【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及光刻膠生產(chǎn)，具體是一種用于光刻膠生產(chǎn)的原料取樣裝置。
技術(shù)介紹
1、光刻膠，別稱光致抗蝕劑，是指通過紫外光、電子束、離子束、x射線等的照射或輻射，其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料，它是由感光樹脂、增感劑和溶劑組成的對光敏感的混合液體，在光刻生產(chǎn)過程中，需要對其原材料進行取樣檢測，以保證光刻膠在生產(chǎn)時的合格率。
2、傳統(tǒng)的光刻膠原料取樣裝置在使用時，只能進行單獨采集，當(dāng)需要對多種原料進行取樣時，需要更換取樣裝置重新對其他原料進行取樣，過程繁瑣，并且使用過的取樣器存放不便，同時頻繁清洗膠筒工作量大，進而導(dǎo)致取樣效率低；因此，針對上述問題提出一種用于光刻膠生產(chǎn)的原料取樣裝置。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、為了彌補現(xiàn)有技術(shù)的不足，傳統(tǒng)的光刻膠原料取樣裝置在使用時，只能單獨采集，然后更換取樣裝置重新對其他原料進行采樣，過程繁瑣，并且頻繁清洗膠筒工作量大，進而導(dǎo)致取樣效率低，本技術(shù)提出一種用于光刻膠生產(chǎn)的原料取樣裝置。
2、本技術(shù)解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：本技術(shù)所述的一種用于光刻膠生產(chǎn)的原料取樣裝置，包括主管，所述主管上滑動連接有滑桿，所述滑桿的端部固定連接有底板，所述主管表面通過螺紋轉(zhuǎn)動連接有副管，所述副管表面設(shè)置有吸管，所述副管內(nèi)壁設(shè)置有壓板，所述壓板另一側(cè)固定連接有儲液袋，所述主管的外壁為臺階狀，所述主管與壓板相貼合，所述壓板表面開設(shè)有進液通孔，在需要將光刻膠的原料進行取樣檢測時，先將儲液袋放入副管內(nèi)，使得壓板貼合在副管內(nèi)壁，并使得進液通孔與吸管相對接，
3、優(yōu)選的，所述副管上開設(shè)有卡槽，所述壓板表面，相對于卡槽的位置固定連接有插塊，所述卡槽內(nèi)通過彈簧滑動連接有推板，所述推板為環(huán)形，且所述推板外環(huán)壁與內(nèi)環(huán)壁均與卡槽側(cè)壁相貼合，通過將插塊卡入卡槽內(nèi)，可以避免原料進入副管腔內(nèi)，同時主管向副管內(nèi)旋入的同時，主管會擠壓推板向卡槽內(nèi)縮進并擠壓彈簧，通過彈簧配合推板，可以在主管旋接時，提高主管、副管螺紋之間的配合效果，在將儲液袋拆除時，推板可以將壓板推出，便于儲液袋拆卸。
4、優(yōu)選的，所述壓板表面的進液通孔內(nèi)固定連接有彈性膜，所述彈性膜表面開設(shè)有若干彈性縮孔，所述底板表面固定連接有密封墊，所述彈性膜表面固定連接有橡膠條，所述橡膠條與卡槽的側(cè)壁相貼合，通過彈性膜可以避免儲液袋內(nèi)的原料在重力下流出，通過橡膠條可以進一步提高插塊與卡槽之間的密封效果。
5、優(yōu)選的，所述底板表面固定連接有卡塊，所述卡塊設(shè)置有兩個且為對稱設(shè)置，所述儲液袋表面固定連接有限位板，所述限位板表面，相對于卡塊的位置開設(shè)有槽口，所述卡塊為彈性材質(zhì)，且表面開設(shè)有圓弧角，在底板向限位板的方向移動時，卡塊會卡入槽口內(nèi)，在滑桿帶動底板遠離副管時，通過卡塊可以帶動限位板，限位板帶動儲液袋拉伸，通過卡塊配合槽口，可以將儲液袋拉出，更方便將儲液袋拆卸，同時通過限位板可以保證儲液袋的運動方向，同時在將儲液袋內(nèi)原料擠出時，直接使用壓板與限位板互相擠壓，以便于將原料擠出檢測。
6、優(yōu)選的，主管與副管均為透明材質(zhì)，所述滑桿遠離壓板的一端固定連接有旋鈕，所述旋鈕表面開設(shè)有防滑槽，透明材質(zhì)的主管與副管可以直接觀察儲液袋內(nèi)遠離取樣情況。
7、優(yōu)選的，所述副管表面固定連接有連接軸，所述連接軸設(shè)置有兩個，一對所述連接軸以副管的中心軸呈對稱設(shè)置，所述連接軸內(nèi)轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸另一端固定連接有支撐架，所述支撐架為“u”字形，通過支撐架可以將主管進行支撐放置，避免遭受污染，轉(zhuǎn)動連接以便于進行收納。
8、優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)軸表面通過彈性件滑動連接有卡珠，所述連接軸內(nèi)壁，相對于卡珠的位置開設(shè)有凹槽，通過卡珠可以對主管的旋轉(zhuǎn)角度進行定位，在主管內(nèi)原料含量不同時，以便于調(diào)整重心，避免傾倒。
9、本技術(shù)的有益之處在于：
10、1.本技術(shù)通過主管、副管配合儲液袋，在需要將光刻膠的原料進行取樣檢測時，先將儲液袋放入副管內(nèi)，使得壓板貼合在副管內(nèi)壁，并使得進液通孔與吸管相對接，這時移動滑桿，使得主管內(nèi)產(chǎn)生的負壓將儲液袋拉伸，同時將原料桶內(nèi)的原料吸入儲液袋內(nèi)，實現(xiàn)對原材料的取樣，然后將儲液袋取出，通過更換儲液袋的方式，可以避免重復(fù)更換取樣裝置，并且只需要對取樣裝置中的副管進行單獨清洗，提高取樣效率的同時，通過儲液袋更方便對已經(jīng)取樣的原材料進行保存。
11、2.本技術(shù)通過主管、副管為透明材質(zhì)的結(jié)構(gòu)設(shè)計，可以直接觀察儲液袋內(nèi)遠離取樣情況，通過支撐架可以將主管進行支撐放置，避免遭受污染，轉(zhuǎn)動連接以便于進行收納。
