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    一種太陽能電池硅片真空烘干設備制造技術

    技術編號:44111365 閱讀:7 留言:0更新日期:2025-01-24 22:36
    本技術公開一種太陽能電池硅片真空烘干設備,屬于太陽能電池烘干技術領域,通過設置串聯連接的多個加熱腔體依次為前預加熱腔、恒溫低壓真空爐、后降溫處理腔,樣品電池通過自動化其他配件放置于自動化運輸線,并通過上下料機構依次被送至各箱體內,以便使得樣品電池在各箱體內依次完成烘烤過程中的各個階段。通過多行并列設置對腔體在垂直方向進行腔室逐行加熱,通過冷熱空氣上下流通保證在垂直方向方位內溫差極大的縮小,縮小樣品電池在恒溫低壓真空爐中的垂直方向盡可能的縮小溫差,提升大批量太陽能電池生產的良品率,并確保樣品電池不會因溫度分布不均導致同批次樣品差異化。

    【技術實現步驟摘要】

    本技術屬于太陽能電池烘干,具體涉及一種太陽能電池硅片真空烘干設備


    技術介紹

    1、傳統的化石能源儲備日益減少,對環境造成的危害日益突出,目前光伏發電已經成為了一種可替代化石能源的技術。目前來說第一代太陽能電池,包括單晶、多晶和非晶硅太陽能電池;這類電池發展較為成熟,已在商業和民用領域得到廣泛應用,第二代太陽能電池主要是化合物半導體太陽能電池;這類電池具有較高的理論轉化效率,但生產成本較高,難以民用化,通常只用于航空航天、軍事等領域。第三代太陽能電池也被稱為新型太陽能電池,主要包括無機、有機薄膜太陽能電池,染料敏化、量子點敏化太陽能電池和鈣鈦礦太陽能電池。

    2、在對現有技術工藝的研究和實踐當中,本專利技術人發現,針對太陽能電池生產過程中金屬化部分的固化以及干燥部分,由于烘干溫度過高會影響電池性能,溫度過低卻又無法完全處理柵線存在的有機溶劑,在烘干的時候由于熱量的傳遞不均勻同樣會導致電池的烘干不均勻,導致器件的結構出現缺陷,影響器件的性能及穩定性。因此,如何在提高烘干效率的同時降低由于烘干工藝對電池性能的影響尤為重要。


    技術實現思路

    1、為了解決上述問題,本技術的目的在于提供一種太陽能電池硅片真空烘干設備,在獲得高性能太陽電池的前提下,優化了生產和制造工藝,大大降低了成本和能耗。

    2、本技術是通過以下技術方案來實現:

    3、本技術提出了一種太陽能電池硅片真空烘干設備,包括多個加熱腔體、供氣機構、自動化機構、排氣機構,所述多個加熱腔體的每個加熱腔體內部包括有加熱機構,所述供氣機構以及排氣機構分別固定連接在所述多個加熱腔體的兩端,所述自動化機構貫穿所述多個加熱腔體并位于每個所述加熱機構的下方,所述加熱腔體的每個腔體之間由密封機構所連接。

    4、在一個實施例中,所述多個加熱腔體包括依次連接的前預加熱腔、恒溫低壓真空爐、后降溫處理腔,在所述前預加熱腔、恒溫低壓真空爐、后降溫處理腔的加熱腔體內部均設置有加熱機構,所述自動化機構依次貫穿所述前預加熱腔、恒溫低壓真空爐、后降溫處理腔,位于每個所述加熱機構的下方位置處,所述前預加熱腔、恒溫低壓真空爐、后降溫處理腔的連接處還設置有氣密閥,用于加熱腔體的密封隔離,保證每個加熱腔體可以保持各自的溫度以及壓力情況。

    5、在一個實施例中,所述多個加熱腔體的相鄰兩個腔體體通過密封機構進行連接,密封機構可以通過開合來控制所述多個加熱腔體的相鄰兩個腔體之間的連通或隔離。所述密封機構由所述進料密封門閥一、出料密封門閥一、進料密封門閥二、出料密封門閥二、進料密封門閥三、出料密封門閥三組成,所述進料密封門閥一設置在所述前預加熱腔的進料端,所述出料密封門閥三設置在后降溫處理腔的出料端;前預加熱腔與恒溫低壓真空爐之間有出料密封門閥一與進料密封門閥二連接,恒溫低壓真空爐與后降溫處理腔之間有出料密封門閥二與進料密封門閥三連接。具體的,相互配合的密封門閥之間可以通過加裝真空壓力計進行更良好的密閉配合。所述進料密封門閥一、出料密封門閥一、進料密封門閥二、出料密封門閥二、進料密封門閥三、出料密封門閥三可以是自動抽插式門閥也可以是上下抽插式門閥,同時需要有相對應的密閉硅膠以及密閉層,進而便于開關,當門閥關閉后,前預加熱腔、恒溫低壓真空爐、后降溫處理腔均是獨立密閉的。

