蒸發源和蒸鍍設備制造技術

本申請公開了一種蒸發源和蒸鍍設備，該蒸發源包括支撐件和隔熱件，支撐件包括開口和與開口連通的腔體，腔體內放置有能夠產生蒸鍍氣體的蒸發件；隔熱件蓋設于支撐件的開口，隔熱件包括用于容置換熱介質的熱交換通道以及與腔體連通的蒸鍍通道，蒸鍍氣體能夠通過蒸鍍通道排出支撐件。通過在蒸發源中設置具有熱交換通道的隔熱件，熱交換通道內的換熱介質能夠調節整個隔熱件的溫度，隔熱件處于相對較低的溫度從而能夠有效地減少因蒸發件加熱而傳遞至基片的輻射熱能，使得基片的溫度處于理想的溫度范圍并得到質量更優的鈣鈦礦薄膜，從而提高鈣鈦礦太陽電池的光電轉化效率。

【技術實現步驟摘要】

本申請涉及太陽電池設備領域，尤其涉及一種蒸發源和蒸鍍設備。

技術介紹

1、近年來，鈣鈦礦太陽電池在光伏領域受到廣泛關注，由于鈣鈦礦太陽電池結合了鈣鈦礦材料和硅材料各自的優勢，使鈣鈦礦太陽電池具有良好的光電轉換效率。

2、在制備鈣鈦礦太陽電池的鈣鈦礦吸光層時，通常采用蒸鍍法結合旋涂法，即在基片上采用蒸鍍法真空沉積鈣鈦礦薄膜，再在鈣鈦礦薄膜上旋涂陽離子溶液，使陽離子溶液與碘化鉛反應得到鈣鈦礦吸光層。在蒸鍍過程中，蒸發源產生高溫的蒸鍍氣體附著于基片以形成鈣鈦礦薄膜，但是連續的蒸鍍使基片的溫度過高，鈣鈦礦薄膜由于高溫產生重結晶并過于致密，這將影響后續與陽離子溶液的反應過程，導致鈣鈦礦吸光層的質量不理想，同時也降低了鈣鈦礦太陽電池的電池性能。

技術實現思路

1、本申請實施例公開了一種蒸發源和蒸鍍設備，該蒸發源能夠有效阻隔高溫，可以將基片的溫度控制在合適的溫度范圍，從而使得基片上形成的鈣鈦礦薄膜具有理想的密度和均勻性，從而提升鈣鈦礦太陽電池的電池性能。

2、為了實現上述目的，第一方面，本申請實施例公開了一種蒸發源，該蒸發源包括支撐件和隔熱件，支撐件包括開口和與開口連通的腔體，腔體內放置有能夠產生蒸鍍氣體的蒸發件；隔熱件包括用于容置換熱介質的熱交換通道以及與腔體連通的蒸鍍通道，蒸鍍氣體能夠通過蒸鍍通道排出支撐件。

3、在第一方面可能的實現方式中，隔熱件包括形成有熱交換通道的殼體，以及形成于殼體的介質入口和介質出口，介質入口和介質出口與熱交換通道連通。

<p>4、在第一方面可能的實現方式中，介質入口連接有第一接頭，第一接頭用于連接介質存儲箱，介質出口連接有第二接頭，第二接頭用于連接介質回收箱。

5、在第一方面可能的實現方式中，隔熱件還包括置于殼體內的隔檔部，隔檔部的一端連接至殼體的內壁并位于介質入口和介質出口之間，隔檔部向殼體的內部延伸，以將殼體內的熱交換通道分隔為相連通的進介質通道和排介質通道。

6、在第一方面可能的實現方式中，蒸鍍通道位于隔檔部的延伸路徑上，至少部分隔檔部避讓蒸鍍通道設置。

7、在第一方面可能的實現方式中，隔檔部包括第一隔檔段和第二隔檔段，蒸鍍通道的數量為至少兩個，至少兩個蒸鍍通道間隔設置，第一隔檔段的一端連接至殼體的內壁，第一隔檔段的另一端連接至一個蒸鍍通道，第二隔檔段連接于兩個相鄰的蒸鍍通道。

8、在第一方面可能的實現方式中，隔熱件包括相對的第一面和第二面，第一面朝向支撐件，蒸鍍通道形成于隔熱件內且蒸鍍通道的兩端分別貫通至第一面和第二面，蒸鍍通道對應于蒸發件設置。

