【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于芯片清洗，尤其是涉及一種芯片制造用連續清洗設備。
技術介紹
1、芯片在電子學中是一種將電路小型化的方式，并時常制造在半導體晶圓表面上，清洗是芯片制造過程中重要的環節之一，清洗效果影響了芯片質量，清洗不均、不干凈或漏洗會導致臟污隱患，降低了芯片成品率。
2、經檢索，國家專利公開號為cn109860079b公開了一種加密芯片的清洗裝置，涉及半導體芯片
，包括裝置本體，所述裝置本體的兩個側面分別開有送料口與出料口，所述裝置本體由上蓋板和下槽體卡接而成，所述裝置本體內設有傳送機構和清洗機構。
3、經檢索，國家專利公開號為cn107393852b公開一種芯片清洗容器，包括容納腔，所述容納腔上開設有用于允許芯片夾持器伸入的孔縫，且所述容納腔的側壁上開設有若干條從其孔縫延伸至底部、用于允許所述芯片夾持器通過的孔縫。
4、通過上述方案在對芯片清洗過程中仍存在不足，如下：
5、1、該方案通過花籃盛裝芯片浸入清洗池中的方式對芯片進行清洗，然而花籃的容量有限，在依次清洗工作中，僅能對定量的芯片進行清洗，不適用于芯片的連續生產工序；
6、2、花籃的結構固定，在清洗過程中，芯片與花籃的接觸處往往存在死角，導致芯片處清洗不充分的問題；
7、3、工作時，芯片的位置固定，在沖洗和浸泡過程中，芯片與清洗液的接觸幾率不高，清潔程度不夠。
技術實現思路
1、本專利技術的目的是針對上述
技術介紹
中提出的清洗效果差、效率低的問題，提供
2、為達到上述目的，本專利技術采用了下列技術方案：一種芯片制造用連續清洗設備，包括：
3、清洗槽，所述清洗槽上端開口設置；
4、清洗架，所述清洗架包括轉動盤、若干轉軸和固定框，所述轉動盤轉動連接于清洗槽內壁上，若干所述轉軸呈環形陣列排布于轉動盤的側壁上，并且所述轉軸轉動連接于轉動盤上，若干所述固定框分別固定連接于若干轉軸上；
5、夾持組件，所述夾持組件位于固定框內，用于對芯片進行夾緊固定，所述夾持組件包括兩根滑桿、彈簧、若干磁性滑套和永磁塊，兩根所述滑桿均滑動連接于固定框內，并且所述滑桿沿固定框的長度方向延伸，所述彈簧的兩端分別與兩根滑桿連接，所述若干所述磁性滑套兩兩相對，并分別滑動套設于兩根滑桿上，同一根所述滑桿上的相鄰磁性滑套之間同極相對，若干所述永磁塊均勻排布于固定框兩側的側壁上，所述永磁塊與磁性滑套之間同極相對；
6、驅動組件，所述驅動組件用于驅動清洗架轉動，所述驅動組件包括電機、驅動齒輪、齒輪盤、齒圈和若干轉動齒輪；
7、擾流組件，所述擾流組件位于清洗架下方，用于推動清洗槽內液流波動，所述擾流組件包括從動齒輪、蝸桿、蝸輪、轉動桿和擾流葉輪。
8、進一步，所述電機固定安裝于清洗槽的外側壁上，所述電機的輸出軸通過聯軸器與驅動齒輪連接。
9、進一步，所述齒輪盤固定連接于清洗槽的內側壁上，并且所述齒輪盤與轉動盤共軸，所述齒圈同軸套設于齒輪盤外，并轉動連接于清洗槽的內側壁上，所述齒圈的內圈和外圈均設置齒槽，所述驅動齒輪與齒圈的外圈嚙合。
10、進一步，若干所述轉動齒輪分別固定連接于若干固定框上，并且若干所述轉動齒輪呈環形陣列排布于齒圈和齒輪盤的間隙中，所述轉動齒輪與齒輪盤和齒圈均嚙合。
11、進一步，所述蝸桿轉動連接于清洗槽的內壁上，所述從動齒輪固定連接于蝸桿上，并且所述從動齒輪與齒圈的外圈嚙合。
12、進一步，所述轉動桿有三根，均轉動連接于清洗槽的內底面，所述蝸輪和擾流葉輪均固定連接于轉動桿上，所述蝸輪與蝸桿相互嚙合。
13、進一步，所述蝸桿的兩端均安裝有軸承，所述蝸桿通過軸承轉動連接于清洗槽內。
14、進一步，所述清洗槽的側壁上連通有排污管，所述排污管上安裝有閥門。
15、本專利技術具有以下優點：
16、1、本專利技術通過設置驅動組件，工作時，可驅動固定框繞齒輪盤轉動，若干固定框依次浸入清洗槽內的清洗液中，實現對芯片的連續清，清洗完成后，帶動芯片轉動至清洗槽開口上方，可對清洗后的芯片進行更換，實現對芯片的連續清洗，有效提高了清洗效率洗，并且，固定框繞齒輪盤轉動同時可繞轉軸的軸線進行轉動，帶動芯片在清洗槽內翻轉，保證對芯片各處進行充分清洗，提高清潔效果。
