【技術實現步驟摘要】
本申請涉及半導體制造，特別涉及一種用于半導體制造工廠內的進氣系統以及廢氣處理設備。
技術介紹
1、半導體制造工藝使用不同種類不同流量的制程氣體，這些氣體具有腐蝕、劇毒以及易燃易爆等性質，不可同時經過廠區內的集中廢氣處理設備(center?scrubber)進行處理后排放，這就需要一個本地或者區域的廢氣處理設備(local?scrubber?or?abatement)，在所述本地或者區域的廢氣處理設備中通過高溫加水洗的化學反應及物理吸附來減少制程廢氣或將所述制程廢氣經過氧化處理后，通過排氣管路進入到集中廢氣處理設備進行再處理后進行排放。
2、但一些易燃易爆的氣體(例如h2、sih4等氣體)從主機生產腔室通過干泵(drypump)、再經過連接管路進入到本地或者區域的廢氣處理設備進行處理時，會發生回火的問題，致使連接管路出現高溫，安全風險極高，損壞所述本地或者區域的廢氣處理設備及其連接管路，導致生產成本升高。為防止這種事件的發生，需要一種具有防回火功能的廢氣處理設備的進氣系統，來降低事故風險。
技術實現思路
1、本申請的目的在于提供一種進氣系統以及廢氣處理設備，所述進氣系統安裝在所述廢氣處理設備中，避免在所述廢氣處理設備中發生回火，以降低事故風險。
2、本申請實施例一方面提供一種進氣系統，用于廢氣處理設備，包括：排氣放大裝置，所述排氣放大裝置包括：沿所述排氣放大裝置的第一端向第二端貫通的主通道，用于通過廢氣；貫穿所述排氣放大裝置側壁的第一貫通孔，用于通入調壓氣體；
3、本申請一些實施例中，所述調節通道與所述第一貫通孔垂直，用于調整所述第一貫通孔中通入的調壓氣體的流動方向。
4、本申請一些實施例中，所述排氣放大裝置包括第一部和第二部，所述第一部位于所述排氣放大裝置的第一端，用于通入調壓氣體，所述第一貫通孔貫穿所述第二部的側壁。
5、本申請一些實施例中，所述第一部和所述第二部的連接端分別包括沿周向設置的第一連接部和第二連接部，所述第一連接部和所述第二連接部之間通過連接件可拆卸連接。
6、本申請一些實施例中，所述加速管路的形狀為圓臺。
7、本申請一些實施例中，所述加速管路的第一端的內徑為36mm至40mm，所述加速管路的第二端的內徑為10mm至14mm，所述加速管路的高度為40mm至50mm。
8、本申請另一方面還提供一種廢氣處理設備，包括：上述的進氣系統，所述排氣放大裝置的第一端用于通入廢氣；廢氣反應腔，與所述加速管路的第二端密封連接，用于處理廢氣；水溶解系統，連接所述廢氣反應腔的排氣口，用于溶解所述廢氣反應腔中排出的可溶氣體。
9、本申請一些實施例中，所述廢氣處理設備還包括中央廢氣處理系統，用于處理所述水溶解系統排出的氣體。
10、本申請一些實施例中，所述中央廢氣處理系統與所述水溶解系統的排氣口之間通過酸毒排氣管連接。
11、本申請一些實施例中，所述水溶解系統包括依次連接的儲水容器和水洗塔。
12、在本申請實施例提供的進氣系統，通過貫穿所述排氣放大裝置側壁的第一貫通孔來通入調壓氣體，并通過設置在所述排氣放大裝置側壁中且與所述主通道貫通的調節通道使所述第一貫通孔中通入的調壓氣體的流動方向調整為與所述主通道中廢氣的流動方向一致，從而使所述排氣放大裝置第一端通入的廢氣的壓強p1在經過所述排氣放大裝置的第二端時壓強變小為p2(p2<p1)，起到增加廢氣在所述主通道內流速的作用，隨后，所述廢氣經過所述加速管路后，從所述加速管路的第二端流出時流速進一步增加，從而達到防回火的作用，同時，廢氣在所述加速管路的第二端的壓強也增加為p3，其中p3的數值與p1的值基本相同，使得從所述至加速管路的第二端流出的廢氣的阻力幾乎不變，避免了干泵排氣不暢，功率升高，能耗增加的情況發生。
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1.一種進氣系統，用于廢氣處理設備，其特征在于，所述進氣系統包括：排氣放大裝置，所述排氣放大裝置包括：
2.根據權利要求1所述的進氣系統，其特征在于，所述調節通道與所述第一貫通孔垂直。
3.根據權利要求1所述的進氣系統，其特征在于，所述排氣放大裝置包括第一部和第二部，所述第一部位于所述排氣放大裝置的第一端，用于通入調壓氣體，所述第一貫通孔貫穿所述第二部的側壁。
4.根據權利要求3所述的進氣系統，其特征在于，所述第一部和所述第二部的連接端分別包括沿周向設置的第一連接部和第二連接部，所述第一連接部和所述第二連接部之間通過連接件可拆卸連接。
5.根據權利要求1所述的進氣系統，其特征在于，所述加速管路的形狀為圓臺。
6.根據權利要求5所述的進氣系統，其特征在于，所述加速管路的第一端的內徑為36mm至40mm，所述加速管路的第二端的內徑為10mm至14mm，所述加速管路的高度為40mm至50mm。
7.一種廢氣處理設備，其特征在于，包括：
8.根據權利要求7所述的廢氣處理設備，其特征在于，還包括中央廢氣處理
9.根據權利要求8所述的廢氣處理設備，其特征在于，所述中央廢氣處理系統與所述水溶解系統的排氣口之間通過酸毒排氣管連接。
10.根據權利要求7所述的廢氣處理設備，其特征在于，所述水溶解系統包括依次連接的儲水容器和水洗塔。
...【技術特征摘要】
1.一種進氣系統，用于廢氣處理設備，其特征在于，所述進氣系統包括：排氣放大裝置，所述排氣放大裝置包括：
2.根據權利要求1所述的進氣系統，其特征在于，所述調節通道與所述第一貫通孔垂直。
3.根據權利要求1所述的進氣系統，其特征在于，所述排氣放大裝置包括第一部和第二部，所述第一部位于所述排氣放大裝置的第一端，用于通入調壓氣體，所述第一貫通孔貫穿所述第二部的側壁。
4.根據權利要求3所述的進氣系統，其特征在于，所述第一部和所述第二部的連接端分別包括沿周向設置的第一連接部和第二連接部，所述第一連接部和所述第二連接部之間通過連接件可拆卸連接。
5.根據權利要求1所述的進氣系統，其特征在于，所述...
【專利技術屬性】
技術研發人員：于海建，
申請(專利權)人：北方集成電路技術創新中心北京有限公司，
類型：新型
國別省市：
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