【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及一種用于激光產生等離子體輻射源的液滴產生器的噴嘴，并且涉及用于制造該噴嘴的方法。
技術介紹
1、光刻設備是被構造成將期望的圖案施加到襯底上的機器。例如，光刻設備可以用于制造集成電路（ic）。例如，光刻設備可以將圖案從圖案形成裝置（例如，掩模）投影到提供于襯底上的輻射敏感材料（諸如光致抗蝕劑，或簡稱抗蝕劑）層上。
2、為了在襯底上投影圖案，光刻設備可以使用電磁輻射。該輻射的波長決定了可以形成在襯底上的特征的最小尺寸。相較于使用例如具有大于4?nm至20?nm的波長的輻射的光刻設備，可以使用極紫外（euv）輻射（極紫外（euv）輻射具有在4?nm至20?nm的范圍內的波長，例如6.7?nm或13.5?nm）的光刻設備來在襯底上形成較小特征。
3、可以使用等離子體產生euv輻射。用于產生euv輻射的輻射系統可以包括用于激發燃料以提供等離子體的激光器，以及用于容納等離子體的源收集器模塊。例如，可以通過將激光束引導到燃料處來產生等離子體，該燃料是諸如合適材料（例如，錫（sn））的顆粒，或合適的氣體或蒸氣（諸如xe氣或li蒸氣）的流。所得到的等離子體發射輸出輻射，例如euv輻射，使用輻射收集器收集該輻射。輻射收集器可以是鏡面正入射輻射收集器，所述鏡面正入射輻射收集器接收輻射并且將輻射聚焦成束。源收集器模塊可以包括被布置為提供真空環境以支持等離子體的圍封結構或腔室。此類輻射系統通常被稱為激光產生等離子體（lpp）源。
4、可以通過液滴產生器將燃料朝激光束的路徑引導。液滴產生器可以包括用于將燃料
5、圖1中描繪了現有技術的噴嘴組件100。噴嘴100是wo2021/074043?a1（該文獻以引用方式并入本文中）中公開的噴嘴的示例。噴嘴100包括用于從燃料發射器發射燃料液滴的玻璃毛細管110。燃料發射器可以是液滴產生器。
6、玻璃毛細管110聯接到噴嘴接頭120，該噴嘴接頭可以與燃料發射器成整體或聯接到燃料發射器。配件120可以包括金屬，并且因此可以被稱為金屬配件。
7、需要在玻璃毛細管110與配件120之間形成密封，例如氣密密封。為此，玻璃毛細管110至少部分地設置于配件120的通孔140內。加熱配件120，并且向玻璃毛細管110施加壓力，使得玻璃毛細管110與通孔140的形狀一致，并且與通孔140形成玻璃與金屬的直接密封。這樣，在配件120與毛細管110之間形成密封。
8、然而，通過設計，該方法使玻璃毛細管110變形以接觸金屬配件120。該變形可以是不可再現的。因此，玻璃毛細管110的特性（諸如轉移函數、共振特性（基頻）、強度和玻璃與金屬的密封）可以是不可再現的。轉移函數是離開噴嘴的液滴的速度調變與施加到噴嘴的驅動力的比率。轉移函數優選地在基本調變頻率（例如，在50khz與200khz之間）下是較高的。該轉移函數依賴于玻璃毛細管110的幾何方面，所述幾何方面包括長度和直徑。因此，不期望制造過程改變此類幾何參數。此外，在變形和冷卻過程期間可能產生氣泡和/或高應力位置，這可能弱化最終的產品。
技術實現思路
1、本公開內容的一個目的是提供克服了已知的噴嘴的缺陷中的一個或更多個缺陷的、用于液滴產生器的噴嘴，該噴嘴在玻璃毛細管與配件之間具有密封。
2、根據本專利技術的一方面，提供了一種用于激光產生等離子體輻射源的液滴產生器的噴嘴，該噴嘴包括：玻璃毛細管，所述玻璃毛細管用于發射液滴；噴嘴接頭，所述噴嘴接頭包括通孔，其中，玻璃毛細管至少部分地被設置于通孔中；以及玻璃套圈，所述玻璃套圈將玻璃毛細管聯接到噴嘴接頭，玻璃套圈與噴嘴接頭的通孔的形狀一致。
