【技術實現步驟摘要】
本技術涉及噴霧鍍膜，具體涉及一種噴霧熱解設備。
技術介紹
1、現有的噴霧熱解設備精密度不夠，難以有效控制薄膜生長過程，包括化學反應過程、晶粒生長、元素擴散和缺陷的控制等，致使由相關設備制作出的鍍膜產品品質低劣，良品率低。究其原因，現有相關設備及設計難以精確控制溫場是導致問題產生的根本原因。
2、為此，本申請面對高品質氧化錫薄膜制備需求(包括缺陷少、厚度和晶粒尺寸分布均勻、電阻穩定、厚膜)，基于爐體的噴霧熱解原理，從溫場的嚴格控制角度出發，設計并制造了一種用于石英管外壁鍍氧化錫薄膜的高精密噴霧熱解設備，可以解決上述問題。
技術實現思路
1、為了解決上述現有技術存在的問題，本技術設計了一種噴霧熱解設備，解決了現有鍍膜設備制備氟(或銻)摻雜氧化錫薄膜晶粒時溫場不均勻導致的晶粒尺度不均勻、元素擴散不完全有偏聚、納米或微米級缺陷多、厚膜難以制作等問題，具體技術方案如下：
2、一種噴霧熱解設備，包括爐體，爐體包括對稱設置的爐體框架，兩個爐體框架的兩端通過爐體側擋板連接，爐體框架的外側設有爐體外擋板，爐體側擋板之間固定連接平行設置的爐體內擋板，爐體內擋板外側固定連接發熱板固定支架，發熱板固定支架內固定安裝碳化硅發熱板，爐體內擋板上設有與碳化硅發熱板對應的開口，碳化硅發熱板上設有熱電偶，爐體內擋板之間設有固定連接在爐體側擋板上的爐體上部收口塊，爐體上部收口塊的兩側設有與爐體框架固定連接的爐體上板；爐體上部收口塊下方對應設置爐體底部收口塊，爐體底部收口塊與l型板固定連接，爐體
3、優選的，u型框架穿過頂板設置，頂板的四角位置固定連接預制框架，預制框架的底部固定連接底板，底板上設有與u型框架連接的上頂啟動元件。
4、優選的，頂板上設有矩形開口，u型框架穿過矩形開口設置，u型框架的頂部設有用以夾持石英管的工裝夾持機構，工裝夾持機構位于頂板上方設置。
5、優選的，u型框架的兩側垂直設有滑桿，滑桿穿過頂板與固定連接在底板上的穩定框架滑動連接。
6、優選的，預制框架的頂部設有上擋板支架，上擋板支架固定連接上擋板氣缸，上擋板氣缸與用以遮蓋爐體頂部開口的上擋板固定連接，上擋板與上擋板支架滑動連接；頂板上設有下擋板支架，下擋板支架固定連接下擋板氣缸，下擋板氣缸與用以遮蓋爐體底部開口的下擋板固定連接，下擋板與上擋板支架滑動連接。
7、優選的，碳化硅發熱板表面設有耐高溫高紅外發射涂層，碳化硅發熱板包括兩側的補償發熱板和中間的恒溫發熱板。
8、優選的，爐體內對稱設置的碳化硅發熱板的間距≤10cm。
9、優選的，碳化硅發熱板內設有s型均勻盤布的電阻絲，電阻絲的螺旋環直徑為6.3cm，電阻絲的直徑為0.8mm。
10、優選的，上頂啟動元件設有多個，且平行設置在底板上。
11、優選的，爐體內部還設有隔熱板和保溫棉，保溫棉設置在隔熱板以及爐體外擋板之間，隔熱板連接發熱板固定支架。
12、與現有技術相比，本技術的有益效果是：
13、本技術通過可控的溫場設計，爐膛內溫場不均勻性控制在0.6％以內，霧化不均勻性控制在0.4％以內，采用該設備在石英管外壁制備氟或銻摻雜氧化錫薄膜，可將制膜的方阻控制在7ω/㎡以下、方阻不均勻性控制在±1％以內、膜層內無孔洞和裂紋等微觀缺陷，且在大氣中長期放置膜層電阻變化不超過4％。
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1.一種噴霧熱解設備，其特征在于，包括爐體，所述爐體包括對稱設置的爐體框架(4)，兩個所述爐體框架(4)的兩端通過爐體側擋板(2)連接，所述爐體框架(4)的外側設有爐體外擋板(1)，所述爐體側擋板(2)之間固定連接平行設置的爐體內擋板(5)，所述爐體內擋板(5)外側固定連接發熱板固定支架(6)，所述發熱板固定支架(6)內固定安裝碳化硅發熱板(7)，所述爐體內擋板(5)上設有與碳化硅發熱板(7)對應的開口，所述碳化硅發熱板(7)上設有熱電偶(8)，所述爐體內擋板(5)之間設有固定連接在所述爐體側擋板(2)上的爐體上部收口塊(3)，所述爐體上部收口塊(3)的兩側設有與爐體框架(4)固定連接的爐體上板(33)；所述爐體上部收口塊(3)下方對應設置爐體底部收口塊(9)，所述爐體底部收口塊(9)與L型板(34)固定連接，所述爐體底部收口塊(9)與所述爐體側擋板(2)上的U型缺口(35)適配，所述爐體底部收口塊(9)的兩側設有與爐體框架(4)固定連接的爐體下板；所述L型板(34)連接U型框架(10)，所述U型框架(10)底部連接上頂啟動元件(19)，所述U型框架(10)上設有噴涂裝置。>
