分光模塊制造技術

在分光模塊（１）中，光吸收層（６）通過圖案化而一體成形，該光吸收層（６）具有使向分光部（３）行進的光（Ｌ１）通過的光通過孔（６ａ）、以及使向光檢測元件（４）的光檢測部（４ａ）行進的光（Ｌ２）通過的光通過孔（６ｂ）。因此，能夠防止光通過孔（６ａ）和光通過孔（６ｂ）的相對的位置關系發生偏移。并且，由于通過該光吸收層（６）來抑制雜散光的產生并吸收雜散光，因而能夠抑制向光檢測元件（４）的光檢測部（４ａ）入射。所以，依照分光模塊（１），能夠提高可靠性。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及對光進行分光并進行檢測的分光模塊。
技術介紹
現有的分光模塊，例如有專利文獻1所記載的分光模塊，該分光 模塊具備使光透過的支撐體、使光入射于支撐體的入射狹縫部、對 入射于支撐體的光進行分光并進行反射的凹面衍射光柵、以及檢測被 凹面衍射光柵分光并反射的光的二極管。專利文獻l:日本特許第3119917號公報
技術實現思路
然而，h述的分光模塊中，當將入射狹縫部及二極管安裝于支撐 體時，入射狹縫部和二極管的相對的位置關系發生偏移，分光模塊的 可靠性有可能下降。因此，本專利技術是鑒于上述問題而提出的，其目的在于，提供一種 可靠性高的分光模塊。為了達到上述目的，本專利技術的分光模塊的特征在于，具備本體 部，使光透過；分光部，對從本體部的規定的面入射于本體部的光進 行分光，并向規定的面側反射；以及光檢測元件，被支撐于規定的面 h，檢測被分光部分光并反射的光，在規定的面形成有光吸收層，該 光吸收層具有使向分光部行進的光通過的第1光通過孔、以及使向光 檢測元件行進的光通過的第2光通過孔。在該分光模塊中，光吸收層具有使向分光部行進的光通過的第1 光通過孔、以及使向光檢測元件行進的光通過的第2光通過孔。因此， 能夠防止第1光通過孔和第2光通過孔的相對的位置關系發生偏移。 并且，由于通過光吸收層來抑制雜散光的產生并吸收雜散光，因而能 夠抑制雜散光入射于光檢測元件。所以，依照該分光模塊，能夠提高可靠性。在本專利技術的分光模塊中，本體部具有沿著與規定的面大致正交的 方向層疊的多個光透過部件，而且，更優選具有規定的面的光透過部 件形成為板狀。依照這種構成，能夠使針對本體部的光吸收層的形成 和光檢測元件的安裝容易化。在本專利技術的分光模塊中，優選在與規定的面大致正交的方向上的 相鄰的光透過部件之間形成光吸收層。依照這種構成，能夠限制一邊 擴大， 一邊在本體部中行進的光，使其到達期望的區域，并且能夠進 - 一步有效地抑制雜散光入射于光檢測元件。在本專利技術的分光模塊中，優選在規定的面，形成有與光檢測元件 電連接的配線。例如，在本體部由玻璃形成，配線由金屬形成的情況 下，相對于本體部的配線的緊密結合性提高，因而能夠防止配線的斷 線等。這時，優選配線在規定的面側具有光吸收層。依照這種構成， 能夠防止因配線而引起的雜散光的漫反射等。在本專利技術的分光模塊中，優選在形成于規定的面的光吸收層中的 規定的面的相反側的面，形成有與光檢測元件電連接的配線。依照這 種構成，能夠在防止因配線而引起的雜散光的漫反射等的同時，更切 實地實現光吸收層對雜散光的產生的抑制、以及光吸收層對雜散光的 吸收。依照本專利技術，能夠提高可靠性。 附圖說明圖1是第1實施方式的分光模塊的平面圖。圖2是沿著圖1所示的II-II線的截面圖。圖3是第2實施方式的分光模塊的縱截面圖。 圖4是其他實施方式的分光模塊的縱截面圖。 圖5是其他實施方式的分光模塊的縱截面圖。 圖6是其他實施方式的分光模塊的分光部周邊的縱截面圖。符號說明1:分光模塊；2:本體部；2a:前面(規定的面)；2,~23:光透過部件；3:分光部；4:光檢測元件；6、 7:光吸收層；6a、 7a:光通 過孔(第l光通過孔)；6b、 7b:光通過孔(第2光通過孔)；9:配線； 13:光吸收層。具體實施例方式以F，參照附圖，詳細地說明本專利技術的優選實施方式。另外，在 各圖中，對于同一或相當的部分賦予相同的符號，省略重復的說明。 (第l實施方式)如圖1及圖2所示，分光模塊1具備本體部2，使光透過；分光部3，對從本體部2的前面(規定的面)2a入射于本體部2的光Ll進 行分光，并向前面2a側反射；以及光檢測元件4，被支撐于前面2a上， 檢測被分光部3分光并反射的光L2。