【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及石英環(huán)加工，具體為一種半導(dǎo)體石英環(huán)加工裝置。
技術(shù)介紹
1、半導(dǎo)體用石英環(huán)是一種用于半導(dǎo)體制造工藝中的特殊材料零部件。它通常由高純度的石英玻璃制成，具有優(yōu)異的耐高溫、耐腐蝕和機(jī)械強(qiáng)度等特性，適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的高溫、高真空和化學(xué)腐蝕等嚴(yán)苛環(huán)境；半導(dǎo)體用石英環(huán)在半導(dǎo)體制造工藝中扮演著重要的角色，它的優(yōu)異性能和穩(wěn)定可靠性使得其成為半導(dǎo)體行業(yè)中不可或缺的關(guān)鍵材料之一；現(xiàn)有技術(shù)中對石英環(huán)加工時通常暴露在外，在加工的過程中會產(chǎn)生較多的廢屑，導(dǎo)致碎屑飛濺不易清理，需要依靠人工清掃，工作人員勞動強(qiáng)度大，同時碎屑飛濺容易傷害工人；例如“技術(shù)?cn218196092u?一種半導(dǎo)體蝕刻用石英環(huán)加工裝置?在進(jìn)行加工時，首先啟動兩個氣缸帶動安裝板向上移動，從而打開安裝板，將待加工的工料置入加工箱的內(nèi)部之后在閉合安裝板，隨后工人可將雙手通過兩個進(jìn)手通孔伸入加工箱內(nèi)部，配合切割設(shè)備，從而便于進(jìn)行操作和加工，加工箱的前后左右均為透明鋼化玻璃，工人可以從外部清楚觀察加工箱內(nèi)部情況，使工料加工在加工箱內(nèi)部完成，能夠起到防護(hù)作用，避免碎屑飛濺，同時可以隔絕碎屑，使碎屑隔離在加工箱的內(nèi)部，需要清理碎屑時，啟動風(fēng)機(jī)，風(fēng)機(jī)通過噴風(fēng)頭進(jìn)行吹風(fēng)，將碎屑從右側(cè)向左吹動，同時啟動吸塵器，吸塵器通過吸塵頭和吸塵管將碎屑吸附收集，從而可以自動清理碎屑，清理方便，降低勞動強(qiáng)度，使用方便。”，針對上述問題，現(xiàn)有技術(shù)中可能已經(jīng)存在了解決的技術(shù)手段，但是本案想要提供一種替代或替換的技術(shù)方案。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為實(shí)現(xiàn)以上目的，本
2、所述加工強(qiáng)力除塵結(jié)構(gòu)，包括：密封箱蓋、動力倉、加工電機(jī)、加工刀具、一對進(jìn)手操作框架、一對側(cè)方無影燈、頂層鼓風(fēng)層、頂層鼓風(fēng)機(jī)、若干個頂層鼓風(fēng)口、箱內(nèi)操作臺、底部負(fù)壓層、若干個底部除塵孔、負(fù)壓風(fēng)機(jī)以及飛屑搜集室；
3、所述動力倉安裝在所述密封箱蓋上，所述加工電機(jī)安裝在所述動力倉內(nèi)，所述加工刀具插裝在所述密封箱蓋上，且所述加工刀具與所述加工電機(jī)相連接，一對所述進(jìn)手操作框架分別安裝在所述座上操作箱體上，一對所述側(cè)方無影燈分別安裝在所述座上操作箱體內(nèi)側(cè)側(cè)壁上，所述頂層鼓風(fēng)層安裝在所述密封箱蓋上，且所述頂層鼓風(fēng)層通過管道與所述頂層鼓風(fēng)層相連接，所述頂層鼓風(fēng)機(jī)安裝在所述密封箱蓋上，若干個所述頂層鼓風(fēng)口分別安裝在所述頂層鼓風(fēng)層上，所述箱內(nèi)操作臺安裝在所述座上操作箱體內(nèi)，且所述箱內(nèi)操作臺內(nèi)開設(shè)有所述底部負(fù)壓層，若干個所述若干個底部除塵孔分別安裝在所述底部負(fù)壓層上，且若干個所述底部除塵孔分別與所述座上操作箱體內(nèi)相連接，所述飛屑搜集室安裝在所述框上底座上，且所述飛屑搜集室通過管道與所述負(fù)壓風(fēng)機(jī)相連接，所述負(fù)壓風(fēng)機(jī)安裝在所述框上底座上，且所述負(fù)壓風(fēng)機(jī)通過管道與所述底部負(fù)壓層相連接。
4、需要說明的是，上述中，石英環(huán)加工件放置在框上底座上的座上操作箱體內(nèi)，驅(qū)動組合抬升驅(qū)動組件將密封箱蓋與座上操作箱體耦合密封，工人雙手通過一對進(jìn)手操作框架可以伸入座上操作箱體內(nèi)，輔助加工操作，動力倉內(nèi)的加工電機(jī)啟動，帶動加工刀具旋轉(zhuǎn)，配合加工刀具上設(shè)置的延長氣桿可以將加工刀具延伸與調(diào)整加工位置，加工時產(chǎn)生的碎屑被頂層鼓風(fēng)機(jī)產(chǎn)生的空氣經(jīng)過頂層鼓風(fēng)層傳導(dǎo)至若干個頂層鼓風(fēng)口，再吹向下方的箱內(nèi)操作臺，一對側(cè)方無影燈可以提供加工時的照明功能，碎屑被箱內(nèi)操作臺上若干個底部除塵孔吸走，經(jīng)過底部負(fù)壓層再最終流動進(jìn)飛屑搜集室，整個過程中負(fù)壓風(fēng)機(jī)負(fù)責(zé)提供負(fù)壓，將上方吹動的碎屑協(xié)調(diào)搜集后再通過飛屑搜集室上設(shè)置的清理艙門進(jìn)行集中搜集。
