【技術實現步驟摘要】
本申請涉及單晶爐,特別是涉及一種用于單晶爐的副室筒以及取晶系統。
技術介紹
1、目前,從單晶爐取單晶硅棒時,通常是先將單晶爐的副室筒旋開至預定取單晶位置,然后大致確認副室筒與取晶車托盤的位置后降下單晶,在降晶過程中工作人員需要再次確認單晶硅棒與托盤的垂直位置,如果出現偏差需要水平調整取晶車的位置,使單晶硅棒與取晶車托盤盡可能的位于同一中心線。
2、然而,由于單晶硅棒與托盤的垂直位置需要工作人員在靠近晶棒的位置進行確認,因此若發生掉棒現象,單晶硅棒很容易燙傷、砸傷工作人員,造成安全事故。而且,如果取晶車托盤與晶棒存在位置偏差,則需要在降晶過程中水平調整取晶車的位置,而在調整取晶車位置的過程中,取晶車極有可能會觸碰到晶棒,從而導致晶棒損傷甚至掉落的問題。
技術實現思路
1、基于此,本技術提供一種用于單晶爐的副室筒以及取晶系統,以解決降晶時需要工作人員在靠近晶棒的位置確認取晶車的位置以及對取晶車進行調整,導致掉棒后晶棒容易燙傷、砸傷工作人員的問題。
2、一方面,本技術提供了一種用于單晶爐的副室筒,包括:
3、筒體;以及
4、定位裝置,其包括固定在所述筒體的外側壁上的調節支架和設置在所述調節支架上的定位燈,所述定位燈向所述筒體的下方發出射線,所述射線的入射角度滿足:所述射線與所述定位燈下方的基準面的交點位于所述筒體的中軸線上,其中,所述基準面與所述筒體下端的高度差為預定高度;
5、其中,所述調節支架包括固定件和活動件,所述固定件固
6、在其中一個實施例中,所述固定件包括支座,所述支座固定連接于所述筒體的外側壁上,所述活動件的一端與所述支座鉸接,所述定位燈設置于所述活動件的自由端。
7、在其中一個實施例中,所述支座包括底板和兩塊設置于所述底板上的第一連接片;
8、所述底板固定連接于所述筒體的外側壁上;
9、兩個所述第一連接片之間具有安裝間隙,兩個所述第一連接片上均設置有鉸接孔,所述活動件的一端嵌入在安裝間隙中并與兩個所述第一連接片上的鉸接孔通過銷軸鉸接。
10、在其中一個實施例中,所述活動件包括第一調節部和第二調節部,所述第一調節部的一端與所述支座鉸接,所述第二調節部與所述第一調節遠離所述支座的一端鉸接,所述定位燈設置于所述第二調節部遠離所述第一調節部(2021)的一端上。
11、在其中一個實施例中,所述第一調節部包括兩個第一調節桿,兩個所述第一調節桿的第一端分別通過銷軸鉸接于兩個所述第一連接片,兩個所述第一調節桿的第二端分別通過銷軸鉸接于兩個第二連接片之間,且兩個所述第一調節桿相互平行。
12、在其中一個實施例中,所述第二調節部包括兩個第二調節桿,兩個所述第二調節桿的第一端分別通過銷軸鉸接于兩個所述第二連接片之間,兩個所述第二調節桿的第二端分別通過銷軸鉸接于兩個第三連接片之間,且兩個所述第二調節桿相互平行。
13、在其中一個實施例中,所述定位裝置還包括用于安裝所述定位燈的抱夾結構;
14、所述抱夾結構包括第一夾片和第二夾片,所述第一夾片和所述第二夾片分別連接于兩個所述第三連接片上,且所述第一夾片和所述第二夾片的中部均向相互遠離的方向凹陷設置,使所述第一夾片和所述第二夾片之間形成用于抱夾所述定位燈的抱夾部;
15、所述第一夾片和所述第二夾片分別通過銷軸鉸接于兩個所述第三連接片。
16、在其中一個實施例中,還包括用于控制所述定位燈啟閉的微動開關,所述微動開關與單晶爐的控制系統通訊連接,用于在副室筒打開時控制所述定位燈開啟。
17、另一方面,本技術還提供了一種取晶系統,其包括取晶車以及上述任一實施例所述的用于單晶爐的副室筒,所述取晶車包括豎直設置的支臂以及滑動設置在所述支臂上的托盤,所述托盤相對于所述支臂可上下滑動,所述托盤位于所述基準面上并且所述定位燈的射線與所述托盤的交點位于所述托盤的中心。
18、在其中一個實施例中,所述支臂上設置有刻度,通過所述刻度確定所述托盤位于所述基準面上。
19、有益效果:本副室筒,通過調節支架可以對定位燈的照射角度進行預調節,使定位燈發射的射線定位于基準面與筒體中軸線的相交點處,實現定位燈的預定位。而通過定位燈的預定位可以使操作人員對取晶車和副室筒之間的位置有直觀的對照,為操作人員移動取晶車提供了精確的位置參考,定位精確且穩定。同時,定位燈作為光照性定位,在取晶棒過程中不會影響單晶爐的其他工序操作,達到操作簡便和對其他工序不產生任何影響的目的。
