【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及隔離，具體為一種半導體清洗設備的隔離裝置。
技術介紹
1、半導體清洗設備的隔離裝置在半導體制造中起著至關重要的作用，其主要目的在于保護設備內部的敏感組件，確保清洗過程中不受污染，并提高清洗效果。
2、專利公告號為cn215988678u的專利涉及一種半導體清洗設備的隔離裝置和半導體清洗設備，半導體清洗設備的隔離裝置包括：驅動模塊，包括主體和活動部，主體用于驅動活動部移動；多個緩沖器，沿活動部的位移路徑，分別位于活動部的第一側和第二側；擋板，與活動部相連接。該專利提出的半導體清洗設備的隔離裝置，活動部可活動地設置在主體上，主體可驅動活動部移動，并且，活動部上設置有擋板，能夠隔離兩個清洗槽，進而在半導體清洗過程中，降低兩個清洗槽之間酸氣相互躥動的可能，提升半導體潔凈度和良品率，并且，可以通過活動部的運動，使得擋板不再間隔兩個清洗槽，從而便于半導體在兩個清洗槽之間的運輸。
3、上述專利中，活動部上設置有擋板，能夠隔離兩個清洗槽，進而在半導體清洗過程中，降低兩個清洗槽之間酸氣相互躥動的可能，提升半導體潔凈度和良品率，并且，可以通過活動部的運動，使得擋板不再間隔兩個清洗槽，從而便于半導體在兩個清洗槽之間的運輸，但使用過程中，隔離板上可能沾附雜質或清理液，可能對后續清洗的半導體存在污染等情況。
技術實現思路
1、針對現有技術的不足，本專利技術提供了一種半導體清洗設備的隔離裝置，解決了上述
技術介紹
中提出的問題。
2、為實現以上目的，本專利技術通過
3、根據上述技術方案，所述滑動框與滑軌之間設置有一號彈簧，通過一號彈簧帶動滑動框復位，所述轉板與滑動框之間設置有一號扭簧，通過一號扭簧帶動轉板復位。
4、根據上述技術方案，所述清洗裝置內部設置有用于提高設備隔離效果的密封裝置，所述密封裝置上設置有脫離裝置，所述密封裝置包括梯形塊、連接管、液壓桿、推桿、連接框和密封橡膠，通過隔離板向靠近梯形塊的方向移動，隔離板移動會擠壓梯形塊向下移動，梯形塊向下移動會擠壓液壓桿向下移動，液壓桿向下移動會擠壓連接管內部的液體推動推桿向上移動，所述清洗裝置表面開設有凹槽，所述梯形塊滑動安裝在凹槽內壁，所述連接管固定貫穿凹槽表面，所述液壓桿滑動安裝在連接管內壁，所述液壓桿固定安裝在梯形塊底部，所述推桿滑動安裝在連接管遠離液壓桿的一端，所述連接框固定安裝在推桿頂部，所述密封橡膠設置在連接框頂部。
5、根據上述技術方案，所述連接框底部固定安裝有連接架，所述連接架表面轉動安裝有轉動板，所述轉動板圓周面固定安裝有方形板，所述清洗裝置內壁固定安裝有固定板，所述連接框表面滑動安裝有方形框，方形板向下轉動會帶動轉動板向上轉動，轉動板向上轉動會推動方形框向上移動，方形框向上移動會將密封橡膠罩起來。
6、根據上述技術方案，所述梯形塊與凹槽之間設置有二號彈簧，通過二號彈簧帶動梯形塊復位，所述連接架與轉動板之間設置有二號扭簧，通過二號扭簧帶動轉動板復位，所述固定板設置在方形板上方，所述連接框與方形框之間設置有三號彈簧，通過三號彈簧帶動方形框。
7、根據上述技術方案，所述脫離裝置包括密封板、連接板、旋轉板、限位塊、固定桿和凸塊，通過連接框向上移動帶動密封板向上移動，密封板向上移動會帶動連接板向上移動，連接板向上移動會帶動旋轉板向上移動，所述密封板固定安裝在連接框底部，所述清洗裝置表面開設有滑槽，所述連接板固定安裝在密封板靠近清洗裝置的一面，所述旋轉板轉動安裝在連接板內壁，所述限位塊固定安裝在連接板內壁，所述固定桿固定安裝在滑槽內壁，所述凸塊固定安裝在固定桿靠近旋轉板的一面。
