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    一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置及方法制造方法及圖紙

    技術(shù)編號(hào):44155735 閱讀:10 留言:0更新日期:2025-01-29 10:27
    本發(fā)明專利技術(shù)提供了一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置及方法,涉及光學(xué)傳感領(lǐng)域,包括泵浦光源、探測(cè)光源、微納光纖環(huán)諧振模塊、濾波器、光電探測(cè)器、信號(hào)處理單元、控制模塊。本發(fā)明專利技術(shù)采用上述的一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置及方法,通過一個(gè)微納光纖環(huán)形諧振腔,實(shí)現(xiàn)光熱和諧振探測(cè)的雙增強(qiáng),使得納升級(jí)的氣量即可等效出數(shù)十米的吸收光程,從而實(shí)現(xiàn)微小氣量下的高靈敏氣體測(cè)量。

    【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

    本專利技術(shù)涉及光學(xué)傳感領(lǐng)域,尤其是涉及一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置及方法


    技術(shù)介紹

    1、目前,在氣體測(cè)量領(lǐng)域,基于吸收光譜技術(shù)的氣體檢測(cè),系統(tǒng)較為簡(jiǎn)潔,吸收光程短,缺乏信號(hào)放大手段,而且氣量要求高。伴隨吸收光譜,還會(huì)產(chǎn)生光聲效應(yīng)和光熱效應(yīng)。光聲效應(yīng)雖然吸收光程短,但是光聲信號(hào)經(jīng)過聲學(xué)腔諧振,得到數(shù)千倍放大,提升了氣體測(cè)量精度。然而光聲光譜自身的聲學(xué)共振頻率不穩(wěn)定,易受聲學(xué)噪音影響。光熱光譜的機(jī)理是氣體吸收光產(chǎn)生熱,進(jìn)而導(dǎo)致折射率改變,折射率改變量可以反映氣體濃度。光熱光譜不僅測(cè)量精度高,且穩(wěn)定性較好,適合高靈敏的氣體檢測(cè)需求。但是很多應(yīng)用場(chǎng)景能夠提供的氣量非常有限,卻對(duì)氣體檢測(cè)的精度和靈敏度要求非常高。在醫(yī)療健康領(lǐng)域呼吸分析和疾病診斷中,需要從患者的呼出氣體中檢測(cè)出極微量的目標(biāo)化合物,如揮發(fā)性有機(jī)化合物(vocs),以用于肺癌、糖尿病等疾病的診斷。環(huán)境監(jiān)測(cè)中的特定地點(diǎn),如土壤孔隙、地下水井或植物葉片附近,也需要進(jìn)行微量氣體采樣,例如監(jiān)測(cè)土壤中的甲烷排放或植物與大氣之間的氣體交換,這些地方只能提供極少量的氣體樣本。在氣量非常有限的情況下,提高檢測(cè)靈敏度具有非常重要的意義。另外,在變壓器的有色譜測(cè)量中,各種異常氣體的含量很低,導(dǎo)致出氣量微小,但是對(duì)氣體的精度要求有很高,利用微小量氣體實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量對(duì)變壓器的健康狀態(tài)檢測(cè)有著極其重要的意義。

    2、針對(duì)上述應(yīng)用領(lǐng)域存在的問題,提出一種雙增強(qiáng)光熱光譜氣體檢測(cè)方法及裝置,能夠基于微小氣量實(shí)現(xiàn)高靈敏氣體測(cè)量。


    技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

    1、本專利技術(shù)的目的在于提供一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置及方法,通過一個(gè)微納光纖環(huán)形諧振腔,實(shí)現(xiàn)諧振方法和信號(hào)檢測(cè)雙增強(qiáng),使百微米的微納光纖環(huán)可以等效為數(shù)十米的吸收光程,從而實(shí)現(xiàn)微小氣量下的高靈敏氣體測(cè)量。

    2、為實(shí)現(xiàn)上述目的,本專利技術(shù)提供了一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置包括

    3、激光器電流控制器使泵浦光激光器產(chǎn)生可調(diào)諧的脈沖光,使探測(cè)光在微納光纖環(huán)諧振波長(zhǎng)附近掃描;

    4、激光器溫度控制器用于控制泵浦光激光器的工作溫度,調(diào)整泵浦光的波長(zhǎng)與氣體吸收波長(zhǎng)相匹配;

    5、泵浦光激光器產(chǎn)生泵浦光,光能被特征氣體吸收后產(chǎn)生光熱,釋放熱能;

