【技術實現步驟摘要】
本技術涉及芯片測試，尤其涉及一種芯片測試傳動模組及測試設備。
技術介紹
1、芯片檢測是一種用于評估芯片功能和質量的測試工藝，包括芯片設計驗證、制造過程控制、芯片器件測試、電路參數測試、功能測試和可靠性測試等步驟。芯片檢測旨在保證芯片的性能、可靠性和穩定性，并減少芯片故障率。目前在芯片的生產和檢測過程中，為了達到一次抓取多個芯片，提高芯片的運輸效率，吸嘴通常會以成排的形式安裝在吸嘴支撐板上，一個吸嘴支撐板至多能同時吸取16個芯片進行測試，一個吸嘴支撐板同時吸取超過16個芯片時容易吸取不穩，導致部分芯片掉落損傷，但目前的測試設備通常只設置有一個吸嘴支撐板，無法同時吸取更多數量的芯片，導致芯片測試效率低。
技術實現思路
1、本技術的目的在于提供一種芯片測試傳動模組及測試設備，以解決現有技術中測試設備通常只設置有一個吸嘴支撐板，無法同時吸取更多數量的芯片，導致芯片測試效率低的技術問題。
2、本技術提供一種芯片測試傳動模組，包括支撐架、水平方向驅動機構、至少兩個豎直方向驅動機構以及至少兩個吸嘴支撐板，所述支撐架上設有水平導向機構和豎直導向機構，所述水平方向驅動機構與所述豎直方向驅動機構均設置在所述支撐架上，每個所述吸嘴支撐板均與所述水平方向驅動機構驅動連接，所述水平導向機構與所述豎直方向驅動機構驅動連接，所述吸嘴支撐板滑動設置在所述水平導向機構上，所述水平導向機構滑動設置在所述豎直導向機構上。
3、如上所述的芯片測試傳動模組，所述水平方向驅動機構包括第一驅動電機、第一
4、如上所述的芯片測試傳動模組，所述豎直方向驅動機構包括第二驅動電機、第二傳動絲桿和第二螺母，所述第二驅動電機設置在所述支撐架上，所述第二傳動絲桿豎直轉動設置在所述支撐架上，所述第二傳動絲桿與所述第二驅動電機的輸出端連接，所述第二螺母移動套接在所述第二傳動絲桿上，所述水平導向機構與所述第二螺母連接以實現所述吸嘴支撐板在豎直方向上的移動。
5、如上所述的芯片測試傳動模組，所述水平導向機構包括至少兩個前后布置的第一導軌，所述豎直導向機構包括至少兩個豎直布置的第二導軌，所述吸嘴支撐板上設有連接架，每個所述連接架前后滑動設置在一個所述第一導軌上，每個所述第一導軌上下滑動設置在一個所述第二導軌上。
6、如上所述的芯片測試傳動模組，所述吸嘴支撐板的數量為兩個，所述豎直方向驅動機構的數量也為兩個，兩個所述豎直方向驅動機構分別設置在所述支撐架的左右兩端，兩個所述吸嘴支撐板為左右并排設置。
7、如上所述的芯片測試傳動模組，每個所述吸嘴支撐板上設有兩個吸嘴盤，每個所述吸嘴盤的底壁均設有若干個呈陣列排布的吸嘴。
8、如上所述的芯片測試傳動模組，所述吸嘴的底壁上設有真空吸附孔。
9、如上所述的芯片測試傳動模組，所述吸嘴為柔性吸嘴。
10、如上所述的芯片測試傳動模組，所述第一傳動絲桿，為前后橫向設置在所述支撐架上。
11、本技術還提供一種測試設備，包括如上所述的芯片測試傳動模組。
12、實施本技術實施例，將具有如下有益效果：
13、本技術中，芯片測試傳動模組包括支撐架、水平方向驅動機構、至少兩個豎直方向驅動機構以及至少兩個吸嘴支撐板，支撐架上設有水平導向機構和豎直導向機構，水平方向驅動機構與豎直方向驅動機構均設置在支撐架上，每個吸嘴支撐板均與水平方向驅動機構驅動連接，水平導向機構與豎直方向驅動機構驅動連接，吸嘴支撐板滑動設置在水平導向機構上，水平導向機構滑動設置在豎直導向機構上。通過設置至少兩個吸嘴支撐板，且由水平方向驅動機構和至少兩個豎直方向驅動機構同時驅動多個吸嘴支撐板，使得多個吸嘴支撐板能夠同步運動，以同時吸取更多的芯片，提升芯片測試效率。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種芯片測試傳動模組，其特征在于，包括支撐架（1）、水平方向驅動機構、至少兩個豎直方向驅動機構以及至少兩個吸嘴支撐板（2），所述支撐架（1）上設有水平導向機構和豎直導向機構，所述水平方向驅動機構與所述豎直方向驅動機構均設置在所述支撐架（1）上，每個所述吸嘴支撐板（2）均與所述水平方向驅動機構驅動連接，所述水平導向機構與所述豎直方向驅動機構驅動連接，所述吸嘴支撐板（2）滑動設置在所述水平導向機構上，所述水平導向機構滑動設置在所述豎直導向機構上。