8、根據上述技術方案，所述滑槽內壁滑動安裝有滑板，所述滑板表面轉動安裝有旋轉推板，所述滑板表面固定安裝有限位板，隔離板復位過程中缺槽會擠壓旋轉推板向下移動，旋轉推板會受到限位板限位，使旋轉推板帶動滑板向下移動，滑板向下移動會擠壓連接板向下，連接板向下移動會帶動密封板、連接框和密封橡膠向下移動。
9、根據上述技術方案，所述旋轉板與連接板之間設置有三號扭簧，通過三號扭簧帶動旋轉板復位，所述限位塊設置在旋轉板上方，所述滑槽與滑板之間設置有四號彈簧，通過四號彈簧帶動滑板復位，所述滑板與旋轉推板之間設置有四號扭簧，通過四號扭簧帶動旋轉推板復位。
10、本專利技術提供了一種半導體清洗設備的隔離裝置。具備以下有益效果：
11、（1）該專利技術，通過隔離板滑動過程中會接觸到清理輥，清理輥會將隔離板底部沾附的溶液或是雜質清理掉，防止關閉隔離板時，隔離板底部存在污染物，設備清洗過程中可能落入清洗裝置內，影響設備的隔離清洗效果，同時彈性伸縮板自由端向下移動會帶動清理輥向下移動，通過刮板將清理輥上的雜質刮下來，防止清理輥上沾附其他雜質，影響后續刮除效果。（2）該專利技術，通過連接框向上移動會帶動密封橡膠向上移動，通過密封橡膠向上移動與隔離板貼合，提高設備的密封隔離效果，良好的密封效果能夠有效防止外部空氣、灰塵、顆粒和其他污染物進入清洗區域，確保清洗過程的純凈性，通過方形框向上移動會將密封橡膠罩起來，防止清洗過程中，受污染的液體飛濺到密封橡膠上，加速橡膠的老化過程，導致橡膠變脆、失去彈性，從而影響密封性能。（3）該專利技術，通過旋轉板向下移動的過程中會與凸塊接觸產生振動，通過振動將飛濺上的清洗液抖動下來，防止清洗液沾附在方形框上，影響后續使用，同時隔離板復位過程中缺槽會擠壓旋轉推板向下移動，旋轉推板會受到限位板限位，使旋轉推板帶動滑板向下移動，滑板向下移動會擠壓連接板向下，連接板向下移動會帶動密封板、連接框和密封橡膠向下移動，防止密封橡膠與隔離板密封的過于緊密，影響設備正常打開。
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1.一種半導體清洗設備的隔離裝置，其特征在于，包括：清洗裝置（1），所述清洗裝置（1）表面固定安裝有滑軌（2），所述滑軌（2）內壁滑動安裝有滑塊（3）；
2.根據權利要求1所述的一種半導體清洗設備的隔離裝置，其特征在于：所述滑動框（10）與滑軌（2）之間設置有一號彈簧，所述轉板（9）與滑動框（10）之間設置有一號扭簧。
3.根據權利要求2所述的一種半導體清洗設備的隔離裝置，其特征在于：所述密封裝置包括梯形塊（131）、連接管（132）、液壓桿（133）、推桿（134）、連接框（135）和密封橡膠（136），所述清洗裝置（1）表面開設有凹槽，所述梯形塊（131）滑動安裝在凹槽內壁，所述連接管（132）固定貫穿凹槽表面，所述液壓桿（133）滑動安裝在連接管（132）內壁，所述液壓桿（133）固定安裝在梯形塊（131）底部，所述推桿（134）滑動安裝在連接管（132）遠離液壓桿（133）的一端，所述連接框（135）固定安裝在推桿（134）頂部，所述密封橡膠（136）設置在連接框（135）頂部。
4.根據權利要求3所述的一種半導體清洗設備的隔離裝置，其
