【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及廢氣處理?，尤其涉及一種反應(yīng)腔刮刀及反應(yīng)腔。
技術(shù)介紹
1、隨著泛半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，在生產(chǎn)過程中不可避免地會產(chǎn)生大量廢氣（nf3、ph3、b2h6、sih4等），這些廢氣多數(shù)比空氣重，如果排放進大氣，經(jīng)過蔓延后會沉積在地面，并達(dá)到很高的濃度，造成嚴(yán)重的環(huán)境污染，危害人體健康。如若遇明火或其他引火源，將會造成火災(zāi)甚至爆炸事故。為了避免廢氣對人體和環(huán)境造成的危害，采用廢氣處理系統(tǒng)對泛半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的廢氣進行處理。
2、現(xiàn)有廢氣處理系統(tǒng)在使用過程中，易出現(xiàn)粉塵堵塞反應(yīng)腔，導(dǎo)致系統(tǒng)停止運行，從而降低系統(tǒng)工作效率。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)提供一種反應(yīng)腔刮刀及反應(yīng)腔，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中易出現(xiàn)粉塵堵塞反應(yīng)腔而降低工作效率的缺陷。
2、本專利技術(shù)提供一種反應(yīng)腔刮刀，其特征在于，包括：
3、刮刀安裝座，所述刮刀安裝座呈環(huán)狀，所述刮刀安裝座內(nèi)部形成安裝空間；
4、刮刀組件，包括刮刀安裝部件、進氣口刮刀板和內(nèi)壁刮刀板，所述刮刀安裝部件轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述安裝空間，所述刮刀安裝部件形成有過氣通道；所述內(nèi)壁刮刀板連接于所述刮刀安裝部件的第一側(cè)，所述內(nèi)壁刮刀板適于抵靠反應(yīng)腔的反應(yīng)室內(nèi)壁，所述進氣口刮刀板連接于所述刮刀安裝部件的第二側(cè)，所述進氣口刮刀板適于抵靠于反應(yīng)腔的進氣口；
5、驅(qū)動組件，連接于所述刮刀安裝部件，以驅(qū)動所述刮刀安裝部件轉(zhuǎn)動。
6、根據(jù)本專利技術(shù)提供的一種反應(yīng)腔刮刀，所述刮刀安裝部件包括轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述安
7、驅(qū)動件，設(shè)置于所述刮刀安裝座；
8、驅(qū)動連桿，滑動設(shè)置于所述刮刀安裝座，并連接于所述驅(qū)動件的輸出；
9、第一手指部件，所述第一手指部件具有與所述傳動齒配合的第一卡接部，所述驅(qū)動件用于驅(qū)動所述驅(qū)動連桿帶動所述第一手指部件運動，以推動所述刮刀安裝板正向旋轉(zhuǎn)。
10、根據(jù)本專利技術(shù)提供的一種反應(yīng)腔刮刀，所述第一手指部件包括：
11、第一手指件，轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述驅(qū)動連桿，所述第一手指件具有所述第一卡接部；
12、第一彈性件，設(shè)置于所述第一手指件和所述驅(qū)動連桿之間，在所述驅(qū)動件推動所述刮刀安裝板正向旋轉(zhuǎn)過程，所述第一彈性件用于使所述第一卡接部貼合于所述傳動齒。
13、根據(jù)本專利技術(shù)提供的一種反應(yīng)腔刮刀，還包括設(shè)置于所述刮刀安裝座的限位組件，所述限位組件用于限制所述刮刀安裝板反向旋轉(zhuǎn)。
14、根據(jù)本專利技術(shù)提供的一種反應(yīng)腔刮刀，所述限位組件包括：
15、限位連桿，穿設(shè)于所述刮刀安裝座，所述限位連桿和所述驅(qū)動連桿沿所述刮刀安裝座周向間隔布置；
16、第二手指部件，包括第二手指件和第二彈性件，所述第二手指件轉(zhuǎn)動連接于所述限位連桿，所述第二手指件具有與所述傳動齒配合的第二卡接部；所述第二彈性件設(shè)置于所述第二手指部件和所述限位連桿之間。
17、根據(jù)本專利技術(shù)提供的一種反應(yīng)腔刮刀，所述安裝空間內(nèi)形成有第一臺階面，所述刮刀安裝部件還包括設(shè)置于所述第一臺階面的球形承壓件，所述刮刀安裝板支撐于所述球形承壓件，和/或，
18、所述刮刀安裝部件還包括設(shè)置于所述刮刀安裝板的導(dǎo)向件，所述導(dǎo)向件與所述刮刀安裝座的內(nèi)環(huán)面相抵靠。
19、根據(jù)本專利技術(shù)提供的一種反應(yīng)腔刮刀，所述進氣口刮刀板包括第一刮刀段和第二刮刀段，所述第一刮刀段沿所述刮刀安裝部件的徑向布置，所述第二刮刀段設(shè)置于所述第一刮刀段遠(yuǎn)離所述刮刀安裝部件中心的一端，所述第一刮刀段和所述第二刮刀段之間具有第一預(yù)設(shè)夾角，且所述第二刮刀段遠(yuǎn)離所述第一刮刀段的一端遠(yuǎn)離所述刮刀安裝部件中心。
20、根據(jù)本專利技術(shù)提供的一種反應(yīng)腔刮刀，所述進氣口刮刀板為周向布置的多個。
21、根據(jù)本專利技術(shù)提供的一種反應(yīng)腔刮刀，所述內(nèi)壁刮刀板為周向布置的多個。
