【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及紅外測溫，尤其涉及一種測量金剛石生長的溫度方法。
技術介紹
1、紅外測溫技術主要利用了物體的紅外輻射特性進行溫度測量，這一原理基于熱力學和光學原理，即物體的溫度越高，其發射的紅外輻射強度也越大，測溫裝置通過紅外傳感器接收物體發射的紅外輻射，并將其轉換成溫度數值，這種測溫原理使得測溫裝置可以在不接觸物體的情況下進行溫度測量，避免了傳統接觸式溫度計可能造成的交叉感染和損壞物體表面的情況，單晶金剛石是一種性能優良的寬禁帶半導體材料，其在高溫、高頻以及高功率電子器件的制造方面正獲得越來越廣泛的應用，然而，單晶金剛石生長過程中溫度對其品質的提升有著顯著的影響，溫度不均勻使其表面有溫差，溫度高不利于單晶生長，溫度低造成發黃，降低了金剛石的品質。
2、金剛石生長過程中，隨著厚度的變化測溫點的位置也在移動，后期即使溫度不變的情況下，測溫可能不準確，導致單晶金剛石表面會出現多晶生長，降低了金剛石的品質，同時增大切割損耗，目前，測溫不準確影響著人為判斷，測溫點從觀察窗進入一部分光源可能落在壁面上，導致測溫偏低；同時由于觀察窗小，使測溫具有局限性，不能完全測到每片金剛石，因此，對于設備的不足之處仍需改進。
3、因此，針對上述金剛石生長過程中測溫點隨生長厚度變化而移動，測溫可能不準確的問題，可以設計一種測溫準確的方法。
技術實現思路
1、為了克服金剛石生長過程中測溫點隨生長厚度變化而移動，測溫可能不準確的問題。
2、本專利技術的技術方案為：一種測量金剛石生
3、步驟一：設計用于測量金剛石生長溫度的測量裝置，測量裝置包括底座和測量箱；底座上端固定連接有垂直支撐桿；垂直支撐桿上端轉動連接有測量桿；測量桿端頭處固定連接有測溫鏡頭，測溫鏡頭下方與彈簧裝置的一端相連，彈簧裝置另一端與垂直支撐桿固定連接；測量箱左端設置有觀察窗；彈簧裝置內安裝有螺絲；測量箱內設置有鉬基臺；
4、步驟二：將底座固定在測量箱的左側，調整底座的前后位置，然后左右移動底座，在合適的位置將底座固定，松開螺絲，通過彈簧裝置的伸縮調整測溫鏡頭的位置，直至滿足測溫位置要求后，擰緊螺絲，測溫鏡頭接收金剛石發射的紅外輻射，并將其轉換成溫度數值；
5、步驟三：隨著金剛石生長越來越厚，通過螺絲微調測溫鏡頭移動，使溫度測在金剛石表面中心位置。
6、作為優選，測溫鏡頭和觀察窗均采用左高右低的設計，且測溫鏡頭的直徑小于觀察窗的直徑。
7、作為優選，測溫位置要求為：鉬基臺上端金剛石發射的紅外線穿過觀察窗聚焦在測溫鏡頭上。
8、作為優選，測溫鏡頭包括光學系統、光電探測器、信號放大器及信號處理和顯示輸出部分，其中光學系統負責匯聚金剛石的紅外輻射能量，光電探測器將接收到的紅外輻射轉換為電信號，信號放大器和信號處理電路對電信號進行處理和計算，最終通過顯示輸出部分將金剛石的溫度值顯示在外接的顯示設備上。
9、作為優選，調整底座前后位置的標準為：使觀察窗的軸線和測溫鏡頭的軸線在同一個正視平面上。
10、作為優選，左右移動底座的標準為：測溫鏡頭到金剛石的距離大于最小檢測距離且小于最大檢測距離。
11、本專利技術的有益效果：可以準確測量鉬基臺上金剛石生長過程中的溫度情況，通過擴大觀察窗窗口大小，防止測溫點落在觀察窗壁上，導致測溫不準確，在測溫鏡頭上固定彈簧裝置，利用彈簧裝置的伸縮調整測溫點的位置，改善了現有技術下測量位置區域小的局限性，同時解決了金剛石生長過程中測溫點隨生長厚度變化而移動的問題，避免因測溫不準確，導致單晶金剛石表面會出現多晶生長，降低了金剛石的品質，同時增大切割損耗的問題，進一步提高金剛石的品質。
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1.一種測量金剛石生長的溫度方法，其特征在于：包括如下步驟：
2.根據權利要求1所述的測量金剛石生長的溫度方法，其特征在于：測溫鏡頭（4）和觀察窗（7）均采用左高右低的設計，且測溫鏡頭（4）的直徑小于觀察窗（7）的直徑。
3.根據權利要求1所述的測量金剛石生長的溫度方法，其特征在于：測溫位置要求為：鉬基臺（9）上端金剛石發射的紅外線穿過觀察窗（7）聚焦在測溫鏡頭（4）上。
4.根據權利要求1所述的測量金剛石生長的溫度方法，其特征在于：測溫鏡頭（4）包括光學系統、光電探測器、信號放大器及信號處理和顯示輸出部分，其中光學系統負責匯聚金剛石的紅外輻射能量，光電探測器將接收到的紅外輻射轉換為電信號，信號放大器和信號處理電路對電信號進行處理和計算，最終通過顯示輸出部分將金剛石的溫度值顯示在外接的顯示設備上。
5.根據權利要求1所述的測量金剛石生長的溫度方法，其特征在于：調整底座（1）前后位置的標準為：使觀察窗（7）的軸線和測溫鏡頭（4）的軸線在同一個正視平面上。
6.根據權利要求1所述的測量金剛石生長的溫度方法，其特征在于：左右移
...【技術特征摘要】
1.一種測量金剛石生長的溫度方法，其特征在于：包括如下步驟：
2.根據權利要求1所述的測量金剛石生長的溫度方法，其特征在于：測溫鏡頭（4）和觀察窗（7）均采用左高右低的設計，且測溫鏡頭（4）的直徑小于觀察窗（7）的直徑。
3.根據權利要求1所述的測量金剛石生長的溫度方法，其特征在于：測溫位置要求為：鉬基臺（9）上端金剛石發射的紅外線穿過觀察窗（7）聚焦在測溫鏡頭（4）上。
4.根據權利要求1所述的測量金剛石生長的溫度方法，其特征在于：測溫鏡頭（4）包括光學系統、光電探測器、信號放大器及信號處理和顯示...
【專利技術屬性】
技術研發人員：黨增琦，張明，王益偉，李陰龍，
申請(專利權)人：陜西北元化工集團股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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