5.根據權利要求4所述的一種半導體清洗設備的隔離裝置，其特征在于：所述梯形塊（131）與凹槽之間設置有二號彈簧，所述連接架（137）與轉動板（138）之間設置有二號扭簧，所述固定板（1310）設置在方形板（139）上方，所述連接框（135）與方形框（1311）之間設置有三號彈簧。
6.根據權利要求5所述的一種半導體清洗設備的隔離裝置，其特征在于：所述脫離裝置包括密封板（141）、連接板（142）、旋轉板（143）、限位塊（144）、固定桿（145）和凸塊（146），所述密封板（141）固定安裝在連接框（135）底部，所述清洗裝置（1）表面開設有滑槽，所述連接板（142）固定安裝在密封板（141）靠近清洗裝置（1）的一面，所述旋轉板（143）轉動安裝在連接板（142）內壁，所述限位塊（144）固定安裝在連接板（142）內壁，所述固定桿（145）固定安裝在滑槽內壁，所述凸塊（146）固定安裝在固定桿（145）靠近旋轉板（143）的一面。
7.根據權利要求6所述的一種半導體清洗設備的隔離裝置，其特征在于：所述滑槽內壁滑動安裝有滑板（147），所述滑板（147）表面轉動安裝有旋轉推板（148），所述滑板（147）表面固定安裝有限位板（149）。
8.根據權利要求7所述的一種半導體清洗設備的隔離裝置，其特征在于：所述旋轉板（143）與連接板（142）之間設置有三號扭簧，所述限位塊（144）設置在旋轉板（143）上方，所述滑槽與滑板（147）之間設置有四號彈簧，所述滑板（147）與旋轉推板（148）之間設置有四號扭簧。
...【技術特征摘要】
1.一種半導體清洗設備的隔離裝置，其特征在于，包括：清洗裝置（1），所述清洗裝置（1）表面固定安裝有滑軌（2），所述滑軌（2）內壁滑動安裝有滑塊（3）；
2.根據權利要求1所述的一種半導體清洗設備的隔離裝置，其特征在于：所述滑動框（10）與滑軌（2）之間設置有一號彈簧，所述轉板（9）與滑動框（10）之間設置有一號扭簧。
3.根據權利要求2所述的一種半導體清洗設備的隔離裝置，其特征在于：所述密封裝置包括梯形塊（131）、連接管（132）、液壓桿（133）、推桿（134）、連接框（135）和密封橡膠（136），所述清洗裝置（1）表面開設有凹槽，所述梯形塊（131）滑動安裝在凹槽內壁，所述連接管（132）固定貫穿凹槽表面，所述液壓桿（133）滑動安裝在連接管（132）內壁，所述液壓桿（133）固定安裝在梯形塊（131）底部，所述推桿（134）滑動安裝在連接管（132）遠離液壓桿（133）的一端，所述連接框（135）固定安裝在推桿（134）頂部，所述密封橡膠（136）設置在連接框（135）頂部。
4.根據權利要求3所述的一種半導體清洗設備的隔離裝置，其特征在于：所述連接框（135）底部固定安裝有連接架（137），所述連接架（137）表面轉動安裝有轉動板（138），所述轉動板（138）圓周面固定安裝有方形板（139），所述清洗裝置（1）內壁固定安裝有固定板（1310），所述連接框（135）表面滑動安裝有方形框（1311）。
5.根據權利要求4所述的一種半導體清洗設備...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張寶寶，劉超，金炫宇，
申請(專利權)人：嘉際環控西安科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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