3、有利地，此類噴嘴允許玻璃毛細管盡可能多地保持其原始強度和形狀，限制上文所論述的結構和再現性問題。玻璃套圈將玻璃毛細管聯接到噴嘴接頭，而不是使玻璃毛細管變形。玻璃套圈可以在加熱下變形以提供牢固的密封，包括在噴嘴接頭是金屬配件的情況下提供金屬與玻璃的直接密封，而不影響玻璃毛細管的特性。此外，套圈材料可以針對接合功能進行優化，從而提供改善的密封和/或改善制造過程。例如，可以選擇在比玻璃毛細管材料更低的溫度下軟化的套圈材料，減少制造噴嘴所需的能量。因此，玻璃套圈的軟化溫度/燒成溫度可以低于玻璃毛細管的軟化溫度/燒成溫度，以使得毛細管在接合過程期間基本不軟化。玻璃套圈的軟化溫度仍然高于噴嘴/設計噴嘴所針對的系統的最高工作溫度。例如，軟化溫度可以高于300℃、或高于400℃、或高于500℃。
4、在一些實施例中，玻璃毛細管的熱膨脹系數與噴嘴接頭的熱膨脹系數基本相同，或比噴嘴接頭的熱膨脹系數小，或比噴嘴接頭的熱膨脹系數大。具體地，玻璃毛細管的熱膨脹系數（cte）可以在基于噴嘴接頭的熱膨脹系數上下浮動1?ppm/k的范圍內，或在基于噴嘴接頭的熱膨脹系數上下浮動0.5?ppm/k的范圍內，或在基于噴嘴接頭的熱膨脹系數上下浮動0.3?ppm/k的范圍內。替代地或另外，玻璃套圈的熱膨脹系數可以在基于噴嘴接頭的熱膨脹系數上下浮動1?ppm/k的范圍內，或在基于噴嘴接頭的熱膨脹系數上下浮動0.5?ppm/k的范圍內。如本文中使用的，具有在噴嘴接頭的cte值內的cte可以包括：具有高于或低于噴嘴接頭的cte的cte。熱膨脹系數可以是在包括噴嘴的操作溫度和/或噴嘴的制造溫度范圍的溫度范圍內的熱膨脹系數。此類實施例可以限制由于在制造及使用中加熱和冷卻噴嘴時噴嘴的部件的不同膨脹和收縮特性而導致的破裂及缺陷。
5、在一些實施例中，玻璃套圈具有比玻璃毛細管低的軟化和/或燒成溫度。這意味著在制造噴嘴期間，玻璃套圈變形（當加熱時），而玻璃毛細管保持其原始的固體特性。
6、根據本專利技術的又一方面，提供了一種制造用于液滴產生器的噴嘴的方法。該方法包括將玻璃毛細管定位在噴嘴接頭的通孔中；將玻璃套圈預制件定位在玻璃毛細管周圍；以及加熱玻璃套圈預制件以形成將玻璃毛細管聯接到噴嘴接頭的玻璃套圈。
7、在一些實施例中，將玻璃套圈預制件定位包括：將玻璃套圈預制件定位在噴嘴接頭的通孔中。可以施加力，例如使用推動器和/或重物，將玻璃套圈預制件推入通孔中。
8、在替代實施例中，將玻璃套圈預制件定位包括：將玻璃套圈預制件定位在通孔的端部處。然后，加熱玻璃套圈預制件，使得玻璃套圈預制件流動到通孔中，以形成玻璃套圈。具體地，可以以在玻璃毛細管與通孔的壁之間具有間隙的方式將玻璃毛細管定位在通孔中，使得在加熱時，玻璃套圈預制件通過毛細管作用流動到間隙中。
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1.一種用于激光產生等離子體輻射源的液滴產生器的噴嘴，所述噴嘴包括：
2.如權利要求1所述的噴嘴，其中，所述玻璃毛細管的熱膨脹系數在基于所述噴嘴接頭的熱膨脹系數上下浮動1?PPM/K的范圍內，或在基于所述噴嘴接頭的熱膨脹系數上下浮動0.5?PPM/K的范圍內，或在基于所述噴嘴接頭的熱膨脹系數上下浮動0.3?PPM/K的范圍內；和/或
3.如權利要求1或權利要求2所述的噴嘴，其中，所述玻璃套圈的所述熱膨脹系數小于所述噴嘴接頭的所述熱膨脹系數，并且小于所述玻璃毛細管的所述熱膨脹系數。
4.如前述任一項權利要求所述的噴嘴，其中，所述玻璃套圈具有比所述玻璃毛細管低的軟化溫度。
5.如前述任一項權利要求所述的噴嘴，其中，所述玻璃套圈具有1mm或更小、或者0.7mm或更小、或者0.5mm或更小、或者0.2mm或更小的厚度；和/或
6.如前述任一項權利要求所述的噴嘴，其中，所述玻璃毛細管的直徑和所述通孔的直徑在所述玻璃毛細管與所述噴嘴接頭之間產生間距，使得當所述玻璃套圈的玻璃被軟化時，所述玻璃套圈的玻璃通過毛細管作用流動。
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