【技術實現步驟摘要】
本技術屬于涂膠機，具體地說是一種具有伸縮結構的涂膠機擺臂。
技術介紹
1、目前半導體行業有多路膠的需求，如圖2和圖3所示，一般擺臂的靠近晶圓的一端設有單排的噴膠頭，涂膠機的橫移機構連接擺臂遠離晶圓的一端并帶動擺臂橫移，以起到切換膠路的作用。但隨著半導體行業的發展，涂膠機也隨之有了更多膠路的需求。而僅靠在擺臂上在同一排設置更多的噴膠頭的方式，能增加的噴膠頭數量較為有限，且適配的橫移機構及擺臂本身橫向也需占據更多空間，從而影響涂膠機整體的結構。
技術實現思路
1、針對上述問題，本技術的目的在于提供一種具有伸縮結構的涂膠機擺臂。
2、本技術的目的是通過以下技術方案來實現的：
3、一種具有伸縮結構的涂膠機擺臂，包括擺臂基板、前后驅動件、轉接架、噴膠頭安裝板及噴膠頭組；
4、所述擺臂基板與涂膠機的橫移機構連接，所述前后驅動件安裝于所述擺臂基板上，所述轉接架與所述前后驅動件的驅動端連接，所述噴膠頭安裝板連接于所述轉接架上，所述噴膠頭安裝板上設置有至少兩個噴膠頭組，每個所述噴膠頭組均包括沿左右方向均勻設置的若干個噴膠頭。
5、各所述噴膠頭組相互平行設置。
6、每個所述噴膠頭組所包括的噴膠頭的數量均相同。
7、所述轉接架分為連接在一起的水平部分及豎直部分，所述轉接架的水平部分與所述前后驅動件的驅動端連接，所述轉接架的豎直部分位于所述轉接架的水平部分的前側、并與所述噴膠頭安裝板連接。
8、所述轉接架的豎直部分上沿豎直
9、所述轉接架的豎直部分同時還位于所述前后驅動件的前方。
10、所述轉接架的水平部分上安裝有保護罩。
11、本技術的優點與積極效果為：
12、本技術通過擺臂基板、前后驅動件、轉接架、噴膠頭安裝板及噴膠頭組的配合設置，可多排設置噴膠頭，并能夠由前后驅動件通過轉接架帶動噴膠頭安裝板實現前后移動，并依次使需要噴液的各噴膠頭組的噴膠頭的中心正對準晶圓中心，進而使每路膠均能噴涂在晶圓中心，避免僅在單一一排設置更多噴膠頭而使得適配的橫移機構及擺臂本身在橫向占據過多空間的問題，可以兼容的光刻膠種類增加，更適用于需要較多膠路需求的工藝。
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1.一種具有伸縮結構的涂膠機擺臂，其特征在于：包括擺臂基板(1)、前后驅動件(2)、轉接架(3)、噴膠頭安裝板(4)及噴膠頭組；
2.根據權利要求1所述的一種具有伸縮結構的涂膠機擺臂，其特征在于：各所述噴膠頭組相互平行設置。
3.根據權利要求2所述的一種具有伸縮結構的涂膠機擺臂，其特征在于：每個所述噴膠頭組所包括的噴膠頭(5)的數量均相同。
4.根據權利要求1所述的一種具有伸縮結構的涂膠機擺臂，其特征在于：所述轉接架(3)分為連接在一起的水平部分及豎直部分，所述轉接架(3)的水平部分與所述前后驅動件(2)的驅動端連接，所述轉接架(3)的豎直部分位于所述轉接架(3)的水平部分的前側、并與所述噴膠頭安裝板(4)連接。
5.根據權利要求4所述的一種具有伸縮結構的涂膠機擺臂，其特征在于：所述轉接架(3)的豎直部分上沿豎直方向開設有若干個長孔(301)，各所述長孔(301)分別穿設有用于固定噴膠頭安裝板(4)的固定螺釘，各所述固定螺釘分別通過螺紋與所述固定噴膠頭安裝板(4)連接；旋緊所述固定螺釘時，各所述固定螺釘的頭部及固定噴膠頭安裝板(4)
6.根據權利要求4所述的一種具有伸縮結構的涂膠機擺臂，其特征在于：所述轉接架(3)的豎直部分同時還位于所述前后驅動件(2)的前方。
7.根據權利要求4所述的一種具有伸縮結構的涂膠機擺臂，其特征在于：所述轉接架(3)的水平部分上安裝有保護罩(6)。
...【技術特征摘要】
1.一種具有伸縮結構的涂膠機擺臂，其特征在于：包括擺臂基板(1)、前后驅動件(2)、轉接架(3)、噴膠頭安裝板(4)及噴膠頭組；
2.根據權利要求1所述的一種具有伸縮結構的涂膠機擺臂，其特征在于：各所述噴膠頭組相互平行設置。
3.根據權利要求2所述的一種具有伸縮結構的涂膠機擺臂，其特征在于：每個所述噴膠頭組所包括的噴膠頭(5)的數量均相同。
4.根據權利要求1所述的一種具有伸縮結構的涂膠機擺臂，其特征在于：所述轉接架(3)分為連接在一起的水平部分及豎直部分，所述轉接架(3)的水平部分與所述前后驅動件(2)的驅動端連接，所述轉接架(3)的豎直部分位于所述轉接架(3)的水平部分的前側、并與所述噴膠頭安裝板(4)連...
【專利技術屬性】
技術研發人員：隋天譯，郭生華，張逢洋，楊秀春，李鑫，
申請(專利權)人：沈陽芯源微電子設備股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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