【技術實現步驟摘要】
本申請涉及半導體裝備領域，特別是涉及一種光路校準系統、方法。
技術介紹
1、半導體鍵合是先進封裝工藝中的關鍵一環。成像光學系統是對位鍵合的核心部件，其識別精度與系統對位精度決定了設備的鍵合精度。
2、圖1為晶圓標記識別與鍵合步驟，包括上晶圓和下晶圓，上晶圓位于下晶圓的上方，不斷的進行上晶圓移動，下晶圓移動，并通過物鏡觀察標記是否對位完成，晶圓是否成功貼合?，F有半導體晶圓鍵合裝備的face?to?face光學系統，普遍采用上下兩組顯微系統分別識別上下晶圓標記來完成對位，通過避讓上晶圓，利用上鏡頭識下晶圓標記得出精確坐標，再通過避讓下晶圓，利用下鏡頭識別上晶圓標記得出精確坐標，標記對位完成后，再通過高精度的平臺實現移動與貼合。
3、圖2為校準片的組成結構示意圖，校準片的基本組成包括圖案和基底，圖案在校準片的上表面或內部，圖案作為前景，需要選擇合適的材料使得與背景產生對比，以便于識別，基底一般為透射率高的材料，包括但不限于石英或光學玻璃。
4、圖3為現有光學系統的光路結構，上層光路系統包括相機一、筒鏡一、反射鏡一、物鏡一，下層光路系統包括物鏡二、反射鏡二、筒鏡二和相機二。首先將一塊帶有特定圖案或標記的校準片放置在上層光路系統、下層光路系統的物面位置，可以經過物鏡一、反射鏡一、筒鏡一，成相于相機一中，也可以經過物鏡二、反射鏡二、筒鏡二，成相于相機二中，可以微調校準片位置使其位于相機一、相機二的視野中央區域，如圖4，圖4為調整校準片位于相機視野中心的示意圖。圖3的光學系統包括上層光路系統、下層光路系統，
技術實現思路
1、基于此，有必要針對上述技術問題，提供了一種光路校準系統、方法。
2、第一方面，本申請提供了一種光路校準系統，所述系統包括：
3、校準片；
4、光照組件，所述光照組件用于照亮校準片；
5、第一物鏡，所述校準片放置于所述光照組件和所述第一物鏡之間，所述校準片與所述第一物鏡同軸設置，且所述校準片位于所述第一物鏡的前焦面內；
6、分光棱鏡，位于所述第一物鏡背離所述校準片的一側，用于接收所述第一物鏡的出射光束以形成第一反射光束和第一透射光束，所述第一反射光束進入第一光路組件以成像，所述第一透射光束進入第二光路組件以成像。
7、在其中一個實施例中，所述第一光路組件包括：
8、平面反射鏡，位于所述第一反射光束的路徑上，用于將所述第一反射光束再次反射以形成第二反射光束，所述第二反射光束進入所述分光棱鏡以形成第二透射光束；
9、第一筒鏡，所述第一筒鏡位于所述第二透射光束的路徑上；
10、第一相機，所述第一相機位于第一筒鏡背離所述分光棱鏡的一側，用于接收所述第一筒鏡的出射光束以形成校準片的圖像。
11、在其中一個實施例中，所述第二光路組件包括：
12、第二物鏡，所述第二物鏡位于所述第一透射光束的路徑上；
13、第三物鏡，所述第三物鏡位于第二物鏡背離所述分光棱鏡的一側，且所述第三物鏡的前焦面和所述第二物鏡的后焦面共面；其中，所述第一物鏡、所述第二物鏡和所述第三物鏡同軸設置；
14、反射棱鏡，所述反射棱鏡位于所述第三物鏡背離所述第二物鏡的一側，用于反射來自所述第三物鏡的出射光束；
15、第二筒鏡，用于接收所述反射棱鏡的出射光束；
16、第二相機，所述第二相機位于第二筒鏡背離所述反射棱鏡的一側，用于接收所述第二筒鏡的出射光束以形成校準片的圖像。
17、在其中一個實施例中，所述系統還包括：
18、電子快門，所述電子快門放置在所述分光棱鏡和所述平面反射鏡之間。
19、在其中一個實施例中，所述系統還包括：
20、電子快門，所述電子快門放置在第一光路組件，和/或，第二光路組件中。
21、在其中一個實施例中，所述校準片朝向第一物鏡的一側表面形成有校準圖案。
22、第二方面，本申請還提供了一種光路校準方法，應用于上述任一項光路校準系統，所述方法包括：
23、打開光照組件和電子快門，使得校準片成像在第一相機和第二相機上；
24、基于所述第一相機與第二相機拍攝到的校準片的圖像，調整電子快門的曝光時間。
25、在其中一個實施例中，所述方法還包括：
26、微調校準片的位置，以使校準片上的校準圖案出現在第一相機的視野中央區域；
27、粗調第二光路組件，以使校準片上的校準圖案位于第二相機的視野中央區域。
28、在其中一個實施例中，在所述校準片上的校準圖案不能調節至所述第二相機的視野中央區域的情況下，則微調校準片的位置，以使校準片的校準圖案成像在第二相機的視野中央區域。
29、在其中一個實施例中，在使得校準片的校準圖案成像在第二相機的視野中央區域之后，再微調第一相機的位置，以使校準片的校準圖案成像在第一相機的視野中央區域。
30、上述光路校準系統，至少包括以下有益效果：
31、本公開提供的實施例方案，在第一光路組件的上方放置光照組件，光照組件用于照亮校準片，校準片位于第一物鏡的前焦面內，分光棱鏡位于第一物鏡背離所述校準片的一側，接收第一物鏡的出射光束以形成第一反射光束和第一透射光束，第一反射光束進入第一光路組件以成像，第一透射光束進入第二光路組件以成像。采用同軸互聯的方式，使兩條光路直接耦合，在光路對位上能更好地處理上下光路光軸的偏差。當光路需要校準時，打開光照組件即可看到校準片成像，且校準片內置于光路校準系統中，既不影響設備的鍵合工藝，同時也提高了光路校準效率。
32、應當理解的是，以上的一般描述和后文的細節描述僅是示例性和解釋性的，并不能限制本公開。
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1.一種光路校準系統，其特征在于，所述系統包括：
2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第一光路組件包括：
3.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第二光路組件包括：
4.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，所述系統還包括：
5.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述系統還包括：
6.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述校準片朝向第一物鏡的一側表面形成有校準圖案。
7.一種光路校準方法，其特征在于，應用于權利要求1-6任一項光路校準系統，所述方法包括：
8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：
9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，在所述校準片上的校準圖案不能調節至所述第二相機的視野中央區域的情況下，則微調校準片的位置，以使校準片的校準圖案成像在第二相機的視野中央區域。
10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，在使得校準片的校準圖案成像在第二相機的視野中央區域之后，再微調第一相機的位置，以使校準片的校準圖案成像在第一相機的
...【技術特征摘要】
1.一種光路校準系統，其特征在于，所述系統包括：
2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第一光路組件包括：
3.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第二光路組件包括：
4.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，所述系統還包括：
5.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述系統還包括：
6.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述校準片朝向第一物鏡的一側表面形成有校準圖案。
7.一種光路校準方法，其特征在于，應用...
【專利技術屬性】
技術研發人員：潘浩賢，張勤超，陳萬群，王正根，
申請(專利權)人：邁為技術珠海有限公司，
類型：發明
國別省市：
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