17、2、本專利技術通過設置滑桿和彈簧，可由兩側邊對芯片進行快速夾緊固定，提高清洗效率，并且對芯片表面的遮擋面積較小，避免影響對芯片的清洗。
18、3、本專利技術通過設置磁性滑套、永磁塊，同極相對的磁性滑套，使得多個芯片在固定框內等距排列，避免芯片之間接觸遮擋，出現清潔死角，固定框在翻轉過程中，滑桿可在重力作用下滑動，增大與清洗液的接觸幾率，提高清洗效果，并且，通過設置永磁塊，當磁性滑套向永磁塊靠近移動時，磁性滑套與永磁塊之間的斥力可起到緩沖作用，避免滑桿與固定框內壁碰撞，導致芯片移位掉落的問題發生。
19、4、本專利技術通過設置擾流組件，工作時，以齒圈為驅動力，帶動擾流葉輪持續轉動，推動清洗槽內的清洗液流動，液流沖擊可促進芯片上污漬的脫離，進一步提高清洗效果，并且無需設置額外動力驅動裝置，提高動能的利用率。
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1.一種芯片制造用連續清洗設備，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的芯片制造用連續清洗設備，其特征在于，所述電機（41）固定安裝于清洗槽（1）的外側壁上，所述電機（41）的輸出軸通過聯軸器與驅動齒輪（42）連接。
3.根據權利要求1所述的芯片制造用連續清洗設備，其特征在于，所述齒輪盤（43）固定連接于清洗槽（1）的內側壁上，并且所述齒輪盤（43）與轉動盤（21）共軸，所述齒圈（44）同軸套設于齒輪盤（43）外，并轉動連接于清洗槽（1）的內側壁上，所述齒圈（44）的內圈和外圈均設置齒槽，所述驅動齒輪（42）與齒圈（44）的外圈嚙合。
4.根據權利要求1所述的芯片制造用連續清洗設備，其特征在于，若干所述轉動齒輪（45）分別固定連接于若干固定框（23）上，并且若干所述轉動齒輪（45）呈環形陣列排布于齒圈（44）和齒輪盤（43）的間隙中，所述轉動齒輪（45）與齒輪盤（43）和齒圈（44）均嚙合。
5.根據權利要求1所述的芯片制造用連續清洗設備，其特征在于，所述蝸桿（52）轉動連接于清洗槽（1）的內壁上，所述從動齒輪（51）固定連接于
6.根據權利要求1所述的芯片制造用連續清洗設備，其特征在于，所述轉動桿（54）有三根，均轉動連接于清洗槽（1）的內底面，所述蝸輪（53）和擾流葉輪（55）均固定連接于轉動桿（54）上，所述蝸輪（53）與蝸桿（52）相互嚙合。
7.根據權利要求1所述的芯片制造用連續清洗設備，其特征在于，所述蝸桿（52）的兩端均安裝有軸承（6），所述蝸桿（52）通過軸承（6）轉動連接于清洗槽（1）內。
8.根據權利要求1所述的芯片制造用連續清洗設備，其特征在于，所述清洗槽（1）的側壁上連通有排污管（7），所述排污管（7）上安裝有閥門。
...【技術特征摘要】
1.一種芯片制造用連續清洗設備，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的芯片制造用連續清洗設備，其特征在于，所述電機（41）固定安裝于清洗槽（1）的外側壁上，所述電機（41）的輸出軸通過聯軸器與驅動齒輪（42）連接。
3.根據權利要求1所述的芯片制造用連續清洗設備，其特征在于，所述齒輪盤（43）固定連接于清洗槽（1）的內側壁上，并且所述齒輪盤（43）與轉動盤（21）共軸，所述齒圈（44）同軸套設于齒輪盤（43）外，并轉動連接于清洗槽（1）的內側壁上，所述齒圈（44）的內圈和外圈均設置齒槽，所述驅動齒輪（42）與齒圈（44）的外圈嚙合。
4.根據權利要求1所述的芯片制造用連續清洗設備，其特征在于，若干所述轉動齒輪（45）分別固定連接于若干固定框（23）上，并且若干所述轉動齒輪（45）呈環形陣列排布于齒圈（44）和齒輪盤（43）的間隙中，所述轉動齒輪（45）與齒輪...
【專利技術屬性】
技術研發人員：吳艷，夏可佳，杜麗，
申請(專利權)人：南京爾銘峻科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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