    6、探測(cè)光激光器產(chǎn)生探測(cè)光,在波長(zhǎng)掃描過程中可以找到微納光纖環(huán)的諧振波長(zhǎng);

    7、波分復(fù)用器將泵浦光和探測(cè)光耦合進(jìn)微納光纖環(huán)諧振器中;

    8、微納光纖環(huán)諧振器使泵浦光在微納光纖環(huán)中反復(fù)耦合傳輸并與氣體相互作用,進(jìn)而產(chǎn)生增強(qiáng)的光熱信號(hào);對(duì)于探測(cè)光,光熱信號(hào)的探測(cè)過程被諧振放大,形成雙增強(qiáng)現(xiàn)象;

    9、窄帶濾波器將探測(cè)光的光譜變化轉(zhuǎn)為光強(qiáng)變化;

    10、光電探測(cè)器將經(jīng)過了諧振的探測(cè)光信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào),供后端處理單元解調(diào)出氣體濃度信息;

    11、鎖相放大器將探測(cè)光經(jīng)光電探測(cè)后的信號(hào)用鎖相放大,通過解調(diào)得到與氣體濃度成正比的二次諧波;

    12、激光器電流控制器還用于在驅(qū)動(dòng)電流上疊加正弦波,驅(qū)動(dòng)電流用于波長(zhǎng)掃描,使得泵浦波長(zhǎng)與氣體吸收波長(zhǎng)相對(duì)應(yīng);正弦波用于波長(zhǎng)調(diào)制,用于提升信噪比。

    13、優(yōu)選的,微納光纖環(huán)使部分泵浦光以倏逝場(chǎng)形式在微納光纖周圍傳播,使泵浦光與氣體相接觸,進(jìn)而被氣體吸收;同時(shí)又能讓未被氣體吸收的泵浦光被再次耦合回微納光纖環(huán)內(nèi)參與下一次的光與物質(zhì)相互作用;同時(shí),微納光纖環(huán)也使探測(cè)光在微納光纖環(huán)中產(chǎn)生諧振。

    14、優(yōu)選的,泵浦光的波長(zhǎng)與被測(cè)氣體的吸收譜波長(zhǎng)相對(duì)應(yīng)。

    15、優(yōu)選的,探測(cè)光的波長(zhǎng)范圍覆蓋微納光纖環(huán)的諧振波長(zhǎng)范圍。

    16、優(yōu)選的,微納光纖環(huán)的諧振范圍與微納光纖環(huán)的直徑和光熱強(qiáng)度有關(guān)。

    17、優(yōu)選的,微納光纖的直徑用于確定倏逝場(chǎng)的大小、探測(cè)光的耦合損耗和傳輸損耗。

    18、優(yōu)選的,還包括處理單元實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集、濾波和數(shù)據(jù)處理的功能,將光信號(hào)經(jīng)過運(yùn)算得到對(duì)應(yīng)的氣體濃度信號(hào)。

    19、優(yōu)選的,微納光纖環(huán)諧振器還包括另外一種設(shè)置為用平面光波導(dǎo)諧振結(jié)構(gòu)或者微環(huán)諧振腔替代。

    20、優(yōu)選的,泵浦光的驅(qū)動(dòng)電流還包括另外一種設(shè)置為不用疊加正弦波。

    21、一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)方法,包括以下步驟:

    22、通過溫度控制,使泵浦光處于乙炔氣體吸收峰附近;電流控制器使用驅(qū)動(dòng)電流在吸收峰附近做波長(zhǎng)掃描,同時(shí)在驅(qū)動(dòng)電流上疊加正弦波;

    23、用波分復(fù)用器將泵浦光和探測(cè)光耦合進(jìn)微納光纖環(huán)諧振器中;

    24、在微納光纖環(huán)中形成泵浦光的光熱光譜諧振,改變微納光纖環(huán)的等效折射率;等效折射率經(jīng)探測(cè)光的諧振放大,探測(cè)光的光譜發(fā)生移動(dòng);

    25、通過窄帶濾波器將探測(cè)光的光譜變化轉(zhuǎn)為光強(qiáng)變化;

    26、將探測(cè)光經(jīng)光電探測(cè)后的信號(hào)用鎖相放大,通過解調(diào)得到與氣體濃度成正比的二次諧波;

    27、處理單元將二次諧波的光信號(hào)經(jīng)過運(yùn)算得到對(duì)應(yīng)的氣體濃度信號(hào)。

    28、因此,本專利技術(shù)采用上述的一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置及方法,技術(shù)效果如下:

