【技術實現步驟摘要】
本公開涉及激光加工裝置。
技術介紹
1、在專利文獻1(日本特開2021－109183號公報)中記載有一種激光加工裝置，沿著在表面上形成有包括金屬膜的層疊膜的被加工物即晶片的分割預定線實施激光加工。該裝置具有激光光源和聚光透鏡單元，該聚光透鏡單元包括將從激光光源射出的激光在晶片上聚光的聚光透鏡和收納聚光透鏡的聚光透鏡支架。
2、另外，在聚光透鏡支架的側面形成有兩個冷卻空氣供給口。在各個冷卻空氣供給口連接有供給連接器，在供給連接器連接有空氣供給裝置。
技術實現思路
1、在上述專利文獻1中記載了當利用空氣供給裝置供給空氣時，該空氣經由兩個冷卻空氣供給口向聚光透鏡供給，在聚光透鏡的周圍呈螺旋狀循環來對聚光透鏡進行冷卻。另外，冷卻聚光透鏡后的空氣在冷卻了聚光透鏡保護板之后，通過激光噴嘴的激光通過孔，被引導至加工點。這樣，在專利文獻1所記載的激光加工裝置中，聚光透鏡的冷卻用的空氣通過激光噴嘴的激光通過孔被引導至加工點。
2、但是，近年來，在激光加工中，根據用于提高生產節拍的多焦點加工等各種加工要求，激光被高輸出化。因此，為了抑制高輸出化的激光產生的聚光透鏡的發熱的問題，要求冷卻聚光透鏡。因此，如上述專利文獻1所記載的激光加工裝置那樣，考慮向聚光透鏡供給冷卻用空氣。
3、另一方面，要求抑制由于對晶片照射激光而在晶片上產生的碎屑附著于聚光透鏡中的激光的射出部。因此，期望也對激光的射出部供給保護用的空氣等氣體。但是，當供給到射出部的氣體與例如功率計接觸而冷卻功率計
4、但是，在上述專利文獻1所記載的激光加工裝置中，雖然向激光噴嘴的射出部(激光通過孔)供給空氣，但該空氣與聚光透鏡的冷卻用的空氣共用。因此，當以在規定的定時停止空氣向射出部的供給的方式進行空氣的流量調節時，也停止聚光透鏡的冷卻。當在停止了聚光透鏡的冷卻的狀態下進行激光的射出時，聚光透鏡的發熱對加工結果造成不良影響。
5、因此，在上述那樣的激光加工裝置中，期望構成為能夠獨立地調節向激光的射出部供給的氣體。
6、因此，本公開的目的在于，提供能夠獨立地調節向激光的射出部供給的氣體的激光加工裝置。
7、本公開的激光加工裝置是[1]“一種激光加工裝置，對對象物照射激光來進行所述對象物的加工，其包括：具有聚光透鏡單元的激光加工頭，其中，該聚光透鏡單元包括用于使所述激光朝向所述對象物聚光的聚光透鏡和將所述聚光透鏡保持在內部的鏡筒；罩，其以在與所述鏡筒之間形成空間并覆蓋所述鏡筒的方式設置于所述鏡筒；用于對所述鏡筒噴射氣體的第一噴射機構；第二噴射機構，其用于至少對所述聚光透鏡單元中的所述激光的射出部噴射氣體，所述第一噴射機構包括以與所述空間連通的方式設置于所述罩的第一噴射口、通過從所述第一噴射口將氣體導入至所述空間內來對所述鏡筒噴射氣體的第一噴射部、以及用于調節所述第一噴射部中的氣體的流量的第一流量調節部，所述第二噴射機構包括設置于所述罩上且在所述聚光透鏡單元中的與所述激光的光軸交叉的方向開口的第二噴射口、從所述第二噴射口對所述射出部噴射氣體的第二噴射部、以及用于調節所述第二噴射部中的氣體的流量的第二流量調節部”。
8、在所述[1]的激光加工裝置中，激光加工頭具有包括聚光透鏡和保持聚光透鏡的鏡筒的聚光透鏡單元。利用第一噴射機構對鏡筒噴射氣體，利用第二噴射機構對聚光透鏡單元中的激光的射出部噴射氣體。更具體而言，第一噴射機構包括與設置于鏡筒的罩和鏡筒之間的空間連通的第一噴射口、和通過從第一噴射口將氣體導入至該空間內來對鏡筒噴射氣體的第一噴射部。另外，第二噴射機構包括第二噴射口和從第二噴射口對激光的射出部噴射氣體的第二噴射部。由此，實現鏡筒和鏡筒內的聚光透鏡的冷卻，并且實現保護激光的射出部以免碎屑的附著。特別是第一噴射機構包括用于調節第一噴射部的氣體的流量的第一流量調節部，第二噴射機構包括用于調節第二噴射部的氣體的流量的第二流量調節部。因此，能夠與由第一噴射部進行的氣體的供給獨立地調節由第二噴射部進行的氣體向激光的射出部的供給。此外，第二噴射口在聚光透鏡單元中的與激光的光軸交叉的方向開口。因此，避免了在第二噴射部進行氣體的噴射的狀態下，從第二噴射口噴射的氣體直接沿光軸方向流通，并接觸與聚光透鏡單元相對配置的對象物和功率計等的情況。
