【技術實現步驟摘要】
本技術涉及真空干燥機設備的，尤其是涉及一種真空腔體及真空干燥機。
技術介紹
1、真空干燥機主要通過創造高真空環境，利用低壓條件下的蒸發效應，將物體中的水分以及其他液體快速蒸發，從而實現干燥結晶的目的。相比其他干燥設備，真空干燥機具有高效，易控，設備體積小，易維修，產品表面質量好等優點。
2、真空腔體是真空干燥機主要的工作機構，腔體結構對于基板的干燥效果具有重要影響；通常，在平板涂布中將完成涂布后的基板移到真空干燥裝置中進行干燥，使漿料中的溶劑揮發，從而實現快速結晶；現有的真空裝置包括腔體、設置在腔體內的機臺和在腔體上的抽氣口，在干燥過程中，抽氣口抽取腔體內的氣體，腔體內氣壓下降，從而促使基板上的溶劑揮發，實現快速結晶。
3、現在的真空腔體進行抽氣過程中，基板表面由于各部分相對于抽氣口的距離不等，所以，基板表面的氣體速度分布不均勻，易造成基板表面結晶不均勻，產生波紋狀現象；此外，現有的真空腔體制造完成后結構不可改變，重新設計制造導致生產成本提高以及生產周期延長，生產效率較低，消耗成本較大。
技術實現思路
1、本技術的目的在于提供一種真空腔體及真空干燥機，以緩解現有技術中存在的真空腔體進行抽氣過程中，基板表面的氣體速度分布不均勻，易造成基板表面結晶不均勻，產生波紋狀現象的技術問題。
2、第一方面，本技術提供了一種真空腔體，包括上腔板、下腔板、導流機構和待干燥件；所述上腔板蓋合于所述下腔板的頂部，且所述上腔板和所述下腔板形成密閉空間；所述密閉空間在外部
3、所述導流機構和所述待干燥件均設于所述密閉空間內；且所述導流機構設于所述待干燥件朝向抽氣口的一側；所述導流機構用于均勻分布所述待干燥件表面的氣流。
4、結合第一方面，本技術提供了第一方面的第一種可能的實施方式，其中，所述導流機構包括多個墊柱和隔板，多個所述墊柱設置于所述密閉空間朝向所述待干燥件的端面，且多個所述墊柱用于支撐所述隔板；
5、所述隔板設于所述抽氣口和所述待干燥件之間，所述氣流沿所述隔板和所述密閉空間的內壁之間流向所述待干燥件。
6、結合第一方面的第一種可能的實施方式，本技術提供了第一方面的第二種可能的實施方式，其中，所述導流機構還包括多個所述導流片，多個所述導流片分別設于所述隔板的外緣，所述導流片用于調節所述隔板的邊緣與所述密閉空間的內壁之間間隙的大小。
7、結合第一方面的第二種可能的實施方式，本技術提供了第一方面的第三種可能的實施方式，其中，所述隔板朝向所述待干燥件的端面設有多個內牙磁柱，所述內牙磁柱用于支撐所述待干燥件；
8、所述隔板內設有磁性件，且多個所述內牙磁柱磁性連接于所述隔板。
9、結合第一方面的第三種可能的實施方式，本技術提供了第一方面的第四種可能的實施方式，其中，所述內牙磁柱朝向所述待干燥件的端部可拆卸連接有支撐桿。
10、結合第一方面的第五種可能的實施方式，本技術提供了第一方面的第五種可能的實施方式，其中，所述導流片背離所述隔板的端部為曲面，且多個所述導流片與所述隔板可拆卸連接。
11、結合第一方面的第五種可能的實施方式，本技術提供了第一方面的第六種可能的實施方式，其中，所述導流片朝向所述隔板的端部設有連接部，所述連接部設有連接槽，所述導流片通過所述連接槽與所述隔板螺紋連接。
12、結合第一方面的第六種可能的實施方式，本技術提供了第一方面的第七種可能的實施方式，其中，所述隔板朝向所述墊柱的端面設有與所述墊柱相適配的通孔，且所述隔板通過多個所述通孔分別與多個所述墊柱插接。
13、結合第一方面的第六種可能的實施方式，本技術提供了第一方面的第八種可能的實施方式，其中，還包括密封圈，所述下腔板與所述上腔板接觸的端部設有密封槽，所述密封圈放置于所述密封槽內，且所述密封圈用于所述上腔板和所述下腔板之間的密封。
14、第二方面，本申請還提供了一種真空干燥劑，包括上文所述的真空腔體。
15、本技術實施例帶來了以下有益效果：采用將上腔板蓋和于下腔板頂部的方式，以使上腔板和下腔板之間形成密閉空間，為真空環境奠定基礎，通過將導流機構和待干燥件設于密閉空間內，并將導流機構設于待干燥件朝向抽氣口的一側，抽氣口連接于外部真空泵等動力件，并且抽氣口在進行抽真空過程中，隨著腔體內部空氣逐步向抽氣口流動，在此過程中，待干燥件表面的氣體在導流機構的作用下，其分布變得均勻，緩解了現有技術中存在的真空腔體在進行抽氣的過程中，基板表面的氣體速度由于各部分相對于抽氣口的距離不同，其分布不均勻，易造成基板表面結晶不均勻，產生波紋狀現象的技術問題，提升了基板在真空腔體中的干燥質量。
