【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于半導體設備，更具體地涉及一種對中工裝及對中方法。
技術介紹
1、晶圓的制造與加工通常在等離子體摻氮(decoupled?plasma?nitridation，dpn)工藝腔室中進行，其中，工藝腔室頂部設有石英天板（quartz?lid），石英天板主要用來密封工藝腔室，石英天板一般整體呈圓形，其中心處開設有一個中心孔，該中心孔用于安裝噴嘴（nozzle）。在對噴嘴與石英天板進行裝配時，通常通過操作人員的手感來完成，這樣容易使噴嘴的側壁與石英天板的中心孔的內壁發生磕碰，從而導致噴嘴的側壁或中心孔的內壁受損，同時噴嘴與石英天板的中心孔之間的間隙不易控制均勻，如果噴嘴的側壁或中心孔的內壁緊密貼合，在晶圓加工過程中，工藝腔體整體受熱，噴嘴的側壁與石英天板的中心孔的內壁會同時膨脹相互擠壓，也會導致噴嘴的側壁或中心孔的內壁受損。
2、因此，如何使噴嘴與石英天板的中心孔之間的裝配間隙均勻，避免噴嘴與石英天板裝配時發生磕碰成為了人們亟待解決的技術問題。
技術實現思路
1、基于現有技術存在的技術問題，本專利技術提供一種對中工裝及對中方法，旨在解決現有技術中的噴嘴與石英天板裝配時易發生磕碰且裝配間隙不均勻，導致噴嘴的側壁與石英天板的中心孔的內壁受損的技術問題。
2、為實現上述目的，根據本專利技術的一個方面，提供了一種對中工裝，用于石英天板組件與噴嘴組件的裝配，石英天板組件包括安裝環、限位圈以及石英天板，石英天板通過限位圈安裝于安裝環內，石英天板的中心位置設有中心孔；
3、可選地，操作口的數量為多個。
4、可選地，多個操作口沿承載底座的周向相互間隔且均勻分布。
5、可選地，操作口在承載底座的底部邊緣形成開口。
6、可選地，承載底座為中空圓筒狀結構。
7、可選地，安裝環包括環體和設置于環體周側的凸耳，凸耳沿環體徑向延伸，承載底座的側壁頂部設置有與凸耳適配的定位槽。
8、可選地，承載底座的內徑與環體的外徑相適配。
9、可選地，對中件包括筒體和沿筒體一端設置的外凸緣。
10、可選地，筒體的壁厚為1mm。
11、根據本專利技術的另一個方面，提供了一種對中方法，應用于上述的對中工裝，對中方法包括以下步驟：
12、s1.將安裝環放置于承載底座上；
13、s2.將石英天板安裝于安裝環內；
14、s3.安裝限位圈；
15、s4.將對中件從石英天板的下方向上插入石英天板的中心孔；
16、s5.將噴嘴插入對中件內；
17、s6.安裝下夾具；
18、s7.安裝進氣塊；
19、s8.安裝進氣管；
20、s9.安裝上夾具；
21、s10.移除對中件。
22、與現有技術相比，本專利技術提供的一種對中工裝及對中方法的有益效果在于：
23、通過承載底座支撐石英天板組件，通過對中件的外徑與石英天板的中心孔的內徑相同，對中件的內徑與噴嘴的外徑相同，通過承載底座的操作口將對中件從石英天板的下方向上插入石英天板的中心孔，從而實現噴嘴與石英天板的對中裝配，有效解決了噴嘴與石英天板裝配時發生磕碰且裝配間隙不均勻，導致噴嘴的側壁與石英天板的中心孔的內壁受損的問題。
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1.一種對中工裝，其特征在于，其用于石英天板組件與噴嘴組件的裝配，所述石英天板組件包括安裝環、限位圈以及石英天板，所述石英天板通過所述限位圈安裝于所述安裝環內，所述石英天板的中心位置設有中心孔；所述噴嘴組件包括噴嘴、上夾具、下夾具、進氣塊和進氣管，所述進氣管的一端與所述進氣塊連通，所述進氣塊通過所述上夾具和所述下夾具固定于所述上夾具與所述噴嘴之間；
2.根據權利要求1所述的對中工裝，其特征在于，所述操作口的數量為多個。
3.根據權利要求2所述的對中工裝，其特征在于，多個所述操作口沿所述承載底座的周向相互間隔且均勻分布。
4.根據權利要求1所述的對中工裝，其特征在于，所述操作口在所述承載底座的底部邊緣形成開口。
5.根據權利要求1所述的對中工裝，其特征在于，所述承載底座為中空圓筒狀結構。
6.根據權利要求1所述的對中工裝，其特征在于，所述安裝環包括環體和設置于所述環體周側的凸耳，所述凸耳沿所述環體徑向延伸，所述承載底座的側壁頂部設置有與所述凸耳適配的定位槽。
7.根據權利要求6所述的對中工裝，其特征在于，所述承
8.根據權利要求1所述的對中工裝，其特征在于，所述對中件包括筒體和沿所述筒體一端設置的外凸緣。
9.根據權利要求8所述的對中工裝，其特征在于，所述筒體的壁厚為1mm。
10.一種對中方法，其特征在于，應用于如權利要求1至9任一項所述的對中工裝，所述對中方法包括以下步驟：
...【技術特征摘要】
1.一種對中工裝，其特征在于，其用于石英天板組件與噴嘴組件的裝配，所述石英天板組件包括安裝環、限位圈以及石英天板，所述石英天板通過所述限位圈安裝于所述安裝環內，所述石英天板的中心位置設有中心孔；所述噴嘴組件包括噴嘴、上夾具、下夾具、進氣塊和進氣管，所述進氣管的一端與所述進氣塊連通，所述進氣塊通過所述上夾具和所述下夾具固定于所述上夾具與所述噴嘴之間；
2.根據權利要求1所述的對中工裝，其特征在于，所述操作口的數量為多個。
3.根據權利要求2所述的對中工裝，其特征在于，多個所述操作口沿所述承載底座的周向相互間隔且均勻分布。
4.根據權利要求1所述的對中工裝，其特征在于，所述操作口在所述承載底座的底部邊緣形成開口。
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【專利技術屬性】
技術研發人員：王曉晨，張建，
申請(專利權)人：盛吉盛半導體科技北京有限公司，
類型：發明
國別省市：
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