流罩，其特征在于：所述環狀槽體的外徑從上至下遞減。
3.根據權利要求1所述的一種紅磷摻雜劑石英導流罩，其特征在于：所述環狀槽體的外側壁上開設有至少三層從上至下設置的氣孔層，每層氣孔層均設置有至少十個周向排布的所述導流孔。
4.根據權利要求1所述的一種紅磷摻雜劑石英導流罩，其特征在于：所述夾具包括可拆卸連接的第一夾持件以及第二夾持件，所述第一夾持件以及所述第二夾持件均開設有半圓形缺口，所述第一夾持件與所述第二夾持件的半圓形缺口拼合圍成夾持所述導料管的限位孔；
5.根據權利要求4所述的一種紅磷摻雜劑石英導流罩，其特征在于：所述漏...
【專利技術屬性】
技術研發人員：夏孝平，
申請(專利權)人：上海漢虹精密機械有限公司，
類型：發明
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。