【技術實現步驟摘要】
本技術涉及石英環加工，尤其是涉及一種半導體蝕刻工藝專用石英環加工用打磨裝置。
技術介紹
1、半導體刻蝕工藝是一種用于制作半導體器件的技術，目的是把半導體材料削減成特定形狀和尺寸，以便制作出各種復雜的集成電路元件，如晶體管、存儲器、晶體管級數等，刻蝕工藝是半導體工藝中較為復雜，也相當重要的一個，是與光刻相聯系的圖形化處理的一種主要工藝，石英環就用于此，在石英環加工時，需要使用到打磨裝置對其進行打磨；
2、而現有的打磨裝置在使用時，大多不具備限位調節功能，導致只能夠對固定尺寸大小的石英環進行打磨，而這種方式導致打磨存在局限性，從而無法滿足客戶的使用需求。
3、因此，本領域技術人員提供了一種半導體蝕刻工藝專用石英環加工用打磨裝置，以解決上述
技術介紹
中提出的問題。
技術實現思路
1、為了改善不具備限位調節功能的問題，本技術提供一種半導體蝕刻工藝專用石英環加工用打磨裝置。
2、本技術提供一種半導體蝕刻工藝專用石英環加工用打磨裝置，采用如下的技術方案：
3、一種半導體蝕刻工藝專用石英環加工用打磨裝置，包括凹型框，所述凹型框內腔的右側通過支撐板固定安裝有旋轉電機，所述旋轉電機的輸出端固定連接有框體，所述框體內腔左右兩側的上下位置均固定連接有定位板，兩個所述定位板之間設置有正反螺紋桿，所述正反螺紋桿的頂部和底部分別貫穿定位板且螺紋連接有矩形板，所述矩形板的一端貫穿框體且固定連接有限位板，所述矩形板的左側設置有限位組件，所述框體內腔左側的中心處設置有驅
4、通過采用上述技術方案，工作人員將石英環移動到上下兩個限位板的外側，接著，工作人員轉動轉柄，使得轉柄帶動轉軸轉動，轉軸帶動主斜齒輪轉動，主斜齒輪帶動從斜齒輪轉動，使得從斜齒輪帶動正反螺紋桿在上下兩側矩形板的內表面螺紋轉動，從而使得上下兩側的矩形板帶動限位板移動，使得限位板帶動防滑墊與石英環的連接處緊密貼合，從而對石英環進行支撐限位；
5、然后，工作人員轉動螺桿，使得螺桿帶動凹型板在凹型框的內表面螺紋轉動向下移動，同時，凹型板帶動打磨毛刷向下移動，使得石英環位于凹型板的內腔，同時，打磨毛刷與石英環接觸，接著，工作人員啟動旋轉電機外部控制器，使得旋轉電機的輸出端帶動框體轉動，框體帶動上下兩側的矩形板轉動，同時，矩形板帶動限位板和防滑墊轉動，從而使得限位板和防滑墊帶動石英環轉動，在石英環轉動的同時，打磨毛刷對其進行打磨，從而實現對不同尺寸大小石英環的支撐限位打磨。
6、可選的，所述矩形板的左側固定連接有螺柱，所述螺柱的左端貫穿框體且螺紋連接有限位螺帽，所述限位螺帽的一側固定連接有橡膠墊圈，所述橡膠墊圈的外表面與框體的連接處緊密貼合。
7、通過采用上述技術方案，螺柱、限位螺帽和橡膠墊圈的設置，能夠對矩形板進行導向限位。
8、可選的，所述驅動組件包括轉軸，所述轉軸的一端通過軸承與框體的連接處轉動連接，所述轉軸的右端固定連接有主斜齒輪，所述正反螺紋桿外表面的中心處套接有從斜齒輪，所述主斜齒輪和從斜齒輪嚙合，所述轉軸的左端貫穿框體且固定連接有轉柄。
9、通過采用上述技術方案，轉軸、主斜齒輪、從斜齒輪和轉柄的設置，能夠方便正反螺紋桿轉動。
10、可選的，所述框體左側的上下位置均開設有與螺柱配合使用的移動口，且螺柱位于移動口的內腔。
11、通過采用上述技術方案，移動口的設置，能夠對螺柱進行導向限位。