9、在第一方面可能的實現方式中，蒸發源還包括插板，插板上形成有排氣口和與排氣口連接的插接部，插接部內形成導氣腔，導氣腔分別與腔體和排氣口連通，插接部可拆卸地插入蒸鍍通道，插接部用于隔離蒸鍍氣體與蒸鍍通道的內壁。

10、在第一方面可能的實現方式中，插板背離隔熱件的一側設置有提手。

11、在第一方面可能的實現方式中，蒸發源還包括托板，托板可活動地蓋設于支撐件的開口，托板位于支撐件和隔熱件之間；托板上設置有通口，通口與蒸鍍通道連通。

12、在第一方面可能的實現方式中，托板能夠在開口所在的平面內滑動，以使托板的至少部分外露于支撐件。

13、在第一方面可能的實現方式中，隔熱件、托板和插板中的至少一者為金屬件。

14、為了實現上述目的，第二方面，本申請實施例還公開了一種蒸鍍設備，蒸鍍設備包括：箱體，箱體包括蒸鍍腔；本申請第一方面公開的的蒸發源，蒸發源設置于蒸鍍腔內；導軌位于蒸發源的上方；基板可滑動地設置于導軌，基板上承載有基片。

15、在第二方面可能的實現方式中，蒸鍍設備還包括：擋板，擋板可活動地設置于蒸鍍腔內，并可以遮擋或者打開蒸發源的蒸鍍通道。

16、與現有技術相比，本申請的有益效果是：

17、通過在蒸發源中設置具有熱交換通道的隔熱件，熱交換通道內的換熱介質能夠調節整個隔熱件的溫度，使得隔熱件處于相對較低的溫度，從而有效地減少因蒸發件加熱而傳遞至基片的輻射熱能，以使得基片的溫度處于理想的溫度范圍。在隔熱件實現了良好的隔熱效果的同時，隔熱件的蒸鍍通道還可以直接將蒸鍍氣體排出，從而不影響蒸鍍氣體的溫度。這樣，蒸鍍氣體和基片都可以保持在理想的溫度范圍內，從而使基片的表面產生尺寸更小的晶粒，減小鈣鈦礦薄膜的重結晶現象并使鈣鈦礦薄膜的結構相對疏松，同時還可以減少鈣鈦礦薄膜在旋涂過程中的殘留，得到質量更優的鈣鈦礦吸光層，并提高鈣鈦礦太陽電池的光電轉化效率。

18、本申請的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本申請的實踐了解到。

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【技術保護點】

1.一種蒸發源，其特征在于，所述蒸發源包括：

2.根據權利要求1所述的蒸發源，其特征在于，

3.根據權利要求2所述的蒸發源，其特征在于，

4.根據權利要求2所述的蒸發源，其特征在于，

5.根據權利要求4所述的蒸發源，其特征在于，

6.根據權利要求4所述的蒸發源，其特征在于，

7.根據權利要求1至6中任一項所述的蒸發源，其特征在于，

8.根據權利要求1至6中任一項所述的蒸發源，其特征在于，所述蒸發源還包括：

9.根據權利要求8所述的蒸發源，其特征在于，

10.根據權利要求8所述的蒸發源，其特征在于，所述蒸發源還包括：

11.根據權利要求10所述的蒸發源，其特征在于，

12.根據權利要求10所述的蒸發源，其特征在于，

13.一種蒸鍍設備，其特征在于，所述蒸鍍設備包括：

14.根據權利要求13所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述蒸鍍設備還包括：

【技術特征摘要】

1.一種蒸發源，其特征在于，所述蒸發源包括：

2.根據權利要求1所述的蒸發源，其特征在于，

3.根據權利要求2所述的蒸發源，其特征在于，

4.根據權利要求2所述的蒸發源，其特征在于，

5.根據權利要求4所述的蒸發源，其特征在于，

6.根據權利要求4所述的蒸發源，其特征在于，

7.根據權利要求1至6中任一項所述的蒸發源，其特征在于，

8.根據權利要求1至6中任一項所...

【專利技術屬性】
技術研發人員：陳鑫，龍巍，張一峰，趙暉，
申請(專利權)人：通威太陽能成都有限公司，
類型：新型
國別省市：