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1.一種用于光刻膠生產(chǎn)的原料取樣裝置，其特征在于：包括主管(1)，所述主管(1)上滑動連接有滑桿(2)，所述滑桿(2)的端部固定連接有底板(7)，所述主管(1)表面通過螺紋轉(zhuǎn)動連接有副管(4)，所述副管(4)表面設(shè)置有吸管(5)，所述副管(4)內(nèi)壁設(shè)置有壓板(9)，所述壓板(9)另一側(cè)固定連接有儲液袋(6)，所述主管(1)的外壁為臺階狀，所述主管(1)與壓板(9)相貼合，所述壓板(9)表面開設(shè)有進液通孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光刻膠生產(chǎn)的原料取樣裝置，其特征在于：所述副管(4)上開設(shè)有卡槽(11)，所述壓板(9)表面，相對于卡槽(11)的位置固定連接有插塊(12)，所述卡槽(11)內(nèi)通過彈簧滑動連接有推板(10)，所述推板(10)為環(huán)形，且所述推板(10)外環(huán)壁與內(nèi)環(huán)壁均與卡槽(11)側(cè)壁相貼合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于光刻膠生產(chǎn)的原料取樣裝置，其特征在于：所述壓板(9)表面的進液通孔內(nèi)固定連接有彈性膜(8)，所述彈性膜(8)表面開設(shè)有若干彈性縮孔，所述底板(7)表面固定連接有密封墊，所述彈性膜(8)表面固定連接有橡膠條(13)，所述
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于光刻膠生產(chǎn)的原料取樣裝置，其特征在于：所述底板(7)表面固定連接有卡塊(15)，所述卡塊(15)設(shè)置有兩個且為對稱設(shè)置，所述儲液袋(6)表面固定連接有限位板(20)，所述限位板(20)表面，相對于卡塊(15)的位置開設(shè)有槽口(14)，所述卡塊(15)為彈性材質(zhì)，且表面開設(shè)有圓弧角。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于光刻膠生產(chǎn)的原料取樣裝置，其特征在于：主管(1)與副管(4)均為透明材質(zhì)，所述滑桿(2)遠離壓板(9)的一端固定連接有旋鈕(3)，所述旋鈕(3)表面開設(shè)有防滑槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于光刻膠生產(chǎn)的原料取樣裝置，其特征在于：所述副管(4)表面固定連接有連接軸(18)，所述連接軸(18)設(shè)置有兩個，一對所述連接軸(18)以副管(4)的中心軸呈對稱設(shè)置，所述連接軸(18)內(nèi)轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)軸(17)，所述轉(zhuǎn)軸(17)另一端固定連接有支撐架(16)，所述支撐架(16)為“U”字形。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于光刻膠生產(chǎn)的原料取樣裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)軸(17)表面通過彈性件滑動連接有卡珠(19)，所述連接軸(18)內(nèi)壁，相對于卡珠(19)的位置開設(shè)有凹槽。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種用于光刻膠生產(chǎn)的原料取樣裝置，其特征在于：包括主管(1)，所述主管(1)上滑動連接有滑桿(2)，所述滑桿(2)的端部固定連接有底板(7)，所述主管(1)表面通過螺紋轉(zhuǎn)動連接有副管(4)，所述副管(4)表面設(shè)置有吸管(5)，所述副管(4)內(nèi)壁設(shè)置有壓板(9)，所述壓板(9)另一側(cè)固定連接有儲液袋(6)，所述主管(1)的外壁為臺階狀，所述主管(1)與壓板(9)相貼合，所述壓板(9)表面開設(shè)有進液通孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于光刻膠生產(chǎn)的原料取樣裝置，其特征在于：所述副管(4)上開設(shè)有卡槽(11)，所述壓板(9)表面，相對于卡槽(11)的位置固定連接有插塊(12)，所述卡槽(11)內(nèi)通過彈簧滑動連接有推板(10)，所述推板(10)為環(huán)形，且所述推板(10)外環(huán)壁與內(nèi)環(huán)壁均與卡槽(11)側(cè)壁相貼合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于光刻膠生產(chǎn)的原料取樣裝置，其特征在于：所述壓板(9)表面的進液通孔內(nèi)固定連接有彈性膜(8)，所述彈性膜(8)表面開設(shè)有若干彈性縮孔，所述底板(7)表面固定連接有密封墊，所述彈性膜(8)表面固定連接有橡膠條(13)，所述橡膠條(13)與卡槽(11)的側(cè)壁相貼合。
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【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：林高弘，
申請(專利權(quán))人：安徽大鵬半導(dǎo)體有限公司，
類型：新型
國別省市：
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