【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及一種透射電鏡檢測樣品研磨設(shè)備及其研磨方法，屬于冶金行業(yè)冶金試驗檢測制樣。
技術(shù)介紹
1、鋼材塊狀樣品在做透射電鏡試驗前，需要對樣品進行制樣，制備好的透射樣品必須能夠?qū)﹄娮邮该鳎褪请娮邮軌虼┩笜悠罚€要有能夠供透射電鏡表征的薄區(qū)，薄區(qū)要求厚度在100nm以下，直徑3mm，制樣步驟為切割取樣、研磨、離子減薄。研磨的質(zhì)量決定后續(xù)離子減薄質(zhì)量。
2、樣品的研磨是使用不同目數(shù)的砂紙，從粗到細，對樣品進行磨拋，將樣品從0.5mm磨至30-40微米左右。目前，常用的研磨方法是在桌面上放一塊平整的玻璃板，玻璃板上鋪上不同目數(shù)的砂紙，操作者在粗砂紙上用手按住樣品進行磨削，磨削過程中不斷測量厚度，接近加工到所需厚度時，更換細砂紙，繼續(xù)磨削到所需厚度。人工研磨易出現(xiàn)樣品受力不均勻?qū)е潞穸炔痪⒃嚇硬缓细瘛⒀心r間過長、手指易被磨傷的問題。為了提高樣品磨削質(zhì)量，縮短加工時間，保護操作者身體健康，有必要設(shè)計一種透射電鏡檢測樣品的研磨方法。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)的目的是提供一種透射電鏡檢測樣品研磨設(shè)備及其研磨方法，能夠避免人工研磨造成的誤差及損傷，提高樣品磨削質(zhì)量，縮短加工時間，解決
技術(shù)介紹
中存在的問題。
2、本專利技術(shù)的技術(shù)方案是：
3、一種透射電鏡檢測樣品研磨設(shè)備，包含底座、吸盤、真空泵、電機、氣管桿、氣管、進給旋鈕、旋轉(zhuǎn)套管、旋轉(zhuǎn)桿和旋轉(zhuǎn)支架，電機與磨樣盤驅(qū)動連接，磨樣盤轉(zhuǎn)動連接在底座上，氣管桿的上端與進給旋鈕螺紋連接，氣管桿的下端與吸盤相
4、所述磨樣盤上粘貼有與透射電鏡檢測樣品相配合的砂紙。
5、所述吸盤的大小與透射電鏡檢測樣品的大小相配合。
6、所述吸盤位于磨樣盤的上面。
7、所述底座上還設(shè)有與真空泵相連接的真空泵開關(guān)、與電機相連接的電機開關(guān)和調(diào)速旋鈕。
8、一種透射電鏡檢測樣品研磨方法，采用上述所限定的一種透射電鏡檢測樣品研磨設(shè)備，并按照一下步驟進行操作：
9、步驟一：將粗砂紙粘貼在磨樣盤上，并打開真空泵開關(guān)，將樣品放到吸盤上；
10、步驟二：旋轉(zhuǎn)進給旋鈕，使樣品與粗砂紙接近；
11、步驟三：啟動電機，磨樣盤開始旋轉(zhuǎn)，對樣品進行研磨；
12、步驟四：樣品研磨到一定程度后，將磨樣盤上的粗砂紙更換為細砂紙，并重復(fù)上述步驟，直到樣品符合檢測要求。
13、本專利技術(shù)的有益效果是：
14、（1）操作簡便，可操作性強，試樣采用真空負壓吸附方法，實現(xiàn)超薄試樣的無損夾持，避免了人工接觸造成的誤差及損傷；
15、（2）本專利技術(shù)加工精度高，可實現(xiàn)0.040±0.001mm的超薄試樣加工；
16、（3）本專利技術(shù)實現(xiàn)了試樣加工過程厚度減薄的可視化，避免了試樣的反復(fù)測量，極大的提高了試樣加工效率；
17、（4）本專利技術(shù)磨盤配備了調(diào)速功能，可實現(xiàn)0~7200轉(zhuǎn)/分無級變速，根據(jù)試樣材質(zhì)硬度、厚度進行調(diào)節(jié)，調(diào)高試樣加工效率及質(zhì)量。
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1.一種透射電鏡檢測樣品研磨設(shè)備，其特征在于：包含底座（1）、吸盤（3）、真空泵（4）、電機（5）、氣管桿（8）、氣管（9）、進給旋鈕（13）、旋轉(zhuǎn)套管（18）、旋轉(zhuǎn)桿（19）和旋轉(zhuǎn)支架（21），電機（5）與磨樣盤（6）驅(qū)動連接，磨樣盤（6）轉(zhuǎn)動連接在底座（1）上，氣管桿（8）的上端與進給旋鈕（13）螺紋連接，氣管桿（8）的下端與吸盤（3）相連接，真空泵（4）通過氣管（9）、氣管桿（8）和吸盤（3）相連接，氣管桿（8）轉(zhuǎn)動連接在旋轉(zhuǎn)支架（21）上，旋轉(zhuǎn)桿（19）的上端固定在旋轉(zhuǎn)支架（21）上，旋轉(zhuǎn)桿（19）的下端插在旋轉(zhuǎn)套管（18）內(nèi)，旋轉(zhuǎn)套管（18）固定在底座（1）上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種透射電鏡檢測樣品研磨設(shè)備，其特征在于：所述磨樣盤（6）上粘貼有與透射電鏡檢測樣品相配合的砂紙。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種透射電鏡檢測樣品研磨設(shè)備，其特征在于：所述吸盤（3）的大小與透射電鏡檢測樣品的大小相配合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種透射電鏡檢測樣品研磨設(shè)備，其特征在于：所述吸盤（3）位于磨樣盤（6）的上面。
5.根據(jù)權(quán)利要求
6.一種透射電鏡檢測樣品研磨方法，其特征在于：采用權(quán)利要求1-5所限定的一種透射電鏡檢測樣品研磨設(shè)備，并按照一下步驟進行操作：
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種透射電鏡檢測樣品研磨設(shè)備，其特征在于：包含底座（1）、吸盤（3）、真空泵（4）、電機（5）、氣管桿（8）、氣管（9）、進給旋鈕（13）、旋轉(zhuǎn)套管（18）、旋轉(zhuǎn)桿（19）和旋轉(zhuǎn)支架（21），電機（5）與磨樣盤（6）驅(qū)動連接，磨樣盤（6）轉(zhuǎn)動連接在底座（1）上，氣管桿（8）的上端與進給旋鈕（13）螺紋連接，氣管桿（8）的下端與吸盤（3）相連接，真空泵（4）通過氣管（9）、氣管桿（8）和吸盤（3）相連接，氣管桿（8）轉(zhuǎn)動連接在旋轉(zhuǎn)支架（21）上，旋轉(zhuǎn)桿（19）的上端固定在旋轉(zhuǎn)支架（21）上，旋轉(zhuǎn)桿（19）的下端插在旋轉(zhuǎn)套管（18）內(nèi)，旋轉(zhuǎn)套管（18）固定在底座（1）上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種透射電鏡檢測樣品研磨設(shè)備，其特征...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：張春花，田秀剛，宮巨龍，霍俊梅，彭煥明，李巖杰，趙江林，康欣，鮑廣超，
申請(專利權(quán))人：唐山鋼鐵集團有限責任公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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