【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及載物臺(tái)，具體為一種探針臺(tái)用的具有耐高壓低漏電功能的載物臺(tái)。
技術(shù)介紹
1、探針臺(tái)是一種用于測(cè)試和測(cè)量微電子器件的設(shè)備。它通常由一個(gè)固定的基座和一個(gè)可移動(dòng)的載物臺(tái)組成，載物臺(tái)是探針臺(tái)上的一個(gè)平臺(tái)，用于支撐和固定待測(cè)試的硅片，硅片上通常有多個(gè)微電子器件，如晶體管、集成電路等，載物臺(tái)提供了一個(gè)穩(wěn)定的平面，使得探針可以準(zhǔn)確地接觸到硅片上的器件。
2、目前的載物臺(tái)的電氣接地和屏蔽功能智能運(yùn)行較低電壓的使用，在進(jìn)行超高壓使用時(shí)，例如在3千伏的高壓下，三軸連接的載物臺(tái)達(dá)不到低漏電和防擊穿的作用，并且現(xiàn)有技術(shù)中待測(cè)器件的襯底中的電流通過探針測(cè)試載物臺(tái)外泄漏電會(huì)超過50pa，存在靜電噪音，難以保證檢測(cè)的穩(wěn)定性，影響檢測(cè)結(jié)果，給實(shí)驗(yàn)檢測(cè)造成了一定的局限性，并且當(dāng)發(fā)生故障導(dǎo)致漏電時(shí)，無法及時(shí)響應(yīng)進(jìn)行斷電處理，安全性能較差。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本專利技術(shù)提供了一種探針臺(tái)用的具有耐高壓低漏電功能的載物臺(tái)，解決了上述提出的問題。
2、為實(shí)現(xiàn)以上目的，本專利技術(shù)通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種探針臺(tái)用的具有耐高壓低漏電功能的載物臺(tái)，包括與氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)相連的支撐連接塊和固定在支撐連接塊上方的支撐底座，所述支撐底座的頂部通過peek螺絲套管組合固定連接有云母層，所述云母層的上方設(shè)置有加熱盤，所述云母層的頂部通過陶瓷固定塊固定連接有陶瓷層，所述陶瓷層的頂部固定連接有吸盤，所述支撐底座的一側(cè)通過高壓絕緣套管連接件連接有高壓絕緣套管，支撐底座作為屏蔽層用于防止靜電噪
3、高壓絕緣套管的內(nèi)腔連通有與外界供電機(jī)構(gòu)連通的線纜，線纜的一端連接有位于高壓絕緣套管連接件內(nèi)腔的活動(dòng)電連接頭，所述高壓絕緣套管連接件的內(nèi)腔固定有與載物臺(tái)用電單元連接的固定電連接頭，所述活動(dòng)電連接頭與固定電連接頭插接形成電流通路，所述活動(dòng)電連接頭的表面固定連接有固定環(huán)，所述固定電連接頭的表面設(shè)置有用于對(duì)固定環(huán)施加推力的擠壓機(jī)構(gòu)；
4、所述高壓絕緣套管連接件的內(nèi)腔開設(shè)有內(nèi)凹槽，所述內(nèi)凹槽的內(nèi)腔固定連接有通過導(dǎo)線與載物臺(tái)地線串聯(lián)的電磁鐵，所述內(nèi)凹槽的內(nèi)腔滑動(dòng)連接有滑動(dòng)塊，所述滑動(dòng)塊朝向電磁鐵的一側(cè)固定連接有鐵塊，所述電磁鐵的表面套設(shè)有復(fù)位彈簧，所述復(fù)位彈簧的一端與滑動(dòng)塊固定連接，所述滑動(dòng)塊遠(yuǎn)離電磁鐵的一側(cè)固定連接有用于對(duì)固定環(huán)進(jìn)行限位的限位塊，所述限位塊的一側(cè)開設(shè)有引導(dǎo)斜面。
5、作為本專利技術(shù)進(jìn)一步的方案：所述云母層、陶瓷層和吸盤的外周均包覆有用于絕緣的四氟套，形成一個(gè)絕緣的包裹層。
6、作為本專利技術(shù)進(jìn)一步的方案：所述云母層和支撐底座之間通過支撐柱隔斷有隔熱層，通過隔熱層的設(shè)置，可以防止溫度對(duì)支撐底座產(chǎn)生影響。
7、作為本專利技術(shù)進(jìn)一步的方案：所述內(nèi)凹槽的兩側(cè)均開設(shè)有導(dǎo)向槽，所述滑動(dòng)塊的兩側(cè)均傳動(dòng)連接有與導(dǎo)向槽內(nèi)腔滾動(dòng)連接的導(dǎo)向輪，通過導(dǎo)向輪在導(dǎo)向槽內(nèi)運(yùn)動(dòng)，使得滑動(dòng)塊的運(yùn)動(dòng)更加順暢。
