【技術實現步驟摘要】
本技術涉及廢酸回收，尤其涉及一種用于電子級多晶硅廢酸回收系統。
技術介紹
1、電子級多晶硅主要用于電子芯片、大功率整流器以及大功率晶體管等領域。而硅是目前制造集成電路的主要原材料，其表面在加工過程中需要經過刻蝕、清洗等步驟，特別是刻蝕步驟需要高濃度氫氟酸和硝酸混合液清洗。采用刻蝕液經過多次酸洗反應后，酸洗液中金屬離子和氟硅酸會增加到一定濃度，直接影響清洗效果，此外氟硅酸的增加則阻礙酸與硅的進一步反應，導致刻蝕速率下降，因此會對酸洗廢液進行更換。
2、酸洗廢液中氫氟酸具有強腐蝕劑和毒性，硝酸也具有強腐蝕性，兩者作為危廢的重要組成部分，若不經有效處理直接排放將會對生態環境造成巨大破壞；并且現有技術中常采用化學法、蒸發法、離子交換法和溶劑萃取法等手段進行治理及回收再利用過程中，但采用的常規噴淋普遍會存在對不凝氣氮氧化物吸收效率不高的問題。
技術實現思路
1、本技術所要解決的技術問題是：提供一種用于電子級多晶硅廢酸回收系統，以解決對不凝氣氮氧化物吸收效率不高的問題。
2、為了達到上述目的，本技術所采用的技術方案是：一種用于電子級多晶硅廢酸回收系統，包括：廢酸預熱器、及與所述廢酸預熱器連通的一次汽提塔；
3、在所述一次汽提塔的塔釜依次連接有硝酸夾套罐、二次精餾塔、二次塔頂冷凝器和吸收塔；
4、其中，在所述吸收塔的塔頂設有空化射流裝置，所述空化射流裝置的進口處設有水進口和臭氧進口，其出口通過管道與所述吸收塔的塔頂連通。
5、進一步地，
6、進一步地，所述吸收塔的塔釜出口通過管道與所述硝酸夾套罐的連通。
7、進一步地，在所述一次汽提塔和硝酸夾套罐之間設有過濾器。
8、進一步地，所述二次塔頂冷凝器連通有二次回流罐。
9、進一步地，所述二次回流罐與所述二次精餾塔連通。
10、進一步地，所述二次精餾塔的塔釜連通有硝酸儲罐。
11、進一步地，在所述一次汽提塔的塔頂連通有一次塔頂冷凝器。
12、進一步地，所述一次塔頂冷凝器連通有氫氟酸儲罐。
13、本技術的有益效果為：本技術再硝酸的回收利用上實現全流程封閉，減少了氮氧化物的揮發導致的硝酸濃度降低，并通過空氣射流裝置，提高臭氧與水的混合，有助于提高水霧中的oh-自由基，進而提高了對不凝氣中氮氧化物的吸收效率。
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1.一種用于電子級多晶硅廢酸回收系統，其特征在于，包括：廢酸預熱器、及與所述廢酸預熱器連通的一次汽提塔；
2.根據權利要求1所述的用于電子級多晶硅廢酸回收系統，其特征在于，所述吸收塔的塔頂出口設有臭氧分解裝置。
3.根據權利要求1所述的用于電子級多晶硅廢酸回收系統，其特征在于，所述吸收塔的塔釜出口通過管道與所述硝酸夾套罐的連通。
4.根據權利要求1所述的用于電子級多晶硅廢酸回收系統，其特征在于，在所述一次汽提塔和硝酸夾套罐之間設有過濾器。
5.根據權利要求1所述的用于電子級多晶硅廢酸回收系統，其特征在于，所述二次塔頂冷凝器連通有二次回流罐。
6.根據權利要求5所述的用于電子級多晶硅廢酸回收系統，其特征在于，所述二次回流罐與所述二次精餾塔連通。
7.根據權利要求1所述的用于電子級多晶硅廢酸回收系統，其特征在于，所述二次精餾塔的塔釜連通有硝酸儲罐。
8.根據權利要求1所述的用于電子級多晶硅廢酸回收系統，其特征在于，在所述一次汽提塔的塔頂連通有一次塔頂冷凝器。
9.根據權利要求8所述的用于電
...【技術特征摘要】
1.一種用于電子級多晶硅廢酸回收系統，其特征在于，包括：廢酸預熱器、及與所述廢酸預熱器連通的一次汽提塔；
2.根據權利要求1所述的用于電子級多晶硅廢酸回收系統，其特征在于，所述吸收塔的塔頂出口設有臭氧分解裝置。
3.根據權利要求1所述的用于電子級多晶硅廢酸回收系統，其特征在于，所述吸收塔的塔釜出口通過管道與所述硝酸夾套罐的連通。
4.根據權利要求1所述的用于電子級多晶硅廢酸回收系統，其特征在于，在所述一次汽提塔和硝酸夾套罐之間設有過濾器。
5.根據權利要求1所述的用于電子級多晶硅廢...
【專利技術屬性】
技術研發人員：韓秀娟，徐志明，姚煥龍，孟錦，閆家強，
申請(專利權)人：江蘇鑫華半導體科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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