【技術實現步驟摘要】
本技術專利申請涉及用于清洗晶圓的剝離清洗機，并且具體地，涉及能夠自動調節噴頭的剝離清洗機設備以及包括該設備的剝離清洗機。
技術介紹
1、現有的剝離清洗機的清洗腔噴頭通過固定來固定在擺臂上。當擺臂擺動的時候，清洗腔噴頭從晶圓的一側經過晶圓的中心到達另一側。
2、在清洗前，需要調節好清洗噴頭在擺臂上的位置，以保證擺臂時候清洗噴頭可以經過晶圓中心。因此，可清洗的范圍是由擺臂幅度決定的。
3、然而，清洗噴頭有時會發生位置偏移，導致清洗過程中清洗噴頭不能經過晶圓中心，進而導致晶圓中心的清洗效果不好，良率降低。
4、此外，如果擺臂發生位置故障，還會導致晶圓部分位置清洗不夠充分，影響清洗效果，良率降低。
5、再有，為了保證整個晶圓都被清洗到，需要清洗噴頭提前噴液。
6、因此，為了提高良率和便利性，需要一種能夠自動調節噴頭的剝離清洗機設備以及包括該設備的剝離清洗機。
技術實現思路
1、作出本申請以解決上述現有剝離清洗機的各種問題。
2、根據本申請，為了防止出現清洗噴頭會發生位置偏移的風險，在清洗腔晶圓的兩側位置做好固定的用于對準的十字標記。在清洗噴頭上安裝ccd相機。每次開始清洗時，ccd相機都會對準十字標記，以保證噴頭的運動軌跡經過晶圓中心。
3、根據本申請，為了應對擺臂發生位置故障的問題，當擺臂帶動ccd相機識別到十字標記時清洗噴頭開始噴液而無需提前噴液，當識別到擺臂到達晶圓另一側的十字標記時控制擺臂往回運動。
4、根據本申請的一方面，提出了一種用于清洗晶圓的剝離清洗機設備，放置在剝離清洗機的清洗腔內，其特征在于：所述剝離清洗機設備包括：清洗噴頭，用于向清洗腔內的晶圓噴灑清洗液；ccd相機，其安裝在清洗噴頭上，用于識別晶圓兩側的用于對準的十字標記；擺臂，其一端連接到清洗噴頭，用于支撐和擺動清洗噴頭；以及驅動馬達，連接到擺臂，用于驅動擺臂以調節清洗噴頭和ccd相機的位置；所述剝離清洗機設備按如下方式操作：擺臂開始擺動，在ccd相機識別到晶圓一側的十字標記位于ccd相機中心的情況下，控制清洗噴頭開始噴液，并且在ccd相機識別到晶圓一側的十字標記不位于ccd相機中心的情況下，控制驅動馬達驅動擺臂以調節清洗噴頭和ccd相機的位置，使得晶圓一側的十字標記位于ccd相機中心，然后控制清洗噴頭開始噴液；并且在清洗噴頭開始噴液之后，擺臂繼續擺動以使清洗噴頭在晶圓上方移動，在ccd相機識別到晶圓另一側的十字標記的情況下，控制清洗噴頭停止噴液，并且在ccd相機未識別到晶圓另一側的十字標記的情況下，生成報警信息。
5、根據本申請的一個方面，清洗噴頭和ccd相機可以被形成為一個模塊。
6、根據本申請的一個方面，驅動馬達可以安裝在擺臂中，用于控制擺臂、清洗噴頭和ccd相機的移動。
7、根據本申請的一個方面，十字標記可以固定在所述清洗腔內的晶圓兩側的承片臺上。
8、根據本申請的一方面，提出了一種用于清洗晶圓的剝離清洗機，其特征在于，清洗腔內安裝有根據本申請的任何方面所提供的剝離清洗機設備。
9、采用根據本申請的任何方面所提供的剝離清洗機設備和剝離清洗機，在每次清洗過程中，清洗噴頭都會經過晶圓的中心點，擺臂的運動路徑也可以穿過整個晶圓，從而防止了因為清洗噴頭位置偏移和擺臂位置故障而導致晶圓清洗不充分，從而影響良率。
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1.一種用于清洗晶圓的剝離清洗機設備，放置在剝離清洗機的清洗腔內，其特征在于：
2.根據權利要求1所述的剝離清洗機設備，其特征在于，清洗噴頭和CCD相機被形成為一個模塊。
3.根據權利要求1所述的剝離清洗機設備，其特征在于，驅動馬達安裝在擺臂中，用于控制擺臂、清洗噴頭和CCD相機的移動。
4.根據權利要求1至3中的任一項所述的剝離清洗機設備，其特征在于，十字標記固定在所述清洗腔內的晶圓兩側的承片臺上。
5.根據權利要求2所述的剝離清洗機設備，其特征在于，驅動馬達安裝在擺臂中，用于控制擺臂、清洗噴頭和CCD相機的移動。
6.根據權利要求2所述的剝離清洗機設備，其特征在于，十字標記固定在所述清洗腔內的晶圓兩側的承片臺上。
7.根據權利要求3所述的剝離清洗機設備，其特征在于，十字標記固定在所述清洗腔內的晶圓兩側的承片臺上。
8.根據權利要求5所述的剝離清洗機設備，其特征在于，十字標記固定在所述清洗腔內的晶圓兩側的承片臺上。
9.一種用于清洗晶圓的剝離清洗機，其特征在于，清洗腔內安裝有根據權利
...【技術特征摘要】
1.一種用于清洗晶圓的剝離清洗機設備，放置在剝離清洗機的清洗腔內，其特征在于：
2.根據權利要求1所述的剝離清洗機設備，其特征在于，清洗噴頭和ccd相機被形成為一個模塊。
3.根據權利要求1所述的剝離清洗機設備，其特征在于，驅動馬達安裝在擺臂中，用于控制擺臂、清洗噴頭和ccd相機的移動。
4.根據權利要求1至3中的任一項所述的剝離清洗機設備，其特征在于，十字標記固定在所述清洗腔內的晶圓兩側的承片臺上。
5.根據權利要求2所述的剝離清洗機設備，其特征在于，驅動馬達安裝...
【專利技術屬性】
技術研發人員：吳雷雷，
申請(專利權)人：上海昂瑞創新電子技術有限公司，
類型：新型
國別省市：
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