2.根據權利要求1所述的一種噴霧熱解設備，其特征在于，所述U型框架(10)穿過頂板(20)設置，所述頂板(20)的四角位置固定連接預制框架(22)，所述預制框架(22)的底部固定連接底板(21)，所述底板(21)上設有與U型框架(10)連接的上頂啟動元件(19)。
3.根據權利要求2所述的一種噴霧熱解設備，其特征在于，所述頂板(20)上設有矩形開口(27)，所述U型框架(10)穿過矩形開口(27)設置，所述U型框架(10)的頂部設有用以夾持石英管的工裝夾持機構，所述工裝夾持機構位于頂板(20)上方設置。
4.根據權利要求1所述的一種噴霧熱解設備，其特征在于，所述U型框架(10)的兩側垂直設有滑桿(23)，所述滑桿(23)穿過頂板(20)與固定連接在底板(21)上的穩定框架(31)滑動連接。
5.根據權利要求2所述的一種噴霧熱解設備，其特征在于，所述預制框架(22)的頂部設有上擋板支架(32)，所述上擋板支架(32)固定連接上擋板氣缸(25)，所述上擋板氣缸(25)與用以遮蓋爐體頂部開口的上擋板(26)固定連接，所述上擋板(26)與上擋板支架(32)滑動連接；所述頂板(20)上設有下擋板支架(28)，所述下擋板支架(28)固定連接下擋板氣缸(29)，所述下擋板氣缸(29)與用以遮蓋爐體底部開口的下擋板(30)固定連接，所述下擋板(30)與上擋板支架(32)滑動連接。
6.根據權利要求1所述的一種噴霧熱解設備，其特征在于，所述碳化硅發熱板(7)表面設有耐高溫高紅外發射涂層，所述碳化硅發熱板(7)包括兩側的補償發熱板(71)和中間的恒溫發熱板(72)。
7.根據權利要求1所述的一種噴霧熱解設備，其特征在于，所述爐體內對稱設置的所述碳化硅發熱板(7)的間距≤10cm。
8.根據權利要求1所述的一種噴霧熱解設備，其特征在于，所述碳化硅發熱板(7)內設有S型均勻盤布的電阻絲，所述電阻絲的螺旋環直徑為6.3cm，所述電阻絲的直徑為0.8mm。
9.根據權利要求4所述的一種噴霧熱解設備，其特征在于，所述上頂啟動元件(19)設有多個，且平行設置在所述底板(21)上。
10.根據權利要求1所述的一種噴霧熱解設備，其特征在于，所述爐體內部還設有隔熱板和保溫棉，所述保溫棉設置在所述隔熱板以及所述爐體外擋板(1)之間，所述隔熱板連接發熱板固定支架(6)。
...【技術特征摘要】
1.一種噴霧熱解設備，其特征在于，包括爐體，所述爐體包括對稱設置的爐體框架(4)，兩個所述爐體框架(4)的兩端通過爐體側擋板(2)連接，所述爐體框架(4)的外側設有爐體外擋板(1)，所述爐體側擋板(2)之間固定連接平行設置的爐體內擋板(5)，所述爐體內擋板(5)外側固定連接發熱板固定支架(6)，所述發熱板固定支架(6)內固定安裝碳化硅發熱板(7)，所述爐體內擋板(5)上設有與碳化硅發熱板(7)對應的開口，所述碳化硅發熱板(7)上設有熱電偶(8)，所述爐體內擋板(5)之間設有固定連接在所述爐體側擋板(2)上的爐體上部收口塊(3)，所述爐體上部收口塊(3)的兩側設有與爐體框架(4)固定連接的爐體上板(33)；所述爐體上部收口塊(3)下方對應設置爐體底部收口塊(9)，所述爐體底部收口塊(9)與l型板(34)固定連接，所述爐體底部收口塊(9)與所述爐體側擋板(2)上的u型缺口(35)適配，所述爐體底部收口塊(9)的兩側設有與爐體框架(4)固定連接的爐體下板；所述l型板(34)連接u型框架(10)，所述u型框架(10)底部連接上頂啟動元件(19)，所述u型框架(10)上設有噴涂裝置。
2.根據權利要求1所述的一種噴霧熱解設備，其特征在于，所述u型框架(10)穿過頂板(20)設置，所述頂板(20)的四角位置固定連接預制框架(22)，所述預制框架(22)的底部固定連接底板(21)，所述底板(21)上設有與u型框架(10)連接的上頂啟動元件(19)。
3.根據權利要求2所述的一種噴霧熱解設備，其特征在于，所述頂板(20)上設有矩形開口(27)，所述u型框架(10)穿過矩形開口(27)設置，所述u型框架(10)的頂部設有用以夾持石英管的工裝夾持機構，所述工裝夾持機構位于頂板(20)上方設置。
...【專利技術屬性】
技術研發人員：周云，余庚，謝樹文，
申請(專利權)人：貴港市億諾智恒新材料科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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