    6、在一個實施例中,供氣機構包含所述供氣主體罐、氣體存儲箱、吸氣過渡箱、氣體控制電磁裝置、供氣plc總控制器、非恒壓氣流控制器、恒壓氣流控制器、非恒壓氣流電磁閥、恒壓氣流電磁閥。

    7、在一個實施例中,所述供氣主體罐內部設置有氣體存儲箱、吸氣過渡箱、氣體控制電磁裝置。具體的,所述氣體存儲箱通過多條輸氣管道與多個氣體控制電磁裝置分別相連,并最終連接至多個加熱腔體。具體的,所述氣體存儲箱與吸氣過渡箱相連,所述吸氣過渡箱與設備外部相連通,從而可以從外界吸收氣體,進入氣體儲存箱之后再依次分配給每一個氣體控制電磁裝置。具體的,所述吸氣過渡箱可以外置輸氣泵、壓縮空氣泵、惰性氣體罐、工業制氣系統等,具體外置裝置在此不做約束,對吸氣過渡箱進行氣體供應,以便進行設備內部氣體穩定供應。

    8、在一個實施例中,供氣機構還包含所述供氣plc總控制器、非恒壓氣流控制器、恒壓氣流控制器、非恒壓氣流電磁閥、恒壓氣流電磁閥。具體的,所述供氣plc總控制器與非恒壓氣流控制器、恒壓氣流控制器、非恒壓氣流電磁閥、恒壓氣流電磁閥電性連接,通過供氣plc總控制器協同外置工控主機進行統一操作,同時可以對供氣機構的氣壓控制、氣流約束以及其他機構配合進行有效統一管理。具體的,供氣主體罐分別通過輸氣管道與非恒壓氣流控制器、恒壓氣流控制器相連,非恒壓氣流控制器設置多個分別控制前預加熱腔以及后降溫處理腔,恒壓氣流控制器通過輸氣管道與恒溫低壓真空爐連接。

    9、在一個實施例中,所述多個加熱腔體由所述自動化機構貫穿連接,所述自動化機構包括依次連接的上料運輸線延展線、上料運輸線、高溫運輸線、下料運輸線、下料運輸延展線;上料運輸線延展線位于前預加熱腔進料端的外部,上料運輸線位于前預加熱腔內部,高溫運輸線位于恒溫低壓真空爐內部,下料運輸線位于后降溫處理腔內部,下料運輸延展線位于后降溫處理腔出料端的外部。

    10、在一個實施例中,排氣機構包含所述預加熱腔通風管、高溫氣流控制閥、降溫腔通風管、恒溫爐通風管、恒壓排氣處理腔、排氣plc總控制器、降溫腔氣密閥、恒壓低壓氣密閥、排氣隔熱層、加熱腔氣密閥、降溫腔氣流檢測控制器、恒壓低壓氣流檢測控制器、加熱腔氣流檢測控制器、預加熱排氣處理腔、降溫排氣處理腔。

    11、在一個實施例中,所述預加熱腔通風管、降溫腔通風管、恒溫爐通風管管內均有設置可統一控制或分別控制的高溫氣流控制閥。具體的,所述預加熱腔通風管與所述預加熱排氣處理腔相連,所述降溫腔通風管與所述降溫排氣處理腔相連,所述恒溫爐通風管設置一個或多個與所述恒壓排氣處理腔相連。具體地,所述預加熱腔通風管、降溫腔通風管、恒溫爐通風管管分別與外界空氣連通,從而可以使得設備內部的氣體通過這三個通風管排出。具體的,所述排氣隔熱層中設置有所述恒壓處理腔、預加熱排氣處理腔、降溫排氣處理腔,并且每個處理腔位置相互獨立,結構相互獨立,溫度以及氣壓保護相互獨立。