8、作為本專利技術(shù)進(jìn)一步的方案：擠壓機(jī)構(gòu)包括固定在固定電連接頭表面的連接環(huán)，所述連接環(huán)的一側(cè)通過滑動(dòng)槽滑動(dòng)連接有頂桿，所述頂桿的一端固定連接有與固定環(huán)的表面抵接的推板，所述頂桿的表面套設(shè)有施力彈簧，所述施力彈簧的兩端分別與推板和連接環(huán)的一側(cè)固定連接，在使用的時(shí)候施力彈簧一直對(duì)推板施加推力，使其對(duì)固定環(huán)一直用力將其向外推擠，此時(shí)復(fù)位彈簧推動(dòng)滑動(dòng)塊向外，使得限位塊一直抵接在固定環(huán)的一側(cè)，對(duì)其進(jìn)行限位，當(dāng)漏電時(shí)，地線電流通過電磁鐵通電產(chǎn)生磁力，當(dāng)達(dá)到閾值之后磁力變大，鐵塊受到吸附帶動(dòng)滑動(dòng)塊在內(nèi)凹槽內(nèi)壓縮復(fù)位彈簧運(yùn)動(dòng)，然后鐵塊與電磁鐵吸附在一起，此時(shí)限位塊收回到內(nèi)凹槽內(nèi)，固定環(huán)失去限位，在擠壓機(jī)構(gòu)的推動(dòng)下活動(dòng)電連接頭被推出與固定電連接頭斷開，快速的對(duì)載物臺(tái)進(jìn)行斷電，通過機(jī)械結(jié)構(gòu)起到了有效的保護(hù)作用，只要漏電時(shí)地線導(dǎo)電，便可快速進(jìn)行電流切斷，在通過自身結(jié)構(gòu)達(dá)到高壓低漏電的同時(shí)，即使出現(xiàn)故障導(dǎo)致漏電，也可以快速進(jìn)行斷電處理，安全性能更好，并且在斷開之后需要進(jìn)行重連時(shí)，只需推動(dòng)線纜帶動(dòng)活動(dòng)電連接頭運(yùn)動(dòng)對(duì)限位塊的引導(dǎo)斜面進(jìn)行擠壓，使其壓縮復(fù)位彈簧運(yùn)動(dòng)到內(nèi)凹槽內(nèi)，然后活動(dòng)電連接頭與固定電連接頭對(duì)插后，復(fù)位彈簧推動(dòng)限位塊伸出抵接在固定環(huán)一側(cè)，對(duì)其進(jìn)行限位，完成連接。
9、作為本專利技術(shù)進(jìn)一步的方案：所述施力彈簧和復(fù)位彈簧均為絕緣彈簧。
10、作為本專利技術(shù)進(jìn)一步的方案：所述陶瓷層和云母層之間通過四氟螺絲套管支撐。
11、本專利技術(shù)與現(xiàn)有技術(shù)相比具備以下有益效果：
12、1、本專利技術(shù)，通過吸盤作為信號(hào)層真空吸附連接在陶瓷層上，陶瓷層下絕緣螺絲連接有云母層，從而消除泄漏電流，有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中待測(cè)器件的襯底中的電流通過探針測(cè)試載物臺(tái)外泄，影響測(cè)試數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性的問題，在3千伏的高壓下，也能起到低漏電和防擊穿的作用，并且泄漏電低于50pa，支撐底座作為屏蔽層用于防止靜電噪聲對(duì)測(cè)量的影響，從而形成三軸結(jié)構(gòu)，達(dá)到高壓低漏電的目的。
13、2、本專利技術(shù)，通過機(jī)械結(jié)構(gòu)起到了有效的保護(hù)作用，只要漏電時(shí)地線導(dǎo)電，便可快速進(jìn)行電流切斷，在通過自身結(jié)構(gòu)達(dá)到高壓低漏電的同時(shí)，即使出現(xiàn)故障導(dǎo)致漏電，也可以快速進(jìn)行斷電處理，安全性能更好。
14、3、本專利技術(shù)，在斷開之后需要進(jìn)行重連時(shí)，只需推動(dòng)線纜帶動(dòng)活動(dòng)電連接頭運(yùn)動(dòng)對(duì)限位塊的引導(dǎo)斜面進(jìn)行擠壓，使其壓縮復(fù)位彈簧運(yùn)動(dòng)到內(nèi)凹槽內(nèi)，然后活動(dòng)電連接頭與固定電連接頭對(duì)插后，復(fù)位彈簧推動(dòng)限位塊伸出抵接在固定環(huán)一側(cè)，對(duì)其進(jìn)行限位，完成連接。