5、優(yōu)選的，所述組合抬升驅(qū)動組件，包括：抬升耦合電機(jī)、驅(qū)動螺紋桿、一對滑動模塊、一對多連三角塊、一對驅(qū)動變位螺栓以及一對牽拉多連桿；
6、所述抬升耦合電機(jī)安裝在所述裝置框架上，且所述抬升耦合電機(jī)與所述驅(qū)動螺紋桿相連接，一對所述滑動模塊分別安裝在所述驅(qū)動螺紋桿上，一對所述多連三角塊分別通過轉(zhuǎn)軸安裝在一對所述滑動模塊上，且一對所述多連三角塊分別與一對所述驅(qū)動變位螺栓相連接，一對所述驅(qū)動變位螺栓分別安裝在所述裝置框架上，一對所述牽拉多連桿分別通過轉(zhuǎn)軸安裝在一對所述多連三角塊上，且一對所述牽拉多連桿分別通過轉(zhuǎn)軸與所述密封箱蓋相連接；
7、需要說明的是，上述中，抬升耦合電機(jī)驅(qū)動，帶動驅(qū)動螺紋桿旋轉(zhuǎn)，因?yàn)轵?qū)動螺紋桿上設(shè)置的反向雙螺紋，所以一對滑動模塊在驅(qū)動螺紋桿旋轉(zhuǎn)時會相對反向運(yùn)動，一對多連三角塊因此被牽扯帶動，沿著一對驅(qū)動變位螺栓進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而牽引推動一對牽拉多連桿，使得密封箱蓋與座上操作箱體開合密封。
8、優(yōu)選的，所述加工刀具上設(shè)置有延長氣桿；
9、優(yōu)選的，所述動力倉上設(shè)置有檢修口；
10、優(yōu)選的，所述驅(qū)動螺紋桿上設(shè)置有反向雙螺紋；
11、優(yōu)選的，所述飛屑搜集室上設(shè)置有清理艙門。
12、有益效果
13、本技術(shù)提供了一種半導(dǎo)體石英環(huán)加工裝置。具備以下有益效果，該一種半導(dǎo)體石英環(huán)加工裝置，與現(xiàn)有技術(shù)相比：本裝置通過加工強(qiáng)力除塵結(jié)構(gòu)，使得產(chǎn)生的加工碎屑和揚(yáng)塵被座上操作箱體內(nèi)從上之下不斷沖刷的流動空氣，將加工碎屑和揚(yáng)塵流動搜集至飛屑搜集室內(nèi)集中清理，使得操作工人避免接觸加工揚(yáng)塵，且能避免加工時碎屑飛濺傷害加工工人，使得工作效率和工作安全性大大提升。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種半導(dǎo)體石英環(huán)加工裝置，包括：裝置框架（1）、框上底座（2）以及座上操作箱體（3），其特征在于，所述框上底座（2）安裝在所述裝置框架（1）上，所述座上操作箱體（3）安裝在所述框上底座（2）上，所述座上操作箱體（3）上安裝有加工強(qiáng)力除塵結(jié)構(gòu)，所述裝置框架（1）上安裝有組合抬升驅(qū)動組件；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體石英環(huán)加工裝置，其特征在于，所述組合抬升驅(qū)動組件，包括：抬升耦合電機(jī)（18）、驅(qū)動螺紋桿（19）、一對滑動模塊（20）、一對多連三角塊（21）、一對驅(qū)動變位螺栓（22）以及一對牽拉多連桿（23）；
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體石英環(huán)加工裝置，其特征在于，所述加工刀具（7）上設(shè)置有延長氣桿。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體石英環(huán)加工裝置，其特征在于，所述動力倉（5）上設(shè)置有檢修口。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體石英環(huán)加工裝置，其特征在于，所述驅(qū)動螺紋桿（19）上設(shè)置有反向雙螺紋。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體石英環(huán)加工裝置，其特征在于，所述飛屑搜集室（17）上設(shè)置有清理艙門。>...
【技術(shù)特征摘要】
1.一種半導(dǎo)體石英環(huán)加工裝置，包括：裝置框架（1）、框上底座（2）以及座上操作箱體（3），其特征在于，所述框上底座（2）安裝在所述裝置框架（1）上，所述座上操作箱體（3）安裝在所述框上底座（2）上，所述座上操作箱體（3）上安裝有加工強(qiáng)力除塵結(jié)構(gòu)，所述裝置框架（1）上安裝有組合抬升驅(qū)動組件；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體石英環(huán)加工裝置，其特征在于，所述組合抬升驅(qū)動組件，包括：抬升耦合電機(jī)（18）、驅(qū)動螺紋桿（19）、一對滑動模塊（20）、一對多連三角塊（21）、一對驅(qū)動變位...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：喬春蓮，趙林花，
申請(專利權(quán))人：杭州正豐半導(dǎo)體科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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