12、可選的，所述正反螺紋桿與定位板的連接處通過軸承轉動連接，所述限位板的一側固定連接有防滑墊。
13、通過采用上述技術方案，防滑墊的設置，能夠增大限位板與石英環的摩擦，提高支撐限位的穩定性，同時，對石英環與限位板的連接處進行防護。
14、可選的，所述凹型板右側的頂部固定連接有導向板，所述凹型框內腔的右側開設有與導向板配合使用的導向槽，所述導向板的外表面與導向槽的內表面滑動連接。
15、通過采用上述技術方案，導向板和導向槽的設置，能夠對凹型板進行導向限位。
16、可選的，所述凹型框右側的底部固定連接有安裝板，且安裝板頂部的前后位置均開設有安裝孔。
17、通過采用上述技術方案，安裝板和安裝孔的設置，能夠方便對該裝置進行安裝。
18、可選的，所述框體的頂部和底部均開設有與矩形板配合使用的通口，且矩形板的外表面與通口的連接處滑動連接。
19、通過采用上述技術方案，通口的設置，能夠方便矩形板移動。
20、綜上所述，本技術具有以下有益效果：
21、1.本技術通過設置凹型框、旋轉電機、框體、定位板、正反螺紋桿、矩形板、限位板和驅動組件，能夠對不同尺寸大小的石英環進行支撐限位，同時，方便對石英環進行轉動，通過設置螺桿、凹型板和打磨毛刷，能夠對石英環進行打磨，同時，對其打磨位置進行調整，通過設置限位組件，能夠對矩形板進行限位，通過設置以上結構，能夠對不同尺寸大小的石英環進行支撐限位打磨，從而避免打磨存在局限性，同時，能夠滿足客戶的使用需求。
22、2.本技術通過設置轉軸、主斜齒輪、從斜齒輪和轉柄，能夠方便正反螺紋桿轉動，移動口的設置，能夠對螺柱進行導向限位，防滑墊的設置，能夠增大限位板與石英環的摩擦，提高支撐限位的穩定性，同時，對石英環與限位板的連接處進行防護，導向板和導向槽的設置，能夠對凹型板進行導向限位，安裝板和安裝孔的設置，能夠方便對該裝置進行安裝，通口的設置，能夠方便矩形板移動。
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1.一種半導體蝕刻工藝專用石英環加工用打磨裝置，包括凹型框(1)，其特征在于：所述凹型框(1)內腔的右側通過支撐板固定安裝有旋轉電機(2)，所述旋轉電機(2)的輸出端固定連接有框體(3)，所述框體(3)內腔左右兩側的上下位置均固定連接有定位板(4)，兩個所述定位板(4)之間設置有正反螺紋桿(5)，所述正反螺紋桿(5)的頂部和底部分別貫穿定位板(4)且螺紋連接有矩形板(6)，所述矩形板(6)的一端貫穿框體(3)且固定連接有限位板(7)，所述矩形板(6)的左側設置有限位組件(8)，所述框體(3)內腔左側的中心處設置有驅動組件(9)，所述凹型框(1)的頂部螺紋連接有螺桿(10)，所述螺桿(10)的底部貫穿凹型框(1)且通過軸承轉動連接有凹型板(11)，所述凹型板(11)的內表面均勻固定連接有打磨毛刷(12)。
2.根據權利要求1所述的一種半導體蝕刻工藝專用石英環加工用打磨裝置，其特征在于：所述矩形板(6)的左側固定連接有螺柱(801)，所述螺柱(801)的左端貫穿框體(3)且螺紋連接有限位螺帽(802)，所述限位螺帽(802)的一側固定連接有橡膠墊圈(803)，所述橡膠墊圈