    12、在一個實施例中,所述排氣plc總控制器與高溫氣流控制閥、降溫腔氣密閥、恒壓低壓氣密閥、加熱腔氣密閥、降溫腔氣流檢測控制器、恒壓低壓氣流檢測控制器、加熱腔氣流檢測控制器電性連接,通過排氣plc總控制器協同外置工控主機進行統一操作,同時可以對排氣機構的氣壓控制、氣流約束以及其他機構配合進行有效統一管理。具體的,預加熱排氣處理腔通過輸氣管道、加熱腔氣流檢測控制器以及加熱腔氣密閥與前預加熱腔連接,從而將可以實現所述前預加熱腔與外界的交流;恒壓排氣處理腔通過輸氣管道、恒壓低壓氣流檢測控制器以及恒壓低壓氣密閥與恒溫低壓真空爐連接,從而將可以實現所述恒溫低壓真空爐與外界的交流;降溫排氣處理腔通過輸氣管道、降溫腔氣流檢測控制器以及降溫腔氣密閥與后降溫處理腔連接,從而本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,包括多個加熱腔體、供氣機構、自動化機構、排氣機構,所述多個加熱腔體的每個加熱腔體內部包括有加熱機構,所述供氣機構以及排氣機構分別固定連接在所述多個加熱腔體的兩端,所述自動化機構貫穿所述多個加熱腔體并位于每個所述加熱機構的下方,所述加熱腔體的每個腔體之間由密封機構所連接。

    2.根據權利要求1所述的太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,所述多個加熱腔體包括依次連接的前預加熱腔、恒溫低壓真空爐、后降溫處理腔,在所述前預加熱腔、恒溫低壓真空爐、后降溫處理腔的加熱腔體內部均設置有加熱機構;所述自動化機構依次貫穿所述前預加熱腔、恒溫低壓真空爐、后降溫處理腔,位于每個所述加熱機構的下方位置處。

    3.根據權利要求2所述的太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,所述多個加熱腔體的相鄰兩個腔體通過密封機構進行連接,密封機構通過開合來控制所述多個加熱腔體的相鄰兩個腔體之間的連通或隔離。

    4.根據權利要求3所述的太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,所述密封機構由進料密封門閥一、出料密封門閥一、進料密封門閥二、出料密封門閥二、進料密封門閥三、出料密封門閥三組成;所述進料密封門閥一設置在所述前預加熱腔的進料端,所述出料密封門閥三設置在后降溫處理腔的出料端;前預加熱腔與恒溫低壓真空爐之間有出料密封門閥一與進料密封門閥二連接,恒溫低壓真空爐與后降溫處理腔之間有出料密封門閥二與進料密封門閥三連接。

    5.根據權利要求2所述的太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,所述供氣機構包含供氣主體罐、氣體存儲箱、吸氣過渡箱、氣體控制電磁裝置、供氣PLC總控制器、非恒壓氣流控制器、恒壓氣流控制器、非恒壓氣流電磁閥、恒壓氣流電磁閥。

    6.根據權利要求5所述的太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,所述供氣主體罐內部設置有所述氣體存儲箱、吸氣過渡箱、氣體控制電磁裝置;所述氣體存儲箱通過多條輸氣管道與多個氣體控制電磁裝置分別相連,并最終連接至多個加熱腔體。

    7.根據權利要求6所述的太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,所述供氣PLC總控制器與非恒壓氣流控制器、恒壓氣流控制器、非恒壓氣流電磁閥、恒壓氣流電磁閥電性連接;供氣主體罐分別通過輸氣管道與非恒壓氣流控制器、恒壓氣流控制器相連,非恒壓氣流控制器設置多個分別控制前預加熱腔以及后降溫處理腔,恒壓氣流控制器通過輸氣管道與恒溫低壓真空爐連接。

    8.根據權利要求2所述的太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,所述自動化機構包括依次連接的上料運輸線延展線、上料運輸線、高溫運輸線、下料運輸線、下料運輸延展線;上料運輸線延展線位于前預加熱腔進料端的外部,上料運輸線位于前預加熱腔內部,高溫運輸線位于恒溫低壓真空爐內部,下料運輸線位于后降溫處理腔內部,下料運輸延展線位于后降溫處理腔出料端的外部。

    9.根據權利要求2所述的太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,所述排氣機構包含預加熱腔通風管、高溫氣流控制閥、?降溫腔通風管、恒溫爐通風管、恒壓排氣處理腔、排氣PLC總控制器、降溫腔氣密閥、恒壓低壓氣密閥、排氣隔熱層、加熱腔氣密閥、降溫腔氣流檢測控制器、恒壓低壓氣流檢測控制器、加熱腔氣流檢測控制器、預加熱排氣處理腔、降溫排氣處理腔。