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1.一種探針臺(tái)用的具有耐高壓低漏電功能的載物臺(tái)，包括與氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)相連的支撐連接塊(1)和固定在支撐連接塊(1)上方的支撐底座(10)，其特征在于：所述支撐底座(10)的頂部通過peek螺絲套管組合固定連接有云母層(3)，所述云母層(3)的上方設(shè)置有加熱盤，所述云母層(3)的頂部通過陶瓷固定塊(4)固定連接有陶瓷層(5)，所述陶瓷層(5)的頂部固定連接有吸盤(7)，所述支撐底座(10)的一側(cè)通過高壓絕緣套管連接件(8)連接有高壓絕緣套管(9)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針臺(tái)用的具有耐高壓低漏電功能的載物臺(tái)，其特征在于：所述云母層(3)、陶瓷層(5)和吸盤(7)的外周均包覆有用于絕緣的四氟套，形成一個(gè)絕緣的包裹層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針臺(tái)用的具有耐高壓低漏電功能的載物臺(tái)，其特征在于：所述云母層(3)和支撐底座(10)之間通過支撐柱隔斷有隔熱層，通過隔熱層的設(shè)置，可以防止溫度對(duì)支撐底座(10)產(chǎn)生影響。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針臺(tái)用的具有耐高壓低漏電功能的載物臺(tái)，其特征在于：所述內(nèi)凹槽(19)的兩側(cè)均開設(shè)有導(dǎo)向槽(26)，
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針臺(tái)用的具有耐高壓低漏電功能的載物臺(tái)，其特征在于：擠壓機(jī)構(gòu)包括固定在固定電連接頭(13)表面的連接環(huán)(14)，所述連接環(huán)(14)的一側(cè)通過滑動(dòng)槽(15)滑動(dòng)連接有頂桿(16)，所述頂桿(16)的一端固定連接有與固定環(huán)(12)的表面抵接的推板(18)，所述頂桿(16)的表面套設(shè)有施力彈簧(17)，所述施力彈簧(17)的兩端分別與推板(18)和連接環(huán)(14)的一側(cè)固定連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種探針臺(tái)用的具有耐高壓低漏電功能的載物臺(tái)，其特征在于：所述施力彈簧(17)和復(fù)位彈簧(20)均為絕緣彈簧。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針臺(tái)用的具有耐高壓低漏電功能的載物臺(tái)，其特征在于：所述陶瓷層(5)和云母層(3)之間通過四氟螺絲套管支撐。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種探針臺(tái)用的具有耐高壓低漏電功能的載物臺(tái)，包括與氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)相連的支撐連接塊(1)和固定在支撐連接塊(1)上方的支撐底座(10)，其特征在于：所述支撐底座(10)的頂部通過peek螺絲套管組合固定連接有云母層(3)，所述云母層(3)的上方設(shè)置有加熱盤，所述云母層(3)的頂部通過陶瓷固定塊(4)固定連接有陶瓷層(5)，所述陶瓷層(5)的頂部固定連接有吸盤(7)，所述支撐底座(10)的一側(cè)通過高壓絕緣套管連接件(8)連接有高壓絕緣套管(9)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針臺(tái)用的具有耐高壓低漏電功能的載物臺(tái)，其特征在于：所述云母層(3)、陶瓷層(5)和吸盤(7)的外周均包覆有用于絕緣的四氟套，形成一個(gè)絕緣的包裹層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針臺(tái)用的具有耐高壓低漏電功能的載物臺(tái)，其特征在于：所述云母層(3)和支撐底座(10)之間通過支撐柱隔斷有隔熱層，通過隔熱層的設(shè)置，可以防止溫度對(duì)支撐底座(10)產(chǎn)生影響。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針臺(tái)用的具有耐高壓低漏電功能的載物臺(tái)...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：趙連喜，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：上海矽弼半導(dǎo)體科技有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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