    29、(1)在增強(qiáng)光與氣體相互作用方面,既能利用微納光纖的高能量密度,又能利用環(huán)形諧振腔的長(zhǎng)等效光程;在增強(qiáng)氣體吸收信號(hào)探測(cè)方面,首次將諧振放大引入光熱的折射率探測(cè)。雙諧振在同一個(gè)微納光纖環(huán)中實(shí)現(xiàn),理論新穎,結(jié)構(gòu)緊湊。經(jīng)過雙諧振放大,使百微米的微納光纖環(huán)可以等效為數(shù)十米的吸收光程,并有望在納升氣量的條件下,實(shí)現(xiàn)ppt級(jí)的超高測(cè)量精度。

    30、(2)微納光纖諧振結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性是系統(tǒng)的關(guān)鍵因素,其中存在兩方面難點(diǎn),其一:高靈敏的諧振環(huán)容易產(chǎn)生工作點(diǎn)偏移的失諧問題,針對(duì)此問題提出熱平衡控制方法,在光熱效應(yīng)的閉環(huán)反饋控制理論基礎(chǔ)上,通過波長(zhǎng)掃描判斷失諧的方向,進(jìn)而判斷溫度的偏離方向,然后通過對(duì)波長(zhǎng)掃描頻率的動(dòng)態(tài)調(diào)整,使發(fā)熱量處于恒定狀態(tài),控制諧振環(huán)的諧振點(diǎn)保持不變。

    31、(3)可以應(yīng)用于呼吸氣體、變壓器油色譜等氣量極小,且對(duì)測(cè)量精度要求很高的場(chǎng)合。

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    【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

    1.一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置,其特征在于,包括

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置,其特征在于,微納光纖環(huán)使部分泵浦光以倏逝場(chǎng)形式在微納光纖周圍傳播,使泵浦光與氣體相接觸,進(jìn)而被氣體吸收;同時(shí)又能讓未被氣體吸收的泵浦光被再次耦合回微納光纖環(huán)內(nèi)參與下一次的光與物質(zhì)相互作用;同時(shí),微納光纖環(huán)也使探測(cè)光在微納光纖環(huán)中產(chǎn)生諧振。

    3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置,其特征在于,泵浦光的波長(zhǎng)與被測(cè)氣體的吸收譜波長(zhǎng)相對(duì)應(yīng)。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置,其特征在于,探測(cè)光的波長(zhǎng)范圍覆蓋微納光纖環(huán)的諧振波長(zhǎng)范圍。

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置,其特征在于,微納光纖環(huán)的諧振范圍與微納光纖環(huán)的直徑和光熱強(qiáng)度有關(guān)。

    6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置,其特征在于,微納光纖的直徑用于確定倏逝場(chǎng)的大小、探測(cè)光的耦合損耗和傳輸損耗。

    7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置,其特征在于,還包括處理單元實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集、濾波和數(shù)據(jù)處理的功能,將光信號(hào)經(jīng)過運(yùn)算得到對(duì)應(yīng)的氣體濃度信號(hào)。

    8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置,其特征在于,微納光纖環(huán)諧振器還包括另外一種設(shè)置為用平面光波導(dǎo)諧振結(jié)構(gòu)或者微環(huán)諧振腔替代。

    9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置,其特征在于,泵浦光的驅(qū)動(dòng)電流還包括另外一種設(shè)置為不用疊加正弦波。

    10.一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)方法,其特征在于,包括以下步驟:

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    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置,其特征在于,包括

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置,其特征在于,微納光纖環(huán)使部分泵浦光以倏逝場(chǎng)形式在微納光纖周圍傳播,使泵浦光與氣體相接觸,進(jìn)而被氣體吸收;同時(shí)又能讓未被氣體吸收的泵浦光被再次耦合回微納光纖環(huán)內(nèi)參與下一次的光與物質(zhì)相互作用;同時(shí),微納光纖環(huán)也使探測(cè)光在微納光纖環(huán)中產(chǎn)生諧振。

    3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置,其特征在于,泵浦光的波長(zhǎng)與被測(cè)氣體的吸收譜波長(zhǎng)相對(duì)應(yīng)。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置,其特征在于,探測(cè)光的波長(zhǎng)范圍覆蓋微納光纖環(huán)的諧振波長(zhǎng)范圍。

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于雙增強(qiáng)光熱光譜的高靈敏微小氣量氣體檢測(cè)裝置,其特征在于,微納光纖環(huán)的諧振范圍與微...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:高慧芳王樂尹祿張宏
    申請(qǐng)(專利權(quán))人:中國(guó)計(jì)量大學(xué)
    類型:發(fā)明
    國(guó)別省市:

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