22、根據(jù)本專利技術(shù)提供的一種反應(yīng)腔刮刀，多個所述內(nèi)壁刮刀板遠(yuǎn)離所述刮刀安裝部件的一端通過刮刀底環(huán)連接。
23、本專利技術(shù)還提供一種反應(yīng)腔，包括反應(yīng)本體和上述任意一項所述的反應(yīng)腔刮刀；
24、所述反應(yīng)本體形成有反應(yīng)室；
25、所述刮刀安裝座設(shè)置于所述反應(yīng)本體，且所述內(nèi)壁刮刀板抵靠所述反應(yīng)室內(nèi)壁，所述進氣口刮刀板抵靠于反應(yīng)腔的進氣口。
26、本專利技術(shù)提供的反應(yīng)腔刮刀，通過刮刀安裝座設(shè)置于反應(yīng)本體，驅(qū)動組件驅(qū)動刮刀安裝座上的刮刀安裝部件轉(zhuǎn)動，以帶動刮刀安裝部件上的進氣口刮刀板和內(nèi)壁刮刀板同步轉(zhuǎn)動，內(nèi)壁刮刀板去除反應(yīng)室內(nèi)壁堆積的粉塵，進氣口刮刀板去除進氣口處堆積的粉塵，從而避免反應(yīng)室和進氣口堵塞引起的停機，進而提高設(shè)備工作效率。
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1.一種反應(yīng)腔刮刀，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔刮刀，其特征在于，所述刮刀安裝部件包括轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述安裝空間的刮刀安裝板，所述刮刀安裝板的外周面具有傳動齒；所述驅(qū)動組件包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的反應(yīng)腔刮刀，其特征在于，所述第一手指部件包括：
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的反應(yīng)腔刮刀，其特征在于，還包括設(shè)置于所述刮刀安裝座的限位組件，所述限位組件用于限制所述刮刀安裝板反向旋轉(zhuǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的反應(yīng)腔刮刀，其特征在于，所述限位組件包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的反應(yīng)腔刮刀，其特征在于，所述安裝空間內(nèi)形成有第一臺階面，
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項所述的反應(yīng)腔刮刀，其特征在于，所述進氣口刮刀板包括第一刮刀段和第二刮刀段，所述第一刮刀段沿所述刮刀安裝部件的徑向布置，所述第二刮刀段設(shè)置于所述第一刮刀段遠(yuǎn)離所述刮刀安裝部件中心的一端，所述第一刮刀段和所述第二刮刀段之間具有第一預(yù)設(shè)夾角，且所述第二刮刀段遠(yuǎn)離所述第一刮刀段的一端遠(yuǎn)離所述刮刀安裝部件中心。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的反應(yīng)腔刮刀，其特征在于，多個所述內(nèi)壁刮刀板遠(yuǎn)離所述刮刀安裝部件的一端通過刮刀底環(huán)連接。
10.一種反應(yīng)腔，其特征在于，包括反應(yīng)本體和如權(quán)利要求1至9中任意一項所述的反應(yīng)腔刮刀；
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種反應(yīng)腔刮刀，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔刮刀，其特征在于，所述刮刀安裝部件包括轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述安裝空間的刮刀安裝板，所述刮刀安裝板的外周面具有傳動齒；所述驅(qū)動組件包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的反應(yīng)腔刮刀，其特征在于，所述第一手指部件包括：
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的反應(yīng)腔刮刀，其特征在于，還包括設(shè)置于所述刮刀安裝座的限位組件，所述限位組件用于限制所述刮刀安裝板反向旋轉(zhuǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的反應(yīng)腔刮刀，其特征在于，所述限位組件包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的反應(yīng)腔刮刀，其特征在于，所述安裝空間內(nèi)形成有第一臺階面，
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：章文軍，張坤，王繼飛，閆瀟，許信，
申請(專利權(quán))人：北京京儀自動化裝備技術(shù)股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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