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1.一種真空腔體，其特征在于，包括上腔板(10)、下腔板(20)、導流機構(100)和待干燥件(200)；所述上腔板(10)蓋合于所述下腔板(20)的頂部，且所述上腔板(10)和所述下腔板(20)形成密閉空間；所述密閉空間在外部真空泵的作用下，形成真空腔體；
2.根據權利要求1所述的真空腔體，其特征在于，所述導流機構(100)包括多個墊柱(110)和隔板(120)，多個所述墊柱(110)設置于所述密閉空間朝向所述待干燥件(200)的端面，且多個所述墊柱(110)用于支撐所述隔板(120)；
3.根據權利要求2所述的真空腔體，其特征在于，所述導流機構(100)還包括多個導流片(130)，多個所述導流片(130)分別設于所述隔板(120)的外緣，且多個所述導流片(130)用于調節所述隔板(120)的邊緣與所述密閉空間的內壁之間間隙的大小。
4.根據權利要求2所述的真空腔體，其特征在于，所述隔板(120)朝向所述待干燥件(200)的端面設有多個內牙磁柱(140)，所述內牙磁柱(140)用于支撐所述待干燥件(200)；
5.根據權利要求4所
6.根據權利要求3所述的真空腔體，其特征在于，所述導流片(130)背離所述隔板(120)的端部為曲面，且多個所述導流片(130)與所述隔板(120)可拆卸連接。
7.根據權利要求6所述的真空腔體，其特征在于，所述導流片(130)朝向所述隔板(120)的端部設有連接部，所述連接部設有連接槽(131)，所述連接槽(131)為條狀結構，所述導流片(130)通過所述連接槽(131)與所述隔板(120)螺紋連接。
8.根據權利要求2所述的真空腔體，其特征在于，所述隔板(120)朝向所述墊柱(110)的端面設有與所述墊柱(110)相適配的通孔，且所述隔板(120)通過多個所述通孔分別與多個所述墊柱(110)插接。
9.根據權利要求1所述的真空腔體，其特征在于，還包括密封圈(40)，所述下腔板(20)與所述上腔板(10)接觸的端部設有密封槽，所述密封圈(40)放置于所述密封槽內，且所述密封圈(40)用于所述上腔板(10)和所述下腔板(20)之間的密封。
10.一種真空干燥機，其特征在于，包括權利要求1－9任一項所述的真空腔體。
...【技術特征摘要】
1.一種真空腔體，其特征在于，包括上腔板(10)、下腔板(20)、導流機構(100)和待干燥件(200)；所述上腔板(10)蓋合于所述下腔板(20)的頂部，且所述上腔板(10)和所述下腔板(20)形成密閉空間；所述密閉空間在外部真空泵的作用下，形成真空腔體；
2.根據權利要求1所述的真空腔體，其特征在于，所述導流機構(100)包括多個墊柱(110)和隔板(120)，多個所述墊柱(110)設置于所述密閉空間朝向所述待干燥件(200)的端面，且多個所述墊柱(110)用于支撐所述隔板(120)；
3.根據權利要求2所述的真空腔體，其特征在于，所述導流機構(100)還包括多個導流片(130)，多個所述導流片(130)分別設于所述隔板(120)的外緣，且多個所述導流片(130)用于調節所述隔板(120)的邊緣與所述密閉空間的內壁之間間隙的大小。
4.根據權利要求2所述的真空腔體，其特征在于，所述隔板(120)朝向所述待干燥件(200)的端面設有多個內牙磁柱(140)，所述內牙磁柱(140)用于支撐所述待干燥件(200)；
5.根據權利要求4所述的真空腔體，其特征在于，所述內牙磁柱(140)朝向...
【專利技術屬性】
技術研發人員：葛楊俊，方聲龍，陳永泉，彭建林，
申請(專利權)人：深圳市曼恩斯特科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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