【技術實現(xiàn)步驟摘要】
本技術涉及化學試劑凈化設備領域，特別是涉及一種超凈高純試劑的自動化過濾裝置。
技術介紹
1、隨著半導體技術的迅速發(fā)展，對超凈高純試劑的要求越來越高。在集成電路的加工過程中，超凈高純試劑主要用于芯片及硅圓片表面的清洗和蝕刻，其純度和清潔度對集成電路的成品率、電性能及可靠性有著十分重大的影響。
2、目前處理超凈高純試劑的方法主要用精餾，但是精餾對去除溶劑內的金屬、顆粒度等雜質的效果不佳，處理后的試劑指標無法滿足超凈高純試劑的要求，還必須結合精密過濾裝置進一步處理才能實現(xiàn)，因此，存在處理過程復雜，工藝流程長，設備投入多，成本高等缺點。
技術實現(xiàn)思路
1、本技術通過提供一種超凈高純試劑的自動化過濾裝置，通過一套裝置有效去除超凈高純試劑中的雜質，過濾效果好，自動化程度高。
2、為解決上述技術問題，本技術提供了一種超凈高純試劑的自動化過濾裝置，包括：原料槽和成品槽，所述原料槽和成品槽之間通過管道連接有級數(shù)依次增大的n個級別的過濾器，且n-1級過濾器和n級過濾器之間連接有分流管道，所述分流管道上安裝有第一電磁閥，所述分流管道與所述原料槽連接，形成第一循環(huán)回路；所述n級過濾器與所述原料槽之間通過帶有第二電磁閥的管道連接，形成第二循環(huán)回路；所述n級過濾器與所述成品槽之間的管道上安裝有第三電磁閥。
3、在本技術一個較佳實施例中，所述連續(xù)過濾裝置還包括程序控制器，所述程序控制器分別與所述第一電磁閥、第二電磁閥和第三電磁閥信號連接。
4、在本技術一個較佳實施
5、在本技術一個較佳實施例中，所述過濾器的數(shù)量為三級以上。
6、在本技術一個較佳實施例中，所述原料槽與一級過濾器之間的管道上安裝有循環(huán)泵。
7、在本技術一個較佳實施例中，所述循環(huán)泵與所述程序控制器信號連接。
8、在本技術一個較佳實施例中，所述連續(xù)過濾裝置還包括濃縮槽，一級過濾器至n-1級別過濾器分別通過帶有第四電磁閥的管道與所述濃縮槽連接；所述n級過濾器通過帶有第五電磁閥的管道與所述濃縮槽連接。
9、在本技術一個較佳實施例中，所述第四電磁閥和第五電磁閥分別與所述程序控制器信號連接。
10、在本技術一個較佳實施例中，所述連續(xù)過濾裝置還包括廢液槽，所述廢液槽通過帶有第六電磁閥的管道與所述n級過濾器連接。
11、在本技術一個較佳實施例中，所述第六電磁閥與所述程序控制器信號連接。
12、本技術的有益效果是：本技術一種超凈高純試劑的自動化過濾裝置，通過原料槽、成品槽、n個級別的過濾器和分流管道的設計，實現(xiàn)集分流、回流、定時排液和恒壓過濾于一體的連續(xù)化過濾，簡化了過濾流程，有效提高了過濾效果和過濾速率，成本低，實用性強。
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1.一種超凈高純試劑的自動化過濾裝置，其特征在于，包括：原料槽和成品槽，所述原料槽和成品槽之間通過管道連接有級數(shù)依次增大的N個級別的過濾器，且N-1級過濾器和N級過濾器之間連接有分流管道，所述分流管道上安裝有第一電磁閥，所述分流管道與所述原料槽連接，形成第一循環(huán)回路；所述N級過濾器與所述原料槽之間通過帶有第二電磁閥的管道連接，形成第二循環(huán)回路；所述N級過濾器與所述成品槽之間的管道上安裝有第三電磁閥。
2.根據權利要求1所述的一種超凈高純試劑的自動化過濾裝置，其特征在于，還包括程序控制器，所述程序控制器分別與所述第一電磁閥、第二電磁閥和第三電磁閥信號連接。
3.根據權利要求2所述的一種超凈高純試劑的自動化過濾裝置，其特征在于，所述N級過濾器上還安裝有壓力傳感器，所述壓力傳感器與所述程序控制器信號連接。
4.根據權利要求3所述的一種超凈高純試劑的自動化過濾裝置，其特征在于，所述過濾器的數(shù)量為三級以上。
5.根據權利要求2所述的一種超凈高純試劑的自動化過濾裝置，其特征在于，所述原料槽與一級過濾器之間的管道上安裝有循環(huán)泵。
6.
7.根據權利要求2所述的一種超凈高純試劑的自動化過濾裝置，其特征在于，還包括濃縮槽，一級過濾器至N-1級別過濾器分別通過帶有第四電磁閥的管道與所述濃縮槽連接；所述N級過濾器通過帶有第五電磁閥的管道與所述濃縮槽連接。
8.根據權利要求7所述的一種超凈高純試劑的自動化過濾裝置，其特征在于，所述第四電磁閥和第五電磁閥分別與所述程序控制器信號連接。
9.根據權利要求2所述的一種超凈高純試劑的自動化過濾裝置，其特征在于，還包括廢液槽，所述廢液槽通過帶有第六電磁閥的管道與所述N級過濾器連接。
10.根據權利要求9所述的一種超凈高純試劑的自動化過濾裝置，其特征在于，所述第六電磁閥與所述程序控制器信號連接。
...【技術特征摘要】
1.一種超凈高純試劑的自動化過濾裝置，其特征在于，包括：原料槽和成品槽，所述原料槽和成品槽之間通過管道連接有級數(shù)依次增大的n個級別的過濾器，且n-1級過濾器和n級過濾器之間連接有分流管道，所述分流管道上安裝有第一電磁閥，所述分流管道與所述原料槽連接，形成第一循環(huán)回路；所述n級過濾器與所述原料槽之間通過帶有第二電磁閥的管道連接，形成第二循環(huán)回路；所述n級過濾器與所述成品槽之間的管道上安裝有第三電磁閥。
2.根據權利要求1所述的一種超凈高純試劑的自動化過濾裝置，其特征在于，還包括程序控制器，所述程序控制器分別與所述第一電磁閥、第二電磁閥和第三電磁閥信號連接。
3.根據權利要求2所述的一種超凈高純試劑的自動化過濾裝置，其特征在于，所述n級過濾器上還安裝有壓力傳感器，所述壓力傳感器與所述程序控制器信號連接。
4.根據權利要求3所述的一種超凈高純試劑的自動化過濾裝置，其特征在于，所述過濾器的數(shù)量為三級以上。
5.根據權利要...
【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：顧學峰，戴惠明，張路家，
申請(專利權)人：永華化學股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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