    10.根據權利要求9所述的太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,所述預加熱腔通風管與所述預加熱排氣處理腔相連,所述降溫腔通風管與所述降溫排氣處理腔相連,所述恒溫爐通風管設置一個或多個與所述恒壓排氣處理腔相連;所述排氣PLC總控制器與高溫氣流控制閥、降溫腔氣密閥、恒壓低壓氣密閥、加熱腔氣密閥、降溫腔氣流檢測控制器、恒壓低壓氣流檢測控制器、加熱腔氣流檢測控制器電性連接,通過排氣PLC總控制器協同外置工控主機進行統一操作;預加熱排氣處理腔通過輸氣管道、加熱腔氣流檢測控制器以及加熱腔氣密閥與前預加熱腔連接,恒壓排氣處理腔通過輸氣管道、恒壓低壓氣流檢測控制器以及恒壓低壓氣密閥與恒溫低壓真空爐連接,降溫排氣處理腔通過輸氣管道、降溫腔氣流檢測控制器以及降溫腔氣密閥與后降溫處理腔連接。

    11.根據權利要求2所述的太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,加熱機構包含所述恒溫恒壓加熱源、升溫加熱源、降溫冷卻源、傳輸組件;所述升溫加熱源沿前預加熱腔兩側垂直分布,由多個加熱源單元沿著上料運輸線上方垂直的方向疊合而成;恒溫恒壓加熱源沿恒溫低壓真空爐兩側垂直分布,由多個加熱源單元沿著高溫運輸線上方垂直的方向疊合而成;降溫冷卻源沿后降溫處理腔兩側垂直分布,由多個加熱源單元沿著下料運輸線上方垂直的方向疊合而成。

    12.根據權利要求11所述的太陽能電池硅片真空烘干...

    【技術特征摘要】

    1.一種太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,包括多個加熱腔體、供氣機構、自動化機構、排氣機構,所述多個加熱腔體的每個加熱腔體內部包括有加熱機構,所述供氣機構以及排氣機構分別固定連接在所述多個加熱腔體的兩端,所述自動化機構貫穿所述多個加熱腔體并位于每個所述加熱機構的下方,所述加熱腔體的每個腔體之間由密封機構所連接。

    2.根據權利要求1所述的太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,所述多個加熱腔體包括依次連接的前預加熱腔、恒溫低壓真空爐、后降溫處理腔,在所述前預加熱腔、恒溫低壓真空爐、后降溫處理腔的加熱腔體內部均設置有加熱機構;所述自動化機構依次貫穿所述前預加熱腔、恒溫低壓真空爐、后降溫處理腔,位于每個所述加熱機構的下方位置處。

    3.根據權利要求2所述的太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,所述多個加熱腔體的相鄰兩個腔體通過密封機構進行連接,密封機構通過開合來控制所述多個加熱腔體的相鄰兩個腔體之間的連通或隔離。

    4.根據權利要求3所述的太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,所述密封機構由進料密封門閥一、出料密封門閥一、進料密封門閥二、出料密封門閥二、進料密封門閥三、出料密封門閥三組成;所述進料密封門閥一設置在所述前預加熱腔的進料端,所述出料密封門閥三設置在后降溫處理腔的出料端;前預加熱腔與恒溫低壓真空爐之間有出料密封門閥一與進料密封門閥二連接,恒溫低壓真空爐與后降溫處理腔之間有出料密封門閥二與進料密封門閥三連接。

    5.根據權利要求2所述的太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,所述供氣機構包含供氣主體罐、氣體存儲箱、吸氣過渡箱、氣體控制電磁裝置、供氣plc總控制器、非恒壓氣流控制器、恒壓氣流控制器、非恒壓氣流電磁閥、恒壓氣流電磁閥。

    6.根據權利要求5所述的太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,所述供氣主體罐內部設置有所述氣體存儲箱、吸氣過渡箱、氣體控制電磁裝置;所述氣體存儲箱通過多條輸氣管道與多個氣體控制電磁裝置分別相連,并最終連接至多個加熱腔體。

    7.根據權利要求6所述的太陽能電池硅片真空烘干設備,其特征在于,所述供氣plc總控制器與非恒壓氣流控制器、恒壓氣流控制器、非恒壓氣流電磁閥、恒壓氣流電磁閥電性連接;供氣主體罐分別通過輸氣管道與非恒壓氣流控制器、恒壓氣流控制器相連,非恒壓氣流控制器設置多個分別控制前預加熱腔以及后降溫處理腔,恒壓...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:請求不公布姓名,請求不公布姓名,請求不公布姓名沈曉偉,易海芒,請求不公布姓名,
    申請(專利權)人:深圳黑晶光電技術有限公司,
    類型:新型
    國別省市:

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