【技術實現步驟摘要】
本技術屬于ald設備，具體地說，本技術涉及一種原子層沉積設備的尾氣管道。
技術介紹
1、原子層沉積(atomic?layer?deposition，ald)鍍膜是一種可以將物質以單原子膜形式一層一層的鍍在基底表面的方法。該技術可以在納米級尺度上精確控制物質成分和形貌，具有沉積大面積均勻薄膜，膜厚納米級可控生長，低溫條件沉積，適合各種復雜基底(如高深寬比的結構)的優異性能，在半導體行業有著廣泛的應用。
2、ald設備的反應原理是將氣相前驅體脈沖交替地通入反應器并在沉積基體上化學吸附并反應而形成沉積膜，即先將第一種反應前驅體輸入到反應腔室中并通過化學吸附(飽和吸附)保持在基體材料表面，當第二種前驅體通入反應腔室時，就會與已吸附于基體材料表面的第一前驅體發生反應，重復此過程即可得到預定厚度的薄膜。在此過程中，多余的前驅體會排出反應腔室，在后端的尾氣處理裝置中被吸收。
3、現有的ald設備包括依次連接的反應腔室、尾氣處理裝置和真空泵，尾氣處理裝置通過尾氣管道與反應腔室連接，真空泵通過尾氣管道將尾氣從反應腔室抽出，尾氣經過管道內設置的冷凝管時粉塵會被吸附，冷凝管與氣體的接觸面積比較小，粉塵吸附量比較少。這樣導致尾氣處理裝置中會形成大量的粉塵，這些粉塵會有倒灌進腔室形成particle(微粒)污染的風險。
4、如授權公告號為cn217188702u的專利文獻公開了一種ald尾氣處理裝置，包括第一進氣口，所述第一進氣口的一端連接反應腔，另一端連接有一級分解裝置，所述一級分解裝置遠離第一進氣口的一端設有第一出
技術實現思路
1、本技術旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本技術提供一種原子層沉積設備的尾氣管道，目的是降低尾氣回流造成反應腔室的污染，減輕particle污染的風險，提升產品良率。
2、為了實現上述目的，本技術采取的技術方案為：原子層沉積設備的尾氣管道，包括與反應腔室連接的第一管道，所述第一管道內設置冷凝板，冷凝板設置多個且所有冷凝板在第一管道內呈螺旋狀依次布置。
3、所述第一管道內設置支撐件，所述冷凝板設置于支撐件上。
4、所述支撐件為螺旋形結構，支撐件為沿所述第一管道的長度方向延伸。
5、所述冷凝板的寬度方向與所述第一管道的長度方向之間具有夾角且該夾角為銳角。
6、所述冷凝板的寬度方向與所述第一管道的長度方向之間的夾角為45°。
7、所述冷凝板的長度與所述第一管道的半徑之間的比值為1/3～2/3。
8、所述冷凝板的長度與所述第一管道的半徑之間的比值為0.5。
9、所述冷凝板的材質為不銹鋼、鈦合金、鋁合金或碳鋼。
10、所述第一管道的材質為不銹鋼、鈦合金、鋁合金或碳鋼。
11、所述第一管道與第二管道連接，第二管道與尾氣處理裝置連接。
12、本技術的原子層沉積設備的尾氣管道，通過設置多個呈螺旋向下臺階狀分布的冷凝板，增加與管道內尾氣的接觸面積，能有效冷凝吸附尾氣中含有的粉塵，而且能大幅降低尾氣回流造成的腔室污染，減輕particle(微粒)污染的風險，提升產品良率。
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1.原子層沉積設備的尾氣管道，包括與反應腔室連接的第一管道，其特征在于：所述第一管道內設置冷凝板，冷凝板設置多個且所有冷凝板在第一管道內呈螺旋狀依次布置。
2.根據權利要求1所述的原子層沉積設備的尾氣管道，其特征在于：所述第一管道內設置支撐件，所述冷凝板設置于支撐件上。
3.根據權利要求2所述的原子層沉積設備的尾氣管道，其特征在于：所述支撐件為螺旋形結構，支撐件為沿所述第一管道的長度方向延伸。
4.根據權利要求1至3任一所述的原子層沉積設備的尾氣管道，其特征在于：所述冷凝板的寬度方向與所述第一管道的長度方向之間具有夾角且該夾角為銳角。
5.根據權利要求4所述的原子層沉積設備的尾氣管道，其特征在于：所述冷凝板的寬度方向與所述第一管道的長度方向之間的夾角為45°。
6.根據權利要求1至3任一所述的原子層沉積設備的尾氣管道，其特征在于：所述冷凝板的長度與所述第一管道的半徑之間的比值為1/3～2/3。
7.根據權利要求6所述的原子層沉積設備的尾氣管道，其特征在于：所述冷凝板的長度與所述第一管道的半徑之間的比值為0.5
8.根據權利要求1至3任一所述的原子層沉積設備的尾氣管道，其特征在于：所述冷凝板的材質為不銹鋼、鈦合金、鋁合金或碳鋼。
9.根據權利要求1至3任一所述的原子層沉積設備的尾氣管道，其特征在于：所述第一管道的材質為不銹鋼、鈦合金、鋁合金或碳鋼。
10.根據權利要求1至3任一所述的原子層沉積設備的尾氣管道，其特征在于：所述第一管道與第二管道連接，第二管道與尾氣處理裝置連接。
...【技術特征摘要】
1.原子層沉積設備的尾氣管道，包括與反應腔室連接的第一管道，其特征在于：所述第一管道內設置冷凝板，冷凝板設置多個且所有冷凝板在第一管道內呈螺旋狀依次布置。
2.根據權利要求1所述的原子層沉積設備的尾氣管道，其特征在于：所述第一管道內設置支撐件，所述冷凝板設置于支撐件上。
3.根據權利要求2所述的原子層沉積設備的尾氣管道，其特征在于：所述支撐件為螺旋形結構，支撐件為沿所述第一管道的長度方向延伸。
4.根據權利要求1至3任一所述的原子層沉積設備的尾氣管道，其特征在于：所述冷凝板的寬度方向與所述第一管道的長度方向之間具有夾角且該夾角為銳角。
5.根據權利要求4所述的原子層沉積設備的尾氣管道，其特征在于：所述冷凝板的寬度方向與所述第一管道的長度方向之間的...
【專利技術屬性】
技術研發人員：何靖，曹君，
申請(專利權)人：安徽熙泰智能科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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