【技術實現步驟摘要】
本申請涉及廢氣過濾設備，具體涉及一種過濾設備。
技術介紹
1、太陽能電池的制備過程中，硅片需要依次經過制絨、硼擴散、刻蝕、鍍膜以及印刷等工序。其中，硼擴散工序是太陽能電池制備過程中的一個核心工序，即硅片以石英舟為載體放入擴散爐中，在一定溫度下向擴散爐內通入氮氣、氧氣和擴散源，以使硅片的表面擴散沉積pn結(p型和n型半導體之間的接觸面即稱為pn結)。
2、硼擴散工藝會產生大量攜帶b2o3的廢氣，b2o3在低于特定溫度會析晶形成白色粉塵，這部分廢氣需要經過過濾后排出，避免對環境造成污染。
3、隨著太陽能發電的普及，相關的光伏產品需求量越來越大，在日益提高產能需求的前提下，廢氣處理量越來越大。若通過現有技術中用于對廢氣進行過濾的過濾設備，對硼擴散工藝產生的廢氣進行過濾，需頻繁更換濾芯，人力物力成本較高，且影響生產進度。
技術實現思路
1、本申請的目的是提供一種過濾設備，用于對廢氣中的粉塵進行過濾，并可實現自清潔，無需頻繁更換濾芯，省時省力且成本低，減少維修。
2、為解決上述技術問題，本申請提供一種過濾設備，包括過濾部和清洗部；所述過濾部包括殼體，所述殼體的內腔形成過濾腔，所述過濾腔內設有至少兩層層疊布置的過濾層，所述殼體設有與所述過濾腔連通的進氣口和出氣口，所述進氣口側設有第一閥；所述清洗部包括分別與所述過濾腔連通的介質通入管和出廢管，所述介質通入管用于向所述過濾腔內通入清洗介質，以清洗各所述過濾層，所述出廢管用于排出所述過濾腔內的清洗介質，且所述介質
3、通過多層依次并列設置的過濾層對廢氣進行過濾，相較于通過多個串聯設置的濾筒對廢氣進行過濾的方案來說，明顯可以簡化該過濾設備的整體結構和體積，減小整體占地面積，靈活性更好，并且，便于清洗部的清洗操作，保證該過濾設備長期穩定運行。
4、由于過濾部的各過濾層是依次層疊布置的，具體的過濾層的數量和過濾精度可根據實際廢氣中粉塵含量和廢氣排放要求確定即可，過濾層的材質可根據使用工況選擇，而過濾層的形狀、結構等可根據過濾腔的結構設置即可，過濾層在殼體內的安裝方式不做限制，如插接連接、焊接固定等均可，靈活性好。該過濾設備能夠適用于各種有過濾需求的場景。
5、清洗部包括分別與過濾腔連通設置的介質通入管和出廢管，其中，清洗部能夠通過介質通入管向過濾腔內通入清洗介質，清洗介質由介質通入管通入過濾腔內后，在依次經過各過濾層并對各過濾層進行清洗后，由出廢管排出，介質通入管和出廢管分別設有開關閥，用于開閉介質通入管和出廢管，不難理解，當需要用清洗介質對過濾部的各過濾層進行清洗時，打開介質通入管和出廢管的開關閥，而在對廢氣進行過濾的過程中，需要將介質通入管和出廢管的開關閥關閉。
6、清洗介質對過濾層進行清洗，具體可通過程序設定，以隨時自動清洗，并且清洗時間可根據需求設置即可，靈活性好，并且過濾層可以重復利用，無需拆卸、更換，降低備件損耗和維護成本。
7、可選地，所述殼體設有與所述過濾腔連通的連接管，所述連接管遠離所述殼體的一端設有第一連接端和第二連接端，所述第一連接端形成所述進氣口并設有所述第一閥，所述第二連接端與所述介質通入管密封連接。
8、可選地，所述殼體朝向連接管的一端設有喇叭形結構，所述喇叭形結構的小徑端與所述連接管連接。
9、可選地，所述介質通入管的端部設有扇形噴嘴，所述扇形噴嘴包括縮口端和敞口端，且所述扇形噴嘴的口徑由所述縮口端向所述敞口端逐漸增大，所述敞口端朝向所述過濾腔的一側設置，并與所述過濾層相對。
10、可選地，還包括干燥部，所述干燥部與所述過濾部的出氣口連通。
11、可選地，還包括罩殼，所述罩殼內通過多孔板分隔形成干燥腔和流通腔，所述干燥腔內設有干燥劑并形成所述干燥部，所述流通腔連通于所述過濾腔和所述干燥腔之間，所述流通腔的底部設有出廢口，所述出廢口與所述出廢管連通。
12、可選地，所述流通腔的底壁沿所述出廢口的周向還設有導向面。
13、可選地，所述干燥腔設于所述流通腔的上方，所述殼體設于所述流通腔內，所述殼體的底部為敞口結構并形成所述出氣口。
14、可選地，所述罩殼包括筒體、頂蓋和底蓋，所述筒體內設有所述多孔板，所述頂蓋和所述筒體的頂端之間，以及所述底蓋和所述筒體的底端之間，分別通過密封法蘭固定。
15、可選地，所述殼體的內壁面以及所述過濾層的表面分別設有防腐涂層。
16、可選地，所述第一閥為單向閥，所述單向閥的流通方向由所述進氣通道向所述過濾部。
17、可選地，還包括冷卻裝置和泵，所述冷卻裝置通過進氣通道與所述進氣口連通，所述出氣口連通有出氣通道，所述泵設于所述出氣通道。
18、可選地，所述進氣通道還包括蛇形盤管。
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1.一種過濾設備，其特征在于，包括過濾部(1)和清洗部；