9、本公開的激光加工裝置也可以是[2]“根據所述[1]所記載的激光加工裝置，其中，所述第二噴射機構包括以與所述空間連通的方式設置于所述罩的第三噴射口，所述第二噴射部從所述第三噴射口將氣體導入至所述空間內來對所述鏡筒噴射氣體，并且經由所述第二噴射口從所述空間導出氣體來對所述射出部噴射氣體”。在該[2]的激光加工裝置中，從與罩和鏡筒之間的空間連通的第三噴射口對該空間內導入并噴射到鏡筒的氣體經由第二噴射口從該空間導出并噴射到射出部。因此，對向激光的射出部供給的氣體賦予鏡筒和鏡筒內的聚光透鏡的冷卻功能，能夠進行更有效的冷卻。
10、本公開的激光加工裝置也可以是[3]“根據所述[1]所記載的激光加工裝置，其中，所述第二噴射口與所述空間隔開間隔地設置于所述罩，所述第二噴射部從所述第二噴射口不經由所述空間地對所述射出部噴射氣體”。根據該[3]的激光加工裝置，能夠明確區分由第一噴射機構的氣體的噴射進行的鏡筒和聚光透鏡的冷卻、以及由第二噴射機構的氣體的噴射進行的激光的射出部的保護。
11、本公開的激光加工裝置也可以是[4]“根據所述[1]～[3]中任一項所記載的激光加工裝置，其中，所述第一噴射部和所述第二噴射部噴射來自同一供給源的氣體”。根據該[4]的激光加工裝置，能夠通過更簡單的結構，實現鏡筒和聚光透鏡的冷卻以及激光的射出部的保護。
12、本公開的激光加工裝置也可以是[5]“根據所述[1]～[4]中任一項所記載的激光加工裝置，其中，所述射出部包括覆蓋所述聚光透鏡的所述激光的射出面的保護罩。”。根據該[5]的激光加工裝置，能夠可靠地保護聚光透鏡的激光的射出面。
13、本公開的激光加工裝置也可以是[6]“根據所述[1]～[5]中任一項所記載的激光加工裝置，其中，具有控制部，所述控制部實施如下處理：從所述射出部射出激光并用與射出部相對配置的功率計測量激光的功率的功率測量處理；和在實施所述功率測量處理之前或實施所述功率測量處理時，控制所述第二流量調節部以降低所述第二噴射部中的氣體的流量的流量降低處理”。根據該[6]的激光加工裝置，在利用與激光的射出部相對配置的功率計測量激光的功率時，降低被該射出部噴射的氣體的流量。由此，抑制該氣體與功率計接觸而冷卻功率計所引起的測量誤差的產生。
14、本公開的激光加工裝置也可以是[7]“根據所述[6]所記載的激光加工裝置，其中，所述控制部實施如下處理：在所述流量降低處理之后從所述射出部射出所述激光，來進行與所述射出部相對配置的所述對象物的加工的加工處理：和在所述流量降低處理之后、且本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種激光加工裝置，對對象物照射激光來進行所述對象物的加工，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于：
3.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于：
4.根據權利要求1～3中任一項所述的激光加工裝置，其特征在于：
5.根據權利要求1～4中任一項所述的激光加工裝置，其特征在于：
6.根據權利要求1～5中任一項所述的激光加工裝置，其特征在于：
7.根據權利要求6所述的激光加工裝置，其特征在于：
8.根據權利要求7所述的激光加工裝置，其特征在于：
9.根據權利要求7或8所述的激光加工裝置，其特征在于：
10.根據權利要求9所述的激光加工裝置，其特征在于：
【技術特征摘要】
1.一種激光加工裝置，對對象物照射激光來進行所述對象物的加工，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于：
3.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于：
4.根據權利要求1～3中任一項所述的激光加工裝置，其特征在于：
5.根據權利要求1～4中任一項所述的激光加工裝置，其...
【專利技術屬性】
技術研發人員：坂本剛志，是松克洋，荻原孝文，
申請(專利權)人：浜松光子學株式會社，
類型：發明
國別省市：
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