2.根據權利要求1所述的芯片測試傳動模組，其特征在于，所述水平方向驅動機構包括第一驅動電機（3）、第一傳動絲桿（4）和第一螺母，所述第一驅動電機（3）設置在所述支撐架（1）上，所述第一傳動絲桿（4）水平轉動設置在所述支撐架（1）上，所述第一傳動絲桿（4）與所述第一驅動電機（3）的輸出端連接，所述第一螺母移動套接在所述第一傳動絲桿（4）上，所述吸嘴支撐板（2）與所述第一螺母連接以實現所述吸嘴支撐板（2）在水平方向上的移動。
3.根據權利要求2所述的芯片測試傳動模組，其特征在于，所述豎直方向驅動機構包括第二驅動電機（
4.根據權利要求3所述的芯片測試傳動模組，其特征在于，所述水平導向機構包括至少兩個前后布置的第一導軌（11），所述豎直導向機構包括至少兩個豎直布置的第二導軌（12），所述吸嘴支撐板（2）上設有連接架，每個所述連接架前后滑動設置在一個所述第一導軌（11）上，每個所述第一導軌（11）上下滑動設置在一個所述第二導軌（12）上。
5.根據權利要求1所述的芯片測試傳動模組，其特征在于，所述吸嘴支撐板（2）的數量為兩個，所述豎直方向驅動機構的數量也為兩個，兩個所述豎直方向驅動機構分別設置在所述支撐架（1）的左右兩端，兩個所述吸嘴支撐板（2）為左右并排設置。
6.根據權利要求5所述的芯片測試傳動模組，其特征在于，每個所述吸嘴支撐板（2）上設有兩個吸嘴盤（21），每個所述吸嘴盤（21）的底壁均設有若干個呈陣列排布的吸嘴（211）。
7.根據權利要求6所述的芯片測試傳動模組，其特征在于，所述吸嘴（211）的底壁上設有真空吸附孔（212）。
8.根據權利要求7所述的芯片測試傳動模組，其特征在于，所述吸嘴（211）為柔性吸嘴。
9.根據權利要求2所述的芯片測試傳動模組，其特征在于，所述第一傳動絲桿（4）為前后橫向設置在所述支撐架（1）上。
10.一種測試設備，其特征在于，包括如權利要求1-9中任一項所述的芯片測試傳動模組。
...【技術特征摘要】
1.一種芯片測試傳動模組，其特征在于，包括支撐架（1）、水平方向驅動機構、至少兩個豎直方向驅動機構以及至少兩個吸嘴支撐板（2），所述支撐架（1）上設有水平導向機構和豎直導向機構，所述水平方向驅動機構與所述豎直方向驅動機構均設置在所述支撐架（1）上，每個所述吸嘴支撐板（2）均與所述水平方向驅動機構驅動連接，所述水平導向機構與所述豎直方向驅動機構驅動連接，所述吸嘴支撐板（2）滑動設置在所述水平導向機構上，所述水平導向機構滑動設置在所述豎直導向機構上。
2.根據權利要求1所述的芯片測試傳動模組，其特征在于，所述水平方向驅動機構包括第一驅動電機（3）、第一傳動絲桿（4）和第一螺母，所述第一驅動電機（3）設置在所述支撐架（1）上，所述第一傳動絲桿（4）水平轉動設置在所述支撐架（1）上，所述第一傳動絲桿（4）與所述第一驅動電機（3）的輸出端連接，所述第一螺母移動套接在所述第一傳動絲桿（4）上，所述吸嘴支撐板（2）與所述第一螺母連接以實現所述吸嘴支撐板（2）在水平方向上的移動。
3.根據權利要求2所述的芯片測試傳動模組，其特征在于，所述豎直方向驅動機構包括第二驅動電機（5）、第二傳動絲桿（6）和第二螺母，所述第二驅動電機（5）設置在所述支撐架（1）上，所述第二傳動絲桿（6）豎直轉動設置在所述支撐架（1）上，所述第二傳動絲桿（6）與所述第二驅動電機（5）的輸出端連接，所述第二螺母移動套接在所述第二傳動絲桿（6）上，所述水平導向機構與所述...
【專利技術屬性】
技術研發人員：劉飛，唐召來，吳海裕，黎滿標，
申請(專利權)人：深圳格芯集成電路裝備有限公司，
類型：新型
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。