20、另外,本方案可以在副室筒的旋開初期對取晶車進行位置校準,后續可實現人員遠離取晶車進行降單晶操作,避免了在晶棒下降過程中需要操作人員在靠近晶棒的位置調整取晶車造成的人員安全隱患,安全性更高,也避免了在晶棒下降過程中需要多次調整取晶車而造成的晶棒損傷風險,降低了晶棒的不良率。
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1.一種用于單晶爐的副室筒,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的副室筒,其特征在于:所述固定件(201)包括支座,所述支座固定連接于所述筒體(1)的外側壁上,所述活動件(202)的一端與所述支座鉸接,所述定位燈(3)設置于所述活動件(202)的自由端。
3.根據權利要求2所述的副室筒,其特征在于:所述支座包括底板(2011)和兩塊設置于所述底板(2011)上的第一連接片(2012);
4.根據權利要求3所述的副室筒,其特征在于:所述活動件(202)包括第一調節部(2021)和第二調節部(2022),所述第一調節部(2021)的一端與所述支座鉸接,所述第二調節部(2022)與所述第一調節遠離所述支座的一端鉸接,所述定位燈(3)設置于所述第二調節部(2022)遠離所述第一調節部(2021)的一端上。
5.根據權利要求4所述的副室筒,其特征在于:所述第一調節部(2021)包括兩個第一調節桿(20211),兩個所述第一調節桿(20211)的第一端分別通過銷軸鉸接于兩個所述第一連接片(2012),兩個所述第一調節桿(20211)的第二
6.根據權利要求5所述的副室筒,其特征在于:所述第二調節部(2022)包括兩個第二調節桿(20221),兩個所述第二調節桿(20221)的第一端分別通過銷軸鉸接于兩個所述第二連接片(2023)之間,兩個所述第二調節桿(20221)的第二端分別通過銷軸鉸接于兩個第三連接片(2024)之間,且兩個所述第二調節桿(20221)相互平行。
7.根據權利要求6所述的副室筒,其特征在于:所述定位裝置還包括用于安裝所述定位燈(3)的抱夾結構(4);
8.根據權利要求1所述的副室筒,其特征在于:還包括用于控制所述定位燈(3)啟閉的微動開關,所述微動開關與單晶爐的控制系統通訊連接,用于在所述副室筒打開時控制所述定位燈(3)開啟。
9.一種取晶系統,其特征在于,包括根據權利要求1-8任一項所述的用于單晶爐的副室筒和取晶車,所述取晶車包括豎直設置的支臂(5)以及滑動設置在所述支臂(5)上的托盤(6),所述托盤(6)相對于所述支臂(5)可上下滑動,所述托盤(6)位于所述基準面P2上并且所述定位燈(3)的射線與所述托盤(6)的交點位于所述托盤(6)的中心。
10.根據權利要求9所述的取晶系統,其特征在于,所述支臂(5)上設置有刻度,通過所述刻度確定所述托盤(6)位于所述基準面P2上。
...【技術特征摘要】
1.一種用于單晶爐的副室筒,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的副室筒,其特征在于:所述固定件(201)包括支座,所述支座固定連接于所述筒體(1)的外側壁上,所述活動件(202)的一端與所述支座鉸接,所述定位燈(3)設置于所述活動件(202)的自由端。
3.根據權利要求2所述的副室筒,其特征在于:所述支座包括底板(2011)和兩塊設置于所述底板(2011)上的第一連接片(2012);
4.根據權利要求3所述的副室筒,其特征在于:所述活動件(202)包括第一調節部(2021)和第二調節部(2022),所述第一調節部(2021)的一端與所述支座鉸接,所述第二調節部(2022)與所述第一調節遠離所述支座的一端鉸接,所述定位燈(3)設置于所述第二調節部(2022)遠離所述第一調節部(2021)的一端上。
5.根據權利要求4所述的副室筒,其特征在于:所述第一調節部(2021)包括兩個第一調節桿(20211),兩個所述第一調節桿(20211)的第一端分別通過銷軸鉸接于兩個所述第一連接片(2012),兩個所述第一調節桿(20211)的第二端分別通過銷軸鉸接于兩個第二連接片(2023)之間,且兩個所述第一調節桿(20211)相互平行。
6.根據權...
【專利技術屬性】
技術研發人員:崔曉東,岳瑞存,李杰濤,
申請(專利權)人:包頭晶澳太陽能科技有限公司,
類型:新型
國別省市:
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