3.根據權利要求1所述的一種半導體蝕刻工藝專用石英環加工用打磨裝置，其特征在于：所述驅動組件(9)包括轉軸(901)，所述轉軸(901)的一端通過軸承與框體(3)的連接處轉動連接，所述轉軸(901)的右端固定連接有主斜齒輪(902)，所述正反螺紋桿(5)外表面的中心處套接有從斜齒輪(903)，所述主斜齒輪(902)和從斜齒輪(903)嚙合，所述轉軸(901)的左端貫穿框體(3)且固定連接有轉柄。
4.根據權利要求2所述的一種半導體蝕刻工藝專用石英環加工用打磨裝置，其特征在于：所述框體(3)左側的上下位置均開設有與螺柱(801)配合使用的移動口，且螺柱(801)位于移動口的內腔。
5.根據權利要求1所述的一種半導體蝕刻工藝專用石英環加工用打磨裝置，其特征在于：所述正反螺紋桿(5)與定位板(4)的連接處通過軸承轉動連接，所述限位板(7)的一側固定連接有防滑墊。
6.根據權利要求1所述的一種半導體蝕刻工藝專用石英環加工用打磨裝置，其特征在于：所述凹型板(11)右側的頂部固定連接有導向板(13)，所述凹型框(1)內腔的右側開設有與導向板(13)配合使用的導向槽(14)，所述導向板(13)的外表面與導向槽(14)的內表面滑動連接。
7.根據權利要求1所述的一種半導體蝕刻工藝專用石英環加工用打磨裝置，其特征在于：所述凹型框(1)右側的底部固定連接有安裝板，且安裝板頂部的前后位置均開設有安裝孔。
8.根據權利要求1所述的一種半導體蝕刻工藝專用石英環加工用打磨裝置，其特征在于：所述框體(3)的頂部和底部均開設有與矩形板(6)配合使用的通口，且矩形板(6)的外表面與通口的連接處滑動連接。
...【技術特征摘要】
1.一種半導體蝕刻工藝專用石英環加工用打磨裝置，包括凹型框(1)，其特征在于：所述凹型框(1)內腔的右側通過支撐板固定安裝有旋轉電機(2)，所述旋轉電機(2)的輸出端固定連接有框體(3)，所述框體(3)內腔左右兩側的上下位置均固定連接有定位板(4)，兩個所述定位板(4)之間設置有正反螺紋桿(5)，所述正反螺紋桿(5)的頂部和底部分別貫穿定位板(4)且螺紋連接有矩形板(6)，所述矩形板(6)的一端貫穿框體(3)且固定連接有限位板(7)，所述矩形板(6)的左側設置有限位組件(8)，所述框體(3)內腔左側的中心處設置有驅動組件(9)，所述凹型框(1)的頂部螺紋連接有螺桿(10)，所述螺桿(10)的底部貫穿凹型框(1)且通過軸承轉動連接有凹型板(11)，所述凹型板(11)的內表面均勻固定連接有打磨毛刷(12)。
2.根據權利要求1所述的一種半導體蝕刻工藝專用石英環加工用打磨裝置，其特征在于：所述矩形板(6)的左側固定連接有螺柱(801)，所述螺柱(801)的左端貫穿框體(3)且螺紋連接有限位螺帽(802)，所述限位螺帽(802)的一側固定連接有橡膠墊圈(803)，所述橡膠墊圈(803)的外表面與框體(3)的連接處緊密貼合。
3.根據權利要求1所述的一種半導體蝕刻工藝專用石英環加工用打磨裝置，其特征在于：所述驅動組件(9)包括轉軸(901)，所述轉軸(901)的一端通過軸承與框體(3)的連接處轉動連接，所述轉軸(901)...
【專利技術屬性】
技術研發人員：周小琳，
申請(專利權)人：云浮市創云新材料有限公司，
類型：新型
國別省市：
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