【技術實現步驟摘要】
本技術涉及太陽能領域,尤其涉及一種硅片激光處理設備。
技術介紹
1、在相關技術中,硅片進行擴散工藝后需要采用激光進行鈍化處理。由于硅片在石英舟內進行擴散工藝時為兩硅片貼合處理,在后續對硅片進行激光鈍化工藝時需要將兩片貼合的硅片進行分片處理,然后在進行其他工藝處理時又要重新將兩硅片進行合片。
2、在硅片進行激光處理前后的分片后再合片的過程中,需要與多個分片裝置以及合片裝置接觸,容易對硅片造成磕碰、劃傷等損害,可能會影響硅片制備得到的太陽電池的性能。且在分片以及合片的過程中也容易沾染灰塵而造成硅片污染,不利于后續工藝處理,影響太陽電池的生產良率。
技術實現思路
1、本技術公開了一種硅片激光處理設備,用于減少硅片激光處理的步驟,提升生產效率。
2、為了實現上述目的,本技術公開了一種硅片激光處理設備,包括:
3、取料裝置,所述取料裝置用于拾取待激光處理的雙層硅片,所述雙層硅片包括沿厚度方向上的上表面和下表面;
4、運輸裝置,所述運輸裝置用于運輸經所述取料裝置拾取后的所述雙層硅片;
5、激光處理裝置,所述激光處理裝置包括沿所述運輸裝置的運輸方向依次設置的第一激光處理器、翻轉結構以及第二激光處理器,所述第一激光處理器用于對所述雙層硅片的上表面進行激光處理,所述翻轉結構用于翻轉上表面經激光處理后的所述雙層硅片,以調換所述上表面和所述下表面的朝向,所述第二激光處理器用于對所述雙層硅片的下表面進行激光處理。
6、作為一種可選的實
7、作為一種可選的實施方式,所述夾持組件包括多根夾持桿,多根所述夾持桿沿所述轉軸的外周環繞設置,相鄰的兩根所述夾持桿之間形成夾持空間。
8、作為一種可選的實施方式,所述夾持桿的遠離所述轉軸的一端設有緩沖件。
9、作為一種可選的實施方式,所述夾持組件還包括傳感器,所述傳感器設于任一所述夾持桿上且位于所述夾持空間中,所述傳感器用于檢測所述夾持空間中的夾持狀態。
10、作為一種可選的實施方式,所述夾持組件為兩個,兩個所述夾持組件分別設于所述轉軸的兩端,兩個所述夾持組件被配置為夾持于所述雙層硅片的兩端。
11、作為一種可選的實施方式,所述硅片激光處理設備還包括第一定位臺和第二定位臺,所述第一定位臺和所述第二定位臺沿所述運輸裝置的運輸方向上依次設置,所述第一定位臺對應所述第一激光處理器設置,所述第二定位臺對應所述第二激光處理器設置;
12、所述第一定位臺、所述第二定位臺分別具有第一臺面和第二臺面,所述第一臺面、所述第二臺面用于放置所述雙層硅片。
13、作為一種可選的實施方式,所述第一定位臺與所述第二定位臺均可相對所述運輸裝置的運輸平面發生升降運動,所述第一定位臺、所述第二定位臺均具有承載狀態和隱藏狀態;
14、在所述承載狀態時,所述第一定位臺、所述第二定位臺相對所述運輸裝置的運輸平面上升,以持平于或凸出于所述運輸平面;
15、在所述隱藏狀態時,所述第一定位臺、所述第二定位臺相對所述運輸裝置的運輸平面下降,以隱藏于所述運輸裝置的運輸平面下方。
16、作為一種可選的實施方式,所述第一臺面上可移動式地設有第一定位部,所述第一定位部被配置為定位所述雙層硅片在所述第一臺面上的位置,所述第二臺面上可移動式地設有第二定位部,所述第二定位部被配置為定位所述雙層硅片在所述第二臺面上的位置。
17、作為一種可選的實施方式,所述第一臺面上設有第一安裝孔,所述第一定位部還可伸縮設于所述第一安裝孔,所述第一定位部可自所述第一安裝孔伸出至所述第一臺面上,以相對所述第一臺面移動而定位所述雙層硅片,或者,所述第一定位部可縮回所述第一安裝孔中;
18、所述第二臺面上設有第二安裝孔,所述第二定位部還可伸縮設于所述第二安裝孔,所述第二定位部可自所述第二安裝孔伸出至所述第二臺面上,以相對所述第二臺面移動而定位所述雙層硅片,或者,所述第二定位部可縮回所述第二安裝孔中。
19、與現有技術相比,本技術的有益效果在于:
20、本技術公開的硅片激光處理設備可以通過取料裝置將石英舟中的雙層貼合放置的雙層硅片取出,并放置在運輸裝置上運輸至第一激光處理器處,對雙層硅片的上表面進行激光處理,然后再利用運輸裝置將雙層硅片運輸至翻片裝置處對雙層硅片進行翻片。翻片完成后再由運輸裝置將雙層硅片運輸至第二激光處理器處,對雙層硅片的下表面進行激光處理。如此一來,無需對硅片進行分片處理亦能實現對兩片硅片的一側表面進行激光處理,簡化了太陽電池的加工工序以及簡化太陽電池的加工設備結構設計,有利于提升太陽電池的生產效率以及有利于控制太陽電池的生產成本。
21、此外,采用本申請的硅片激光處理設備,不僅能夠降低分片與合片過程中硅片與儀器或者設備磕碰的概率,而且還能夠避免硅片在分片又合片的過程時,在兩片硅片中夾入灰塵的情況,有利于提高太陽電池的產品良率。
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1.一種硅片激光處理設備,其特征在于,包括:
2.如權利要求1所述的硅片激光處理設備,其特征在于,所述翻轉結構包括驅動件、轉軸以及夾持組件,所述轉軸與所述驅動件連接,以在所述驅動件的驅動下轉動,所述夾持組件設置于所述轉軸上,所述夾持組件用于夾持所述雙層硅片。
3.如權利要求2所述的硅片激光處理設備,其特征在于,所述夾持組件包括多根夾持桿,多根所述夾持桿沿所述轉軸的外周環繞設置,相鄰的兩根所述夾持桿之間形成夾持空間。
4.如權利要求3所述的硅片激光處理設備,其特征在于,所述夾持桿的遠離所述轉軸的一端設有緩沖件。
5.如權利要求3所述的硅片激光處理設備,其特征在于,所述夾持組件還包括傳感器,所述傳感器設于任一所述夾持桿上且位于所述夾持空間中,所述傳感器用于檢測所述夾持空間中的夾持狀態。
6.如權利要求2-5任一項所述的硅片激光處理設備,其特征在于,所述夾持組件為兩個,兩個所述夾持組件分別設于所述轉軸的兩端,兩個所述夾持組件被配置為夾持于所述雙層硅片的兩端。
7.如權利要求1-5任一項所述的硅片激光處理設備,其特征
8.如權利要求7所述的硅片激光處理設備,其特征在于,所述第一定位臺與所述第二定位臺均可相對所述運輸裝置的運輸平面發生升降運動,所述第一定位臺、所述第二定位臺均具有承載狀態和隱藏狀態;
9.如權利要求7所述的硅片激光處理設備,其特征在于,所述第一臺面上可移動式地設有第一定位部,所述第一定位部被配置為定位所述雙層硅片在所述第一臺面上的位置,所述第二臺面上可移動式地設有第二定位部,所述第二定位部被配置為定位所述雙層硅片在所述第二臺面上的位置。
10.如權利要求9所述的硅片激光處理設備,其特征在于,所述第一臺面上設有第一安裝孔,所述第一定位部還可伸縮連接于所述第一安裝孔,所述第一定位部可自所述第一安裝孔伸出至所述第一臺面上,以相對所述第一臺面移動而定位所述雙層硅片,或者,所述第一定位部可縮回所述第一安裝孔中;
...【技術特征摘要】
1.一種硅片激光處理設備,其特征在于,包括:
2.如權利要求1所述的硅片激光處理設備,其特征在于,所述翻轉結構包括驅動件、轉軸以及夾持組件,所述轉軸與所述驅動件連接,以在所述驅動件的驅動下轉動,所述夾持組件設置于所述轉軸上,所述夾持組件用于夾持所述雙層硅片。
3.如權利要求2所述的硅片激光處理設備,其特征在于,所述夾持組件包括多根夾持桿,多根所述夾持桿沿所述轉軸的外周環繞設置,相鄰的兩根所述夾持桿之間形成夾持空間。
4.如權利要求3所述的硅片激光處理設備,其特征在于,所述夾持桿的遠離所述轉軸的一端設有緩沖件。
5.如權利要求3所述的硅片激光處理設備,其特征在于,所述夾持組件還包括傳感器,所述傳感器設于任一所述夾持桿上且位于所述夾持空間中,所述傳感器用于檢測所述夾持空間中的夾持狀態。
6.如權利要求2-5任一項所述的硅片激光處理設備,其特征在于,所述夾持組件為兩個,兩個所述夾持組件分別設于所述轉軸的兩端,兩個所述夾持組件被配置為夾持于所述雙層硅片的兩端。
7.如權利要求1-5任一項所述的硅片...
【專利技術屬性】
技術研發人員:周公慶,周華,劉宗剛,劉賴生,袁桃生,冷德成,
申請(專利權)人:通威太陽能眉山有限公司,
類型:新型
國別省市:
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