分光模塊1通過在分光部3將光 Ll分光為多個光L2，并在光檢測元件4檢測光L2，從而測量光L1的 波長分布和特定波長成分的強度等。本體部2具有沿著與前面2a大致正交的方向層疊的光透過部件 2, 23。光透過部件2,、 22由BK7、派熱克斯(注冊商標)、石英等的 光透過性玻璃等形成為長方形薄板狀。光透過部件23由與光透過部件 2,、 22相同的材料、光透過性樹脂、光透過性的無機'有機混合材料、 或者復制成型用的光透過性低熔點玻璃等形成為半球狀或具有透鏡效 果的曲面形狀，例如，在由與光透過部件2,、 22相同的材料形成的情 況下，通過光學樹脂和直接接合(direct bonding)而貼合于光透過部件 22。光透過部件23作為使被分光部3分光并反射的光L2成像于光檢測 元件4的光檢測部4a的透鏡而起作用。分光部3是反射型光柵，具有形成于光透過部件23的外側表面的 衍射層14、以及形成于衍射層14的外側表面的反射層5。衍射層14 是鋸齒狀截面的閃耀光柵(blazed grating)、矩形狀截面的二元光柵 (binary grating)、正弦波狀截面的全息光柵(holographic grating)等， 例如通過向光透過部件23的外側表面涂布感光性樹脂，使用由石英等 形成的光透過性模具(光柵的鑄模)并使感光性樹脂發生UV硬化而 形成。衍射層14，如果在UV硬化后進行加熱固化，則成為更穩定的 素材。反射層5為膜狀，例如，通過向衍射層14的外側表面蒸鍍Al或AU等而形成。另外，衍射層14的材料并不限于感光性樹脂，也可 以為感光性玻璃、感光性的無機'有機混合材料，或者遇熱變形的樹脂、 玻璃、或無機'有機混合材料等。光檢測元件4是具有光檢測部4a的光電二極管陣列，光檢測部4a 由長條狀的光電二極管沿著與其長邊方向大致正交的方向一維排列而 成。光檢測元件4被配置為，光電二極管的一維排列方向與光透過部 件2,、 22的長邊方向大致一致，且光檢測部4a朝向本體部2的前面2a 側。另夕卜，光檢測元件4不限于光電二極管陣列，也可以為C-MOS影 像傳感器或CCD影像傳感器等。在本體部2的前面2a (即，光透過部件2,的前面)，形成有光吸 收層6，該光吸收層6具有使向分光部3行進的光Ll通過的光通過孔 (第l光通過孔)6a、以及使向光檢測元件4的光檢測部4a行進的光 L2通過的光通過孔(第2光通過孔)6b。光通過孔6a是沿著與光透過 部件2,、 22的長邊方向大致正交的方向延伸的狹縫。光吸收層6以具 有光通過孔6a、 6b的方式被圖案化，由CrO、含CrO的層疊膜、或者 黑抗蝕劑等一體成形。在與本體部2的前面2a大致正交的方向上的相鄰的光透過部件 2,、 22之間，形成有光吸收層7，該光吸收層7具有使向分光部3行進 的光L1通過的光通過孔(第l光通過孔)7a、以及使向光檢測元件4 的光檢測部4a行進的光L2通過的光通過孔(第2光通過孔)7b。光 吸收層7形成于光透過部件2,的后面，形成有光吸收層7的光透過部 件2,與光透過部件22由折射率匹配的光學樹脂8貼合，從而在界面不 引起反射。光吸收層7具有光通過孔7a、 7b的方式被圖案化，由CrO、 含CrO的層疊膜、或者黑抗蝕劑等一體成形。光吸收層6的前面形成為粗糙面，在前面，形成有由Al或Au等 的單層膜，或者Ti-Pt-Au、 Ti-Ni-Au、 Cr-Au等的層疊膜形成的配線9。 配線9具有配置于光通過孔6b的周圍的多個墊部9a、配置本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種分光模塊，其特征在于，　具備：　本體部，使光透過；　分光部，對從所述本體部的規定的面入射于所述本體部的光進行分光，并向所述規定的面側反射；以及　光檢測元件，被支撐于所述規定的面上，檢測被所述分光部分光并反射的光， 　在所述規定的面形成有光吸收層，該光吸收層具有使向所述分光部行進的光通過的第１光通過孔、以及使向所述光檢測元件行進的光通過的第２光通過孔。

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】...

【專利技術屬性】
技術研發人員：柴山勝己，能野隆文，鈴木智史，H泰希曼，D希勒，U施塔克，
申請(專利權)人：浜松光子學株式會社，
類型：發明
國別省市：JP[日本]