2.根據權利要求1所述的過濾設備，其特征在于，所述殼體(11)設有與所述過濾腔(12)連通的連接管(15)，所述連接管(15)遠離所述殼體(11)的一端設有第一連接端(16)和第二連接端(17)，所述第一連接端(16)形成所述進氣口并設有所述第一閥(14)，所述第二連接端(17)與所述介質通入管(21)密封連接。
3.根據權利要求2所述的過濾設備，其特征在于，所述殼體(11)朝向連接管(15)的一端設有喇叭形結構(111)，所述喇叭形結構(111)的小徑端與所述連接管(15)連接。
4.根據權利要求2所述的過濾設備，其特征在于，所述介質通入管(21)的端部設有扇形噴嘴(211)，所述扇形噴嘴(211)包括縮口端和敞口端，且所述扇形噴嘴(211)的口徑由所述縮口端向所述敞口端逐漸增大，所述敞口端朝向所述過濾腔(12)的一側設置，并與所述過濾層(13)相對。
5.根據權利要求1-4任一項所述的過濾設備，其特征在于，還包括干燥部(4)，所述干燥部(4)與所述過濾部(1)的出氣口(1
6.根據權利要求5所述的過濾設備，其特征在于，還包括罩殼(5)，所述罩殼(5)內通過多孔板(56)分隔形成干燥腔(41)和流通腔(54)，所述干燥腔(41)內設有干燥劑(42)并形成所述干燥部(4)，所述流通腔(54)連通于所述過濾腔(12)和所述干燥腔(41)之間，所述流通腔(54)的底部設有出廢口(55)，所述出廢口(55)與所述出廢管(22)連通。
7.根據權利要求6所述的過濾設備，其特征在于，所述流通腔(54)的底壁沿所述出廢口(55)的周向還設有導向面(57)。
8.根據權利要求6所述的過濾設備，其特征在于，所述干燥腔(41)設于所述流通腔(54)的上方，所述殼體(11)設于所述流通腔(54)內，所述殼體(11)的底部為敞口結構并形成所述出氣口(18)。
9.根據權利要求6所述的過濾設備，其特征在于，所述罩殼(5)包括筒體(51)、頂蓋(52)和底蓋(53)，所述筒體(51)內設有所述多孔板(56)，所述頂蓋(52)和所述筒體(51)的頂端之間，以及所述底蓋(53)和所述筒體(51)的底端之間，分別通過密封法蘭固定。
10.根據權利要求1-4任一項所述的過濾設備，其特征在于，所述殼體(11)的內壁面以及所述過濾層(13)的表面分別設有防腐涂層。
11.根據權利要求1-4任一項所述的過濾設備，其特征在于，所述第一閥(14)為單向閥，所述單向閥的流通方向由進氣通道(31)向所述過濾部(1)。
12.根據權利要求1-4任一項所述的過濾設備，其特征在于，還包括冷卻裝置(6)和泵(7)，所述冷卻裝置(6)通過進氣通道(31)與所述進氣口連通，所述出氣口(18)連通有出氣通道(32)，所述泵(7)與所述出氣通道(32)連通。
13.根據權利要求12所述的過濾設備，其特征在于，所述進氣通道(31)還包括蛇形盤管(9)。
...【技術特征摘要】
1.一種過濾設備，其特征在于，包括過濾部(1)和清洗部；
2.根據權利要求1所述的過濾設備，其特征在于，所述殼體(11)設有與所述過濾腔(12)連通的連接管(15)，所述連接管(15)遠離所述殼體(11)的一端設有第一連接端(16)和第二連接端(17)，所述第一連接端(16)形成所述進氣口并設有所述第一閥(14)，所述第二連接端(17)與所述介質通入管(21)密封連接。
3.根據權利要求2所述的過濾設備，其特征在于，所述殼體(11)朝向連接管(15)的一端設有喇叭形結構(111)，所述喇叭形結構(111)的小徑端與所述連接管(15)連接。
4.根據權利要求2所述的過濾設備，其特征在于，所述介質通入管(21)的端部設有扇形噴嘴(211)，所述扇形噴嘴(211)包括縮口端和敞口端，且所述扇形噴嘴(211)的口徑由所述縮口端向所述敞口端逐漸增大，所述敞口端朝向所述過濾腔(12)的一側設置，并與所述過濾層(13)相對。
5.根據權利要求1-4任一項所述的過濾設備，其特征在于，還包括干燥部(4)，所述干燥部(4)與所述過濾部(1)的出氣口(18)連通。
6.根據權利要求5所述的過濾設備，其特征在于，還包括罩殼(5)，所述罩殼(5)內通過多孔板(56)分隔形成干燥腔(41)和流通腔(54)，所述干燥腔(41)內設有干燥劑(42)并形成所述干燥部(4)，所述流通腔(54)連通于所述過濾腔(12)和所述干燥腔(41)之間，所述流通腔(54)的底部設有出廢口(...
【專利技術屬性】
技術研發人員：陳程，浦錫偉，陳云，
申請(